基于激光刻蚀技术石英晶振频率微调系统的设计

根据石英晶振频率微调机理及激光刻蚀特性,设计软件、硬件实现了一个基于PC机和激光器的石英晶振频率微调装置,并提出了一种实用刻蚀方案,可实现对多片晶片同时微调,能有效地消除微调过程中出现的温漂等问题,同时讨论了提高微调速度及合格率的方法．     

智能石英晶振真空计的软件设计

介绍了用于石英晶振真空计的数据采集、气压频率非线性曲线拟合、低气压下温度补偿等诸多的软件设计。由单片机采集的经V／F转换后的输出信号fp与石英晶振的谐振频率fc,由软件实现采集和滤波,采用定时中断和外部脉冲计数中断相结合的方法来提高采集的准确性。通过大量实验结果得出的气压Pi和fp的关系曲线分4段做非线性曲线拟合,当真空度小于10Pa时启用事先在微处理器存入的表格进行温度补偿以拓宽测量下限,经测试,在10^-5-10^-1Pa内,本真空计的测量精度达10％－15％。     

基于微石英晶振的静电力显微镜的设计

描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜（EFM）。利用谐振频率为32．768kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器，它在逼近试件表面过程中，振动特性发生变化，通过检测振动幅值的变化，并经过信号处理来获得样品表面电荷分布的信息。在分析了EFM检测原理的基础上，设计了EFM系统。     

计量精密仪器的防微振设计

对于精密仪器防微振设计,当资料齐备时,可以通过计算进行相关设计.但往往由于振源振动干扰的复杂性及其在土壤中传播衰减的不确定性,计算结果的准确性难以判断.通过对某省级检测中心两栋检测楼中计量精密仪器的防微振设计,提出了计量精密仪器的防微振设计思路、方法及其特点,对实施后隔振情况进行了测试,各指标达到容许振动的限值要求.     

使用微晶振的扫描近场声显微镜研究

描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM).其原理是利用谐振频率为1 MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面,在此过程中晶振受到流体阻尼,振动特性发生变化,通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌的信息.在分析了SNAM的检测机理基础上,设计了SNAM系统,测量时垂直分辨率可达到纳米级.     

基于Zigbee和CAN总线的嵌入式车辆功率测试系统设计

目前车辆传动系统功率测试系统中转速测量精度基本达到要求,扭矩测量精度还未达到要求.为此提出了一种新型嵌入式无线功率测试系统的设计思想和方法,系统主要采集传动系统扭矩、转速、弯矩、扭振等参数,数据采集部分采用ARM7微处理器和Zigbee无线通信模块LW 1151,数据传输方式采用基于ARM9的CAN总线传输.通过分析计算弹性传动轴上的弯矩、扭振而引起的附加扭矩的大小,更加精确地得出车辆的轴功率,实车实验结果表明该方法可行可靠,系统达到了预期效果.     

基于振弦式传感器的桥梁监测系统设计及应用

针对桥梁监测中振弦传感器信号采集仪集成度低,数据传输方式有限等问题,设计了振弦式传感器桥梁监测集成系统.本文以ARM处理器STM32为核心,外部扩展激振和拾振电路,结合RS485和4G通信实现振弦传感器信号采集系统硬件设计,并扩展SD卡实现离线数据存储,采用MODBUS通信协议进行数据通信保障通信的可靠性.采用等精度测频法进行频率计算,以保证不同频段的信号具有相同的采样精度.实验结果表明,基于振弦式传感器的桥梁监测系统的精度以及稳定性满足实际应用需求,本研究可以为桥梁实时检测,交通行业应变监测传感器在安装前的快速校准与检测提供技术支持.     

硅微矢量水声传感器的封装及测试方法研究

针对目前矢量水声传感器存在的高灵敏度、低频检测以及小型化等问题,提出了一种新型的硅微MEMS矢量水声传感器.利用敏感材料的压阻效应?传感器精巧的微结构以及硅微MEMS技术,实现矢量水声传感器的低频特性和小型化的可行性.以声场中的刚硬圆柱在声波作用下的声散射问题作为切入点,对传感器的同振原理进行分析,并基于该机理以及传感器的特殊结构,提出采用注入蓖麻油的方法实现微结构的柱体与所处介质质点同振.分别采用振动台标定和驻波场测量的方法完成了传感器的灵敏度、频响以及指向性的测试,最后对2种测试结果进行了分析和比较.研究结果表明:所研制的水声传感器具有较低的工作频率,其水下自由场声压灵敏度值为-207.6 dB(0 dB=1 V/μPa,测试频率为200 Hz),指向性图的零点深度为50.9 dB.     

汽车悬架性能测试系统的研究与设计

汽车悬架性能测试是机动车安全运行检测中的一个重要项目.本文在建立检测车辆悬架振动力学模型和运动方程的基础上,分析并确定了悬架性能的评价指标.针对汽车悬架测试台的基本结构和受力过程,设计了高精度力传感器和速度传感器输出信号的调理模块.采用工业控制计算机直接采集车轮垂直接地力与激振台面频率,提高了测试系统的精度和实时性.实测证明,该系统完全能够满足汽车悬架性能测试时的动态要求,具有较高的可靠性.     

微油点火技术在火电厂的应用研究

对火电厂微油点火系统的工作原理、系统组成、点火流程进行了分析,阐述了微油点火系统应包括燃油系统、小油量气化油枪、压缩空气系统、高压风系统、电点火装置以及PLC控制系统等主要子系统的作用.为了确保锅炉点火安全,系统的火焰检测采用紫外光加红外光(UV/IR)双路检测,分三个阶段来实现.