衬底温度对纳米晶硅薄膜微结构的影响

采用传统的射频等离子体增强化学气相沉积技术,在较高的工作气压130 Pa和较高的射频功率70 W下,在高于100 ℃低温下,以0.14 nm/s速率制备出优质的纳米晶硅薄膜.研究结果表明,衬底温度对薄膜晶化率、表面的粗糙度和沉积速率影响很大.当衬底温度高于100 ℃时,薄膜由非晶相向晶相转化.随着衬底温度升高,薄膜晶化率提高,沉积速率缓慢增加.当温度超过300 ℃时,薄膜的晶化率降低,薄膜表面的粗糙度增加,均匀性降低.     

中频脉冲磁控溅射沉积氮化铝薄膜及性能研究

氮化铝薄膜在力学、光学、声学等领域有着广泛的应用前景.研究沉积条件对氮化铝薄膜的结构、性能的影响具有重要意义.采用纯铝溅射靶、在不同的N2流量比率条件下,采用中频脉冲磁控溅射在Si(001)衬底上制备出氮化铝薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、椭偏仪研究了N2流量比率对氮化铝薄膜的微观结构、表面形貌、厚度和折射率的影响.研究结果表明,氮化铝薄膜的微观结构、表面形貌、厚度和折射率与N2流量比率有明显的关系,当固定其它沉积条件时,改变N2流量比率会改变薄膜的沉积速率,当沉积速率发生突变时,薄膜的折射率、微观结构、表面形貌也发生相应的变化.在实验结果的基础上结合反应沉积的表面动力学因素分析了反应气体中N2流量比率对氮化铝薄膜的表面形貌、微观结构、厚度和折射率的影响原因.     

中频脉冲磁控溅射沉积氮化铝薄膜及性能研究

氮化铝薄膜在力学、光学、声学等领域有着广泛的应用前景.研究沉积条件对氮化铝薄膜的结构、性能的影响具有重要意义. 采用纯铝溅射靶、在不同的N2流量比率条件下,采用中频脉冲磁控溅射在Si(001)衬底上制备出氮化铝薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、椭偏仪研究了N2流量比率对氮化铝薄膜的微观结构、表面形貌、厚度和折射率的影响.研究结果表明,氮化铝薄膜的微观结构、表面形貌、厚度和折射率与N2流量比率有明显的关系,当固定其它沉积条件时,改变N2流量比率会改变薄膜的沉积速率,当沉积速率发生突变时,薄膜的折射率、微观结构、表面形貌也发生相应的变化. 在实验结果的基础上结合反应沉积的表面动力学因素分析了反应气体中N2流量比率对氮化铝薄膜的表面形貌、微观结构、厚度和折射率的影响原因.     

CVD金刚石薄膜钻模套的制备与试验研究

以硬质合金为衬底,采用化学气相法(CVD),通过改进预处理方法和优化沉积工艺参数,在钻模套内孔表面沉积金刚石薄膜涂层。利用扫描电子显微镜、表面粗糙度测量仪、激光喇曼光谱仪和洛氏硬度计对金刚石薄膜涂层的表面形貌、质量、均匀性和涂层附着力进行检测。结果表明,钻模套内孔表面可以沉积分布均匀、质量优异的金刚石薄膜。同时也为该技术推广应用并实现产业化生产提供一定的试验依据。     

Ir薄膜的化学气相沉积制备及SEM研究

以乙酰丙酮铱为沉积源物质,采用化学气相沉积法在金属钼基体上制备铱薄膜,研究基体加热温度对铱薄膜沉积速率的影响.发现铱在钼基体的生长规律不符合Arrhenius公式,当T sub低于750℃时,Dr随T sub的上升而直线增加;而当T sub高于750℃时,Dr则随T sub的上升而呈直线降低,Dr值在750℃时达到最大.SEM研究表明,铱薄膜以约0.1μm的颗粒沉积生长,表面形貌与钼基体表面加工痕迹相对应,铱薄膜中的氧含量与沉积过程通入的氧气流量有关.     

衬底类型对ZnO薄膜应用在太阳能电池上的影响

采用射频磁控溅射技术在硅衬底和石英玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,研究了不同衬底对AZO薄膜的结构、形貌、电学和光学性质的影响.结果表明:硅衬底上沉积的AZO薄膜具有更好的结晶质量;同时,硅衬底上AZO薄膜电阻率和载流子浓度较玻璃衬底上的性能提高10倍以上,其霍尔迁移率提高约17倍左右,硅衬底上AZO薄膜...     

超声喷雾热解法制备TiO2光催化自清洁陶瓷及其性能研究

为了制备成本低、高效低碳、自清洁能力强的卫浴陶瓷,文章采用超声喷雾热解法在普通釉面陶瓷上制备了TiO2薄膜,以亚甲基蓝为目标降解物,考察了沉积温度对TiO2薄膜光催化活性的影响;采用X射线衍射分析仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对样品的晶体结构和表面形貌进行了表征.实验结果表明:TiO2薄膜表面分布均匀,属于锐钛矿型,具有一定的择优取向.光催化实验和亲水性实验表明:当沉积温度为350℃时,薄膜在紫外光照射3h后,对亚甲基蓝的降解率可达53.9%,并表现出良好的亲水性.     

掺硼浓度对金刚石薄膜微电极电化学氢化的影响

硼掺杂金刚石（BDD）具有高的析氧电位、低的背景电流等优异的电化学性能，但其电化学传感特性易受掺硼浓度影响。采用热丝化学气相沉积法在微细钨丝上沉积BDD薄膜，在不同沉积温度（700和800 ℃）下改变掺硼浓度而制备了系列BDD微电极，研究了掺硼浓度对BDD微电极表面电化学氢化的影响。同时，采用扫描电子显微镜、Raman光谱分析薄膜形貌和成分，采用循环伏安法在铁氰化钾溶液中检测薄膜的表面状态和电化学性能。结果表明：高温会促进薄膜中硼的掺入，降低了薄膜质量；随着薄膜中硼浓度的增加，原生BDD电极的表面状态和电化学性能改变不大，但是会降低BDD微电极从氧端基恢复到氢端基的难度。     

Ir薄膜的化学气相沉积制备及SEM研究

以乙酰丙酮铱为沉积源物质，采用化学气相沉积法在金属钼基体上制备铱薄膜，研究基体加热温度对铱薄膜沉积速率的影响。发现铱在钼基体的生长规律不符合Arrhenius公式，当Tsub低于750℃时，Dr随Tsub的上升而直线增加；而当Tsub高于750℃，Dr则随Tsub的上升而呈直线降低，Dr值在750℃时达到最大。SEM研究表明，铱薄膜以约0．1μm的颗粒沉积生长，表面形貌与钼基体表面加工痕迹相对应，铱薄膜中的氧含量与沉积过程通入的氧气流量有关。     

衬底温度对直流磁控溅射沉积AlN薄膜组织结构的影响

采用直流反应磁控溅射法在不同衬底温度(20～490 ℃)下沉积了AlN薄膜, 用XRD分析了薄膜的择优取向, 用高分辨场发射扫描电镜来表征了薄膜的表面型貌。实验结果表明, 当衬底处在20 ℃冷却的样品台沉积AlN时其上没有晶态的薄膜生成; 衬底处于等离子体自加热时, 薄膜具有混合的取向; 随着温度的升高, 薄膜的(002)晶面择优取向度逐渐增大, 薄膜的结晶度越来越高, 同时更加致密化。当温度到达 400 ℃时, (002)晶面取向度达到最大。温度达到490 ℃时, 薄膜再度出现了明显的(100), (101)晶面的衍射峰。     

煤矿提升机齿轮箱振动分析

提升机作为煤矿中的重要设备,其故障率对于煤炭的安全高效生产有着极为重要的作用。在详细分析了煤矿提升机工作环境和工作特性的基础上,建立了提升机齿轮箱振动的数学模型,分析了速度和载荷变化情况下的提升机齿轮箱振动的特点,分析了变工况条件下齿轮箱故障信号的分布特征,为变工况条件下提升机齿轮箱的故障诊断提供了一定的理论基础。     

光学经纬仪检定方法误差分析

分析了光学经纬仪检定方法中产生的误差的来源和大小。     

合同与侵权责任竞合时诉讼请求权的选择

合同责任与侵权责任是民事法律关系中两种重要制度，二者的构成要件不同，责任承担方式不同。当发生合同责任与侵权责任竞合时，如何选择适当的诉讼请求权，具有十分重要的意义。     

矿柱流变对采空区顶板稳定性的影响

为研究岩石流变特性对采空区长期稳定的影响,基于Reissner厚板和流变力学理论构建了矿柱-顶板流变力学模型,并推导出顶板沉降位移关于流变时间的关系式;依据不同边界条件将顶板破坏过程划分为固支、固支-简支、简支和内部破坏四个阶段。研究结果表明:所建立的流变力学模型可用于对采空区稳定时间的预测,并为采空区及时处理提供参考。     

颗粒在震荡分离过程中的动力学研究

在对颗粒物理化学性质研究和受力分析基础上,研究了片状硅片和多面体玻璃混合颗粒在震荡分离过程中的动力学规律。开展颗粒震荡分离过程动力学研究对退役光伏组件回收中优化硅玻分离设备结构和工艺参数等具有重要意义。     

某高速公路岩石单轴抗压强度结果的不确定度评定

依据JTG E41—2005《公路工程岩石试验规程》,结合工程项目实例,对岩石单轴抗压强度进行了试验,对试验结果采用JJF 1059—2012《测量不确定度评定与表示》进行分析与评定,了解测试中造成误差的因素,结果显示影响该项目单轴抗压强度试验的主要因素来源于样品的不均匀性和压力试验机的测量。     

采煤机摇臂扭矩轴设计

为充分发挥采煤机摇臂扭矩轴安全槽的过载保护功能,对安全槽进行结构改变及槽深改变,并用ANSYS进行静力学分析,结合扭转静强度安全系数获得安全槽的最优化结构来确保发挥扭矩轴在实际生产应用中的作用。     

我国石化企业低碳技术创新风险考量及防范

石化企业低碳技术创新具有高技术风险、高市场风险、高政策风险属性。积极构建适宜的石化企业低碳技术创新模式,不断强化与完善政府在低碳技术创新过程中的风险防范功能,增强石化企业自身低碳技术创新风险防范能力,可以在一定程度上防范石化企业低碳技术创新风险。     

数控车削子程序的巧用

在利用数控车床教学与培训、实际生产与加工的时候,一些轴套类零件经常出现带有重复轮廓形状和具有较大凹圆弧情况,用传统的粗车循环指令G71、G73,由于其走刀方式的特点,难免会产生根切、撞刀、加工效率低下等现象,故难以满足加工要求。主要介绍调用子程序的相关知识,可以很好地解决这些问题。     

掘进机钻头结构的优化设计研究

掘进机作为现代生产的重要设备,广泛应用在煤矿和隧道开采等领域,其性能的好坏对生产效率有着重要影响。掘进机钻头的寿命除了受材料的影响,还和其本身的结构有很大关系。详细分析了掘进机钻头的锋利度和耐磨度与其结构的关系,并对其进行了仿真。最后找到使生产效率最大时掘进机钻头结构的最优设计方法,为掘进机钻头的实际设计提供理论参考。