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光读出热成像芯片的优化设计与ANSYS模拟 总被引:1,自引:0,他引:1
利用一种近似理论——悬臂梁理论对光读出热成像芯片进行了优化设计 ,所采用的 Al/ Si O2 双材料体系 ,其关键性能指标——热 -机械灵敏度可达 6 .6 0× 10 - 8m/ K,与之相对应的最优厚度比为 0 .6 .同时 ANSYS模拟表明 ,可动微镜热 -机械灵敏度为 2 .80× 10 - 8m/ K.芯片实测热 -机械灵敏度为 2 .0 2× 10 - 8m/ K,测试结果进一步证实了理论分析与 ANSYS模拟的结果 .理论计算表明 ,可动微镜热响应时间常数为 4 .4 5× 10 - 4s. 相似文献
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一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作 总被引:3,自引:0,他引:3
提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双材料体系的理论分析 ,得出了可动微镜的最大热 机械灵敏度、机械 光灵敏度及其温度响应分别为 6 .4 7× 10 -9m/K、1.5 3× 10 8m-1、2 .0 5× 10 -4.对系统噪声分析表明 :在目前的设计中 ,系统的噪声等效温差 (NETD)为 5 .1K ,而其极限值有望达到 5 8mK .采用体硅MEMS工艺 ,制作出了 5 0× 5 0的Fabry Perot微腔列阵 .实验表明 ,在红外辐射作用下 ,可动微镜有明显的位移 ,验证了工作原理 相似文献
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基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制 总被引:4,自引:1,他引:3
提出了一种新颖的非致冷光读出热成像芯片的设计,其核心部分是一个m×n的可动微镜阵列,可动微镜是由双材料弯折梁及其所支撑的微镜面组成.在红外辐射的作用下,梁发生弯曲带动微镜面发生的位移变化对输出可见光的强度进行调制,即利用光调制原理完成光信号转换和增强.采用体硅MEMS技术,成功地制作出了5 0×5 0的可动微镜阵列.测试表明:工艺一致性和残余应力对释放前后可动微镜表面粗糙度与平整度、可动微镜间初始相位以及可动微镜灵敏度的大小产生了重要影响 相似文献
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下一代空间天文仪器与地基望远镜需要基于MOEMS的可编程狭缝模具.该模具用于必须工作在低温环境下的多目标光谱仪(MOS)。1个5x5单晶硅微镜阵列(MMA)的初等模型已经成功地制作与检测。100μm×200μm微镜可以通过静电驱动倾斜,产生20~机械倾角。在低温制冷前后温度低于100K的情况下,微镜阵列已经被成功驱动。1个微镜阵列包括2个不同的芯片:镜面芯片与电极芯片,分别制作在硅绝缘体基片上。为了组装大型阵列(100×200微镜).需要高精密的装调与人工处理抑制。本文为此装置发展了1种组装技术,并设计与制作出专用的XY朋斜平台。这个平台允许以微米量级的精度向微镜方向调准电极。大型100×200微镜阵列可以用于大视场,测量范围为25mm×25mm。通过使用上述设备,已经成功地制作和组装了微镜阵列,并且未检测到组装引起的变形。检测到的微镜形变的峰谷值为14nm,已经进行了初步的驱动测试。 相似文献
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在解析热分析理论的基础上,建立了平板Nd:LuVO4激光晶体在激光二极管阵列侧面抽运时的导热微分方程.通过对方程的求解,得到了Nd:LuVO4晶体内部温度场解析式,热形变场分布、温度场和热形变场的数值模拟表明,当抽运光功率为40W,抽运区域为1 mm×4 mm时,晶体在x方向的最高相对温升为11.63 K,y和z方向的最高温升为11.00 K;在x,y,z三方向上的热形变量分别为0.050μm,0.034 μm和0.48μm.这一结果可为Nd:LuVO4激光器设计提供理论支持. 相似文献