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微/纳电子机械系统MEMS/NEMS(Micro/Nano Electro-Mechanical Systems)技术作为一种成熟的微结构制造技术,可实现硅基纳米级传感器器件的批量化、集成化制造,形成具有体积小、质量轻、性能高的微型传感器及其测试系统.生物传感技术可以将生物敏感反应信号转化为光电等信号而被检测.与其他生物传感器相比,采用MEMS/NEMS技术制备的生物传感器,灵敏度更高、响应时间更短、检测性能更强,更为实现自动化高通量的医学诊断提供了有力的支持.本文着重探讨MEMS/NEMS生物传感器常见的器件类型和对应器件的制备工艺、材料、传感机理、分类及其传感局限,通过综述MEMS/NEMS生物传感器及其国内外研究进展,最后总结MEMS/NEMS生物传感器关键的技术难点与重点,并展望未来MEMS/NEMS生物传感技术的发展前景以及存在的挑战. 相似文献
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MEMS传感器现状及应用 总被引:3,自引:0,他引:3
MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况。介绍MEMS压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。 相似文献
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微电子技术的快速发展,促使硅基传感器向着集成化、微型化、可批量加工方向发展.对于pH-ISFET集成芯片而言,如何以MEMS工艺制备性能优良的pH功能膜,是其发展的关键.目的:以适合批量加工的MEMS工艺研制pH功能膜;方法:在小尺寸集成芯片的基础上,以MEMS工艺分别制备Ta2O5材料的pH敏感膜,PTFE材料的pH钝化膜;结果:在pH1~12范围内,Ta2O5膜pH-ISFET对H+的灵敏度达56mV/pH,PTFE膜REFET对H+的响应仅为0.13mV/pH;结论:采用MEMS工艺,可对以标准CMOS技术加工的ISFET集成芯片系统,进行后续加工,从而实现传感器芯片系统的全过程批量加工. 相似文献
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随着MEMS技术的发展,MEMS传感器的应用越来越广泛,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化。针对MEMS传感器特点,研究了标准质量评定方法,在电子元器件质量评定方法基础上,提出了我国MEMS传感器的质量评定控制建议。 相似文献
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《中国无线电电子学文摘》2005,(3)
TN4 2005030352 元胞自动机方法在MEMS工艺模拟中的应用/周再发,黄庆安,李伟华(东南大学)//传感器技术.-2004,23(4).-77-80 随着计算机技术的发展和MEMS自身发展的需要,应用元胞自动机方法模拟MEMS加工工艺的研究发展迅速.首先,简要介绍了元胞自动机原理,然后,综述了元胞自动机方法在MEMS工艺模拟中的应用现状,分析了应用元胞自动机方法模拟MEMS加工工艺的前景和方向。图3参13(李) 相似文献
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MEMS(微机电系统)技术深受运动、加速度、倾斜以及振动等传感器应用的欢迎.根据市场调研公司IHS iSuppli的报告,2011年意法半导体消费电子MEMS产品销售额增幅超过80%,总计约6.50亿美元,是最大竞争对手的两倍多.近日,笔者有机会专访意法半导体副总裁模拟、MEMS和传感器事业部总经理BenedettoVigna,请他为大家介绍意法半导体MEMS技术的竞争优势和未来发展趋势. 相似文献
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大多数业界观察家预测,MEMS(微机电系统)的销售在今后5年内将会迅速增长,年均增长率达20~30%。一些已有的MEMS产品,如气囊加速度表、汽车发动机管道内绝对压力传感器、血压传感器和热喷墨印字头等则将适度增长,以成熟产品(加压力传感器)为基础的重大新应用开拓尚未出现。只是加以改进,以拓宽应用范围。今后两年内可能会进入市场的几种新产品才有可能获得迅速发展,销售猛增。MEMS在技术上可分为六大类:惯性测量、微流控技术、光学MEMS、压力测量、射频(RF)MEMS和其他技术。当前MEMS市场占主导地位的是压力传感器、… 相似文献