MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术

给出了一种MEMS薄膜材料参数的在线测试技术与方法.这种技术包括微测试结构图形、测试硬件设备和测试分析软件.它能够快速测试MEMS薄膜的主要性能参数,并且测试设备和测试方法都与集成电路测试方案兼容,即所有材料参数的测试与提取都通过电学激励与电学测量来实现.文中首先给出了测试技术与方法的工作原理,然后对用标准表面微机械加工工艺制作的多晶硅薄膜进行了测试,实验结果表明该测试技术与方法的测试效率高、成本低,具有一定的工业应用价值.     

压电薄膜特性参数的测量方法

随着电子元器件向微型、高灵敏、集成等方向发展,薄膜材料及器件在微机电(MEMS)系统中得到广泛应用,而测量压电薄膜特性参数的方法与体材料相比有很大的不同.介绍了当前测量压电薄膜特性参数的两大类方法:直接测量法(包括气腔压力法、悬臂梁法、激光干涉法和激光多普勒振动法)和间接测量法(传统阻抗分析法),详细分析了这些方法的基本原理、测试表征、应用状况及存在的问题,比较了这些方法的优缺点,并对未来压电薄膜特性参数的测试表征作了展望.     

基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术

动态测试技术在MEMS研发过程中具有极为重要的作用.本文在机器微视觉的MEMS动态测试系统的基础上,基于模糊图像合成技术对MEMS 谐振器的运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率f及品质因数Q等重要参数进行了测试,并给出了实验结果.     

纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用

纳米硬度计是一种能提供103～10-2μm尺度材料或结构微力学性能检测的先进仪器.采用纳米压痕技术,研究薄膜材料的弹性模量和硬度随压痕深度的变化规律以及薄膜厚度测量、微桥弯曲变形测量的方法.采用纳米划痕技术,研究薄膜的表面粗糙度、临界附着力和摩擦系数测量的方法.该仪器能广泛应用于MEMS的力学检测,并有望成为这一领域内的标准力学检测设备.     

SiC薄膜材料在MEMS中应用的研究进展

SiC材料具有极为优良的物理化学性能，以SiC材料替代传统Si材料制成的SiC微电子机械系统(MEMS)，克服了Si MEMS本身性能的局限性，可满足在高温、高腐蚀等极端条件下的应用。文章综述了近几年SiC薄膜在MEMS中应用的研究进展，详细讨论了薄膜的性能、主要制备方法及微机械加工技术在SiC MEMS的应用。最后，分别举例说明SiC薄膜材料在MEMS中作为保护层和结构层应用的研究现状。     

MEMS薄膜泊松比测试方法的研究进展

综述了MEMS薄膜泊松比的测试方法,简述了测试薄膜泊松比的目的和意义。结合测试环境与测试手段详细地列举了几类常用的测试方法:拉伸法、纳米压痕法、鼓膜法、谐振法、弯曲法和扭转变形法,介绍了各种测试方法的发展过程,并分析了各种测试方法在使用中所面临的关键问题。最后,从可操作性、精确度和适用范围等方面比较了各种方法的优劣,给出了测试方法选取的建议,并对MEMS薄膜测试技术的发展进行了展望,指出在线测试技术将推动MEMS薄膜测试技术的进一步发展。     

基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术

动态测试技术在MEMS研发过程中具有极为重要的作用。本文在机器微视觉的MEMS动态测试系统的基础上 ,基于模糊图像合成技术对MEMS谐振器的运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率 f及品质因数Q等重要参数进行了测试 ,并给出了实验结果。     

基于石墨烯复合薄膜的平面微电感

石墨烯由于其独特的组成结构,具有极其优异的电学性能,基于石墨烯薄膜的电子器件越来越受到研究者的关注。通过将石墨烯与微型导电线圈结合,探究石墨烯对线圈微电感性能的影响。滴涂石墨烯并通过三组对比实验确定石墨烯薄膜的干燥方式(-5℃冷干干燥、室温真空干燥和室温自然干燥)。结果显示,室温真空干燥形成的石墨烯薄膜更为连续均匀、薄膜厚度小且电阻率更低。进一步实验得到,45℃为室温真空干燥方式的较佳干燥温度。采用微电子机械系统(MEMS)工艺制备三种不同材料的微型导电线圈(铜导线、石墨烯/铜复合导线、石墨烯导线)。对三种线圈的电学参数进行测试,发现石墨烯/铜复合导电线圈的电感性能有较大提高。     

基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术

动态测试技术在MEMS研发过程中具有极为重要的作用。本文在机器微视觉的MEMS动态测试系统的基础上,基于模糊图像合成技术对MEMS谐振器的运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率f及品质因数Q等重要参数进行了测试,并给出了实验结果。     

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《微纳电子技术》是中文核心期刊,被国内外多家知名数据库收录。栏目分为:技术论坛,器件与技术,材料与结构,MEMS与传感器,加工、测量与设备。主要内容包括:纳电子学、微系统与纳系统、纳电子器件与技术、纳米材料与结构、功能材料与新材料、纳米测试与显微技术、MEMS与传感器、微细加工技术与设备、纳米技术应用等领域国内外的最新进展,并兼顾微电子领域的最新研究成果。编辑部投稿邮箱:wndz@vip.sina.com,联系电话:0311-87091487,网址:www.bdtq.cnki.net。     

基于RDL-320的电视机能效自动测试系统

基于RDL-320的电视机能效自动测试系统精简了以往的测试系统的结构组成.整个测试过程自动进行,从切信号到记录测试并处理测量数据,再到生成检测报告和原始记录一气呵成,节省了劳动力,提高了工作效率,将仪器作为控制计算机的模式也为自动测量提供了新的思路.     

基于VB的电动机控制系统综合测试平台研制

电动机控制系统的品质必须通过相应的性能指标来衡量,为此,文中在Windows环境下,采用上下位机结构,基于VB(Visual Basic)软件环境构建出一个相应的综合测试平台,对电动机的性能进行综合评价,并形成统计报表数据.给出了整个平台的拓扑结构、上下位机通信设置以及上位机的主要界面.经实际使用表明,该测试系统设计合理,使用方便,具有较好的推广应用价值.     

基于虚拟仪器技术的激光接收器测试系统

本测试系统通过先进的虚拟仪器技术和LabVIEW7．0编程，实现了对传统光学测试仪器的控制并利用信号源和NIPCI-6104E多功能采集卡进行激光接收器模拟仿真；该系统能实时地采集和分析相关测试数据，并能显示、保存和打印最终测试结果。由于使用选进的LabVIEW，编程开发软件和虚拟仪器技术，该系统成为能自动化检测激光接收器各项参数的综合测试系统。实际的测试结果证明，这种方法实用、方便，测量精度高。     

测试自动化通用支持平台建模与设计

面向信号的软件结构是通用自动测试系统的发展方向,而建立一个统一的以信号接口形式对外提供测试服务的功能平台是实现面向信号编程的关键技术。本通用支持平台将对外隔离测试资源的使用与控制细节,隐藏相关测控技术的具体实现方法,从而大大降低自动测试程序的开发难度,增强自动测试系统的健壮性和可重用性。     

Performance of the Production Band 3 receivers (84-116 GHz) for the Atacama Large Millimeter Array (ALMA)

This paper presents the performance of production Band 3 receivers (84-116 GHz) for the Atacama Large Millimeter Array (ALMA) that operate in Chile at 5000 m altitude. The fabrication, and testing of a total of 73 receivers necessitated stringent quality control during assembly and custom designed automated test set for accurate and reproducible measurement results. Interfaces to the ALMA receiver system are described in details. The average single side band noise temperature of band 3 production receivers is 33.2 K, with a minimum of 24.4 K and a maximum of 45.5 K. As for image rejection, the average is 18 dB, with a minimum at 12 dB and a maximum of 21 dB. Other performances with test methodology are described such as gain variation within the IF band, the gain and phase stability, gain compression, and beam patterns. This paper also describes the interfaces to the ALMA front end system, the testing methodology used, and the test results.     

基于PLC控制技术的电容测试分选机

电容测试分选机是对电容进行直流充放电测试、直流耐压测试、绝缘电阻测试、容量及损耗测试并按以上顺序进行分选的设备。采用PLC作为电容分选机的控制设备,能够实现高速、准确的测试与精确无误的分选。介绍了电容分选机的组成及工艺流程,对PLC控制系统及程序设计方法进行了详细描述。     

有源相控阵雷达T/ R 组件幅相外场检测系统

针对外场环境下对有源相控阵雷达T/ R 组件幅相性能的检测要求,在充分利用雷达自身资源的基础上,设计了一种基于中场测量技术的T/ R 组件测试方案,并构建了相应的测试系统。运用归一化和阵面单元加权的相对幅相测量法对采集数据进行分析,解决了缺少标准数据的难题,提高了外场测试的灵活性和适应性。理论分析和实际测试结果表明:该系统具有操作简便、定位故障组件快速、对场地要求不高等特点,实现了一种低成本的伴随式测试保障手段。     

HEMP 传导型防护模块测试系统的设计与实现

依据GJB 3622-1999 标准,针对高空核电磁脉冲(HEMP)传导型防护模块的测试需求,设计了一套线-地脉冲电流耦合注入测试系统,完成了高空核电磁脉冲的产生、测量系统的搭建和射频EMP 保护器的测试。该系统脉冲上升沿tr ≤10 ns,脉冲半宽度500 ns≤ thw ≤550 ns,设计指标完全符合GJB 3622-1999 标准的要求。为测试方便,设计脉冲发生器中的高压源在0 ~50 kV 范围内人工调节,并实现了油绝缘火花隙开关遥控放电。测试系统采用电流探头(罗氏线圈)、电压探头、数字存储示波器等设备进行电流和电压的采集,利用所测数据计算出被测防护模块的电流抑制比(SEI),从而完成对传导型防护模块的性能测试以及毁伤阈值测试。本测试系统性能稳定,可靠性高,测试数据准确可靠,目前已经在工程实践中得到了广泛应用,取得了很好的效果。     

基于TDR的ADSL线缆断点测试仪设计

介绍一种基于时域脉冲回波（TDR）原理的ADSL线缆断点测试系统。该系统设计以STC单片机为控制核心,以FPGA为测试主体发射接收脉冲．采集脉冲往返线缆时间,实现ADSL线缆断点位置的测量。在分析现有测试产品的基础上,首先阐述设计理论。然后介绍系统总体设计框图、硬件实现、软件测试流程以及系统实际测试结果。实验结果表明该测试仪能够快速准确测试出断点位置,并且只需适当剪切,便可作为内嵌模块应用于其他仪表。     

天线自动测试系统实施方案

介绍了已完成的一套天线自动测试系统的设计原理和该测试系统的组成、实现及其特点,分析了软件控制流程,完善了幅相测试过程。通过自行设计,降低了天线生产测试的成本,提高天线测试效率。