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采用热丝法,甲醇、丙酮及氢气等离子体在硅衬底上沉积出金刚石薄膜,用透射电镜及拉曼谱分析膜中含有大小不等的金刚石颗粒,膜的厚度为50-100nm。C/Si异质结I-V曲线具有二极管整流特性,可耐高压,击穿场强达10^7V/cm。 相似文献
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Annealing Behavior of Si1-xGex/Si Heterostructures 总被引:4,自引:1,他引:3
There are two reasonsfor people studying on the materialsannealing.Firstly,deviceswith semiconductor heterostructure may unavoidably experience some high-temperatureprocesses during both fabrication and operation.The thermal stability... 相似文献
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SiGe/Si异质结器件 总被引:1,自引:0,他引:1
本文综述了国际上SiGe/Si异质结器件的发展状况,分析了该器件的结构要理,特点,优越性及制造技术,阐述了该器件的广阔应用和对微电子将产的重大影响。 相似文献
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本文详细讨论了用微细加工技术制作Josephson结的过程以及影响其电学特性的各种因素,用湿法刻蚀技术制备了面积为4×4μm~2的Josephson结,并在4.4K闭循环制冷机上观察到了较为理想的Josephson效应。 相似文献
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双极晶体管结温分布不均匀性的电学测量方法 总被引:4,自引:0,他引:4
用Δ VBE法测得的结温是器件有源区某一点的温度 ,流经该点的测试电流密度等于流经整个芯片的平均测试电流密度。测量结温随测试电流变化而变化 ,小测试电流测得的结温高 ,大测试电流测得的结温低 ,测得的结温的变化范围小于芯片上实际的最低结温和最高结温之差。根据晶体管测量结温的这一性质可以半定量地判断晶体管结温分布的均匀性。 相似文献
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圆柱突变结击穿电压及电场沿结边的分布 总被引:1,自引:0,他引:1
基于横向侧扩散与纵向体扩散结深构成椭圆形冶金结外形这一与工艺实际相符合的假设,通过圆柱对称解的归一化,提出了平面结击穿电场沿结边分布的解析解。理论结果阐述了不同结深及结边形状对边缘区击穿电压的影响规律,说明了表面南击穿电压总是小于体内击穿电压的原因。 相似文献
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研究了应用双边C-V法测量超浅结(如p+-n结)的掺杂分布。推导了在已知p+-n结的电容-电压(C-VR)关系、n区掺杂、以及热平衡下n区耗尽层宽度(xn0)的情况下计算p区掺杂浓度分布的公式。xn0是计算p区掺杂分布所需的一个关键参数,通过将n区掺杂设计成阶梯状,可实现对xn0的精确提取。用Medici对具有相同的阶梯状掺杂n区的p+-n和n-肖特基结进行器件仿真可得其C-VR关系。运用常规C-V法,由肖特基结的C-VR关系可提取出n区掺杂浓度。实现了对xn0的精确提取,其精度达1.8nm。基于精确的xn0,运用双边C-V法提取的p+区的掺杂浓度分布与Medici仿真结果非常吻合。 相似文献