基于MEMS工艺的微型制冷器

微机电系统MEMS（micro-electro-mechanical system）是一种集合了微电子与机械工程技术的新型高科技装置,其制造工艺可以进行最小至纳米尺度的加工以及高度集成化的微型制造。其产品微小体积、高度集成化以及高性能高产热的特性也决定了其需要匹配相应的制冷解决方案,本文重点阐述了基于MEMS制造工艺并同时应用于MEMS产品的微型制冷器的工作原理、性能及发展趋势。分别分析了微型半导体制冷器以及微型节流制冷器各自的优势和不足,对微型制冷器的未来发展提出了建议。     

J—T自动调节微型制冷器的现状和发展

Ｊ—Ｔ自动调节微型制冷器的现状和发展航空工业总公司○一四中心刘永春Ｊ—Ｔ微型制冷器，由于它结构简单、质量轻、使用可靠，因而在红外系统中得到广泛应用。本文对该制冷器的研究作了简单回顾，并对未来发展和使用作了概述。J—T自动调节微型制冷器的现状和发展@刘永?..     

微型斯特林制冷器与杜瓦瓶组件耦合漏热分析

对杜瓦瓶漏热、微型斯特林制冷器冷指与杜瓦瓶组件耦合漏热进行了分析，得出斯特林制冷器与杜瓦瓶组件耦合时漏热量与微型节流制冷器和杜瓦瓶组件耦合时漏热量的区别，提出了斯特林制冷器与杜瓦瓶组件耦合时漏热量不但包括传统的三项漏热，而且应加上残余发子热传导引起的漏热量和穿棱漏热量。并给出了耦合时应该根据不同的制冷方式采取不同结构的建议。     

微型热电制冷器非稳态特性的热电模拟研究

在微型热电制冷器应用中,精密恒温器、医疗仪器、电子控制元件等的快速制冷以及在环境条件变化情况下的适应性调节,都体现了非稳态研究的重要价值.介绍了一种利用等效电路网络思想来研究微型热电制冷器非稳态特性的方法.首先基于热电模拟思想,建立了微型热电制冷器的等效电路模型,该模型综合考虑了结构尺寸、非控制端温度、控制端热流量、附加热阻、附加电阻、工作电流以及驱动源等因素对器件特性的影响.然后利用该模型分别分析了制冷与热泵模式下,控制端热量、非控制端温度、工作电流等运行条件随时间改变时,对微型热电制冷器非稳态工作特性的影响.并最终得出了控制端的负载、非控制端温度、工作电流等参数对控制端温度Tcs影响的基本规律,这为微型热电制冷技术的深入研究和应用提供了理论指导.     

红外用微型节流制冷器温度采集系统

制冷温度是红外用微型节流制冷器最关键的参数之一.能否精确快速采集红外用微型节流制冷器的温度,对该制冷器的研制和生产起着至关重要的作用.介绍了一种使用美国NI公司的数据采集卡和LABview软件编制的温度数据采集系统.该系统可以同时对几个样本点进行精确的温度采集及保存,还可以将不同样本点与时间的关系用图表的形式直观的表现出来.     

自调微型节流制冷器感温管的试验研究

使用了一种新型材料制成的感温管,代替了微型节流制冷器原来自调机构的不锈钢感温管。在自调机构的充气压力,波纹管刚度和工质不变的情况下,仅只改变感温管的材料制作了新的制冷器,通过试验和测试,新制成的制冷器性能有了很大提高。     

微型节流制冷器启动时间的理论分析

为了减少红外用微型节流制冷器的启动时间,采用带有预冷级的节流制冷器.用预冷级对制冷级进行预冷,让制冷级在发生节流前的温度更低,从而使其发生节流制冷后能更快到达红外探测器的工作温度,缩短启动时间.通过分析单级节流制冷器和带有预冷级快速节流制冷器的工作原理,阐明了带有预冷级节流制冷器启动快的原因,实验结果表明,在采用相同的制冷工质时,采用带有预冷级的节流制冷器启动时间比单级快.在今后的工作中,制冷级和预冷级分别采用不同的制冷工质,将会取得更好的效果.     

红外探测器微型封装杜瓦瓶的传热学分析

红外探测器微型封装杜瓦瓶的传热学分析航天工业总公司三院八三五八所郭立春本文对多元红外探测器微型封装杜瓦瓶进行传热学方面的分析，内容包括：漏热分析和冷指底部传热分析。本文认为：多元微型杜瓦瓶的漏热直接影响节流式微型制冷器的耗气量，埋入式电极引线和薄膜式...     

四级微型半导体制冷器的环境实验

通过对我们研制的四级微型半导体制冷器所做环境实验结果,初步确定了该器件所能承受严酷环境的程度,证明了它是一种能够在许多恶劣环境下工作的半导体器件,从而为半导体制冷器在红外及其他许多领域的应用提供了实验依据。     

微型节流制冷器的发展与应用

微型节流制冷器的发展与应用杨凤娟（航空工业总公司第Ｏ一四中心洛阳４７１００９）传统结构的微型节流式制冷器的发展虽已较为成熟，但其应用领域窄小，尤其是制冷量不大，若不寻求进一步发展将有可能被淘汰，而且随一些关键技术的突破也使其发展成为可能。比较典型的有...     

HgCdTe红外焦平面用锥形节流致冷杜瓦组件

介绍了一种用于HgCdTe红外焦平面的致冷器杜瓦组件的设计和试验情况.该组件通过采用锥形结构,包括锥形杜瓦和锥形节流致冷器两部分,提高了降温速度,有效地缩短了组件的轴向尺寸,结构更加紧凑,尤其适用于轴向尺寸受到限制的红外导引头.     

微小型热管的研究现状与进展

通过就微小型热管的研究现状以及最新进展从单根微型热管、微型热管阵列以及微槽平板热管三个方面进行了系统地回顾。归纳了微小型热管的传热极限;总结了微小型热管研究一致公认的结论以及微小型热管研究所面临的困难和挑战。证明了微小型热管在微电子器件冷却等微小空间散热方面有着广阔的应用前景。     

微机械陀螺仪设计与研究

介绍了微机械陀螺仪的关键技术、种类、性能比较和不同应用领域对其性能参数的要求。总结了近几年国内外微机械陀螺仪结构的研究最新成果。对框架式、音叉式、振动轮式、振动环式、转子悬浮式、质量块式和双线振动式等微机械陀螺仪的结构、加工和性能等进行了分析比较。主要阐述了微机械陀螺仪的漂移误差、精度和封装技术3大研究难点和高精度、微加工维度、结构和电路优化、单片多自由度和单片集成化等研究发展趋势。     

高校微课程设计的研究 ——以《大学计算机基础》为例

近年来,微课程成为国内外信息化教学改革的研究热点,笔者基于微课程研究的文献调研,并结合大学计算机基础课程的教学实践构建了高校微课程的设计模式.然后以《大学计算机基础》这门课程为案例对高校微课程的设计进行实践研究.     

微机电系统技术的研究现状和展望

微机电系统(MEMS)是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统.介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程,着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用,其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究,最后就MEMS技术的前景和研究方向进行了探讨和展望.     

Micro mechatronics and micro actuators

Micro mechatronics is the synergetic integration of both mechanical and electronic systems based on scaling effects in the micro world. A micro mechatronics system is expected to be the key component of the mechanical system, such as in electronic automotive technologies. Micro mechatronics requires the organic combination of micro devices such as micro processor, micro sensor, and micro actuator. Among the micro devices, the micro processor and micro sensor have been widely employed in advanced mechatronics products, but not the micro actuator. This paper surveys the state of the art of micro mechatronics and deals with micro actuators as new devices for micro mechatronics and advanced mechatronics, which play an important role in today's integrated mechanical products. Since micro actuators are still under development, the authors focus on micro actuators for further research and development in this paper.     

谐振式微光学陀螺仪谐振微腔的最新进展

基于Sagnac效应的谐振式微光学陀螺(Resonant Micro-Optical Gyros, RMOG)在集成化、小型化和灵敏度等方面具有巨大潜力,在微纳卫星姿态控制、机器人控制、医学诊断和检测仪器等领域中具有广阔的应用前景,成为近年来研究的热点。谐振微腔作为谐振式微光学陀螺的核心敏感元件,其光学特性与陀螺系统的性能息息相关,谐振腔的研究进展已经严重制约到谐振式微光学陀螺的发展,目前可以通过集成光学技术、微纳光学加工技术和新型材料的应用来减小谐振腔的重量和尺寸,降低成本和功耗,增加系统的可靠性和性能指标。结合期刊会议和相关研究机构披露的信息,简要介绍了谐振式微光学陀螺的发展现状、基本原理以及谐振微腔的特征参量,列举了近期国内外谐振微腔的各种新型结构设计并分析了不同结构的特点与潜力,此外还综述了近期国内外制作谐振微腔的新型材料并总结了不同材料的光学特性,初步探讨了谐振式微光学陀螺敏感单元谐振微腔的后续发展方向和技术发展途径。     

浅析微课在《网络创业》课程中的应用

近年来,国内的微课研究热潮来势凶猛.本文以网络创业课程为研究对象,研究了微课在高职教育课程中的应用,同时根据授课情况验证了微课模式的可行性,并取得了预期的效果.     

微课在体院计算机教学中的应用研究

微课作为一种全新的教学方式,受到了广大教育工作者的认可和关注。针对目前微课教学研究现状及存在的问题,从微课教学的特点出发,提出了将微课引入到计算机基础教学的具体应用研究措施。实践证明,微课是对传统教学模式的补充,在发掘学生学习潜能、教师进行微课建设等方面都有很强的应用价值。