中阶梯光栅刻划误差要求分析

中阶梯光栅作为高色散和高分辨率光学器件,已经广泛的应用于大型光谱仪器之中。在中阶梯光栅的刻划过程中,存在刻划误差,这将严重影响光栅衍射性能,最终使得衍射效果产生缺陷。针对此情况,定量分析了中阶梯光栅的刻划误差对衍射光谱、衍射级次、波前误差、鬼线强度、杂散光强度的影响以及提出了一种从衍射效率角度分析刻划误差的方法。在满足一定条件下,求得上述因素对应的刻划误差分别为:1 265.8 nm、352 nm、37 nm、112 nm、3.4 nm。这对光栅刻划时限定刻划机的刻划精度提供了直接和重要的参考。     

衬套弹簧式二级减振主动悬架及其半车非线性LQG控制器设计

针对作动器较大等效惯性质量放大需求控制力,阻碍旋转电机式主动悬架性能改善问题,提出了一种衬套弹簧式主动悬架二级减振结构方案。根据多工况实测力学特性,提出包含“反S型”刚度及“准饱和”阻尼特性的衬套弹簧力学模型,并据此建立了衬套弹簧式二级减振主动悬架半车非线性动力学模型;在增加衬套弹簧虚拟阻尼项保证系统稳定的基础上,对刚度的高次非线性项、“准饱和”阻尼非线性项进行前馈反馈线性化,设计出非线性LQG(linear-quadratic-Gaussian)控制器;为获得最优的悬架工作效果,对衬套弹簧虚拟阻尼进行了优化。结果表明,除能获得与传统理想主动悬架非常接近的悬架综合性能外,衬套弹簧式二级减振主动悬架还具有较好的变行驶工况鲁棒性。     

检测圆光栅的光电定角比相法

一、引言圆光栅(或码盘)的分度误差是衡量其刻划水平的一项重要指标。光电定角比相法,就是检测圆光栅分度误差的一种动态检测方法。这种方法是我所于1970年年底试验成功并于1981年十月份通过所级鉴定的,专家们认为“在没有合适的光电检验仪的情况下,可用定角比相法动态检测圆光栅”。     

弹性齿多齿精密分度台精确度的理论和实验分析

本文扼要描述我国发展的一种新型多齿分度台——弹性齿多齿精密分度台的工作机理。这种多齿分度台与一般的多齿分度台的不同之处是:它在一定的轴向压力下,由于齿的弹性变形,能使所有齿的啮合面都保持接触。这种弹性过约束原理使它具有很高的工作分度精确度,而且定位稳定。弹性齿多齿精密分度台的最大工作分度误差目前已达到不大于0.1角秒(±0.05角秒)。从理论上证明了当齿刚度相同时,工作分度误差为零。对于分度台的工作分度误差与齿盘加工误差之间的关系进行了实验验证。易位研磨是提高分度台工作分度精确度的有效措施,减小齿厚的不均匀性也是有益的。在实际使用中,弹性齿多齿精密分度台对环境条件要求较低。     

用动态全积分法提高圆分度精度

论述了动态全积分法的基本原理和误差分析，比较了几种基本结构和信号处理方法的优缺点，对实现方法的关键技术进行了讨论。组合装配成原理实验装置，并作了三个对比实验，取得了较好的初步结果。实验表明动态全积分法能很好地消除光栅刻划误差及偏心的影响，提高了圆分度精度。此法适用于高精度测量系统。     

自动细分多齿分度台的研制

采用可编程多轴运动控制卡实现对细分多齿分度台的自动控制,通过在细分机构中加入光栅作为位置反馈,提高了细分角度的准确度,从而提高了仪器的整体准确度.     

不圆度0.1微米轴的超精磨削要点——中心孔研磨及磨削操作技术

科学事业的发展要求研制出日益提高的测角仪器,刻制精度零点几角秒的测角元件(度盘、光栅盘、码盘),要求有主轴晃动为百分之几微米的高精度刻划机器。高精度的测角仪和刻划机要求有高精度的主轴,而高精度主轴加工制造最关键的工序是磨削与研磨,这样的磨削与研磨属于     

滚压印圆柱母光栅的微刻划制造

精密长光栅作为高档数控机床中的核心部件,其制造能力和精度直接决定高精密机床的制造水平．本文对纳米滚压印技术制造长光栅中的核心部件——圆柱母光栅的制造开展研究,建立了高精度的母光栅刻划制造平台,保证了母光栅制造的精度要求;分析了微尺度毛刺的形成机理和抑制方法,对母光栅材料选择及微尺度刻划工艺参数进行了优化,实现了直径110mm,周期分别为20μm、10μm和4μm整圈圆柱母光栅的高精度微刻划制造．母光栅刻划总条数为数万条,4μm周期母光栅连续刻划时间超过62h,最终实现母光栅的首尾拼接误差控制小于300mm．另外,针对滚压印加工中的填充问题,利用聚焦离子束（FIB）技术制备了V形、梯形等形状金刚石刀具,获得了良好的光栅压印结果．     

压力表轻敲变动量的准确检定

在JJG52—87《弹簧管式一般压力表、压力真空表及真空表检定规程》(以下简称“检定规程”)中规定了示值检定的标准,但我们在工作中发现其中“轻敲变动量”一项很难准确地进行检定,其原因是压力表的分度值与“检定规程”中规定的轻敲变动量相比过大。对一个量值的准确度,一般规定在有效数字中,只有最后一位数字是不确定的,其它各位数字都是确定的。而“检定规程”规定的压力表轻敲变动量的检定却难以实现。 例如:一台Y一100型1.5级量程为0.6MPa的工作压力表,其分度值为0.02MPa,“检定规程”规定其最大轻敲变动量为0.0045MPa。很明显,这个…     

相位扫描法制作变栅距光栅

提出了一种制作变栅距(VLS)光栅的相位扫描方法。该方法的主要装置包括一个用于控制刻划机运动的光栅干涉仪和一个相位扫描机构。如果调整光栅干涉仪,保证接收场中只有两条干涉条纹,然后改变用于对条纹进行计数的光电传感器的位置,就可以刻划出具有变栅距的刻槽。对光电式光栅刻划机的控制系统和结构都做了详细论述。按照上述方法成功刻划出了试验性的VLS光栅,它的最小栅距增量为0.33nm,并对在制作过程中产生的误差进行了讨论。采用测量衍射角的方法进行了栅距检测试验,由变栅距光栅和等栅距光栅作出的拟合曲线表明:相位扫描方法是加工具有亚纳米栅距增量的VLS光栅的有效方法,该方法对超精密定位也具有借鉴作用。     

用双刀架光刻方法提高圆分划的刻划精度

分析了圆刻度机进行圆分划的误差来源,提出了用对径布置双刀架光刻方法来消除圆刻度机主轴晃动及刀架切向位移所引起的刻划误差。在同一圆刻度机上多次试验表明,直径为100毫米、刻线为10800条的圆光栅,用单刀架光刻,最大直径误差为1.0角秒左右;用对径双刀架光刻,最大直径误差为0.2～0.4角秒。实践证明,对径布置双刀架光刻法是提高圆刻度机刻划精度的有力手段。     

孔雀KQ71-88B彩电主电源电压偏高的解决方法

笔者维修一台孔雀ＫＱ７１－８８Ｂ彩电，故障现象是无光声，开机瞬间电视机内有“吱吱”声。经检查，发现行管Ｑ４０２已击穿，更换一行管后，机器光栅、图像和声音均正常，没再做其它项目检查，就让用户将电视搬走了。可是，不到一周这台电视又出现了同样故障。再测行管...     

衍射光栅刻划机精密工作台定位特征识别试验研究

针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标（杂散光强度和波前质量）之间的关系,提出利用改进的Hilbert-Huang变换(HHT)获得的时频谱和边际谱对超精密工作台精定位特性进行研究。首先,给出了基于固有模态函数（IMF）筛选和瞬时频率差分求解的HHT信号处理算法。然后,设计了光学测量实验获得工作台50nm定位信号。最后,完成精密定位信号的特征提取和振动测试验证。结果表明:利用改进的HHT可以精确地完成精密定位信号的特征提取,从而为在衍射光栅的制造工艺中从根源上降低衍射光栅的杂散光强度和提高波前质量提供依据。     

利用定心双刻线圆标找准被测件圆心

本刊七七年第一期《在“万工显”附件分度台上找准被测件圆心的快速方法》一文介绍了快速使被测件中心与分度台回转中心同心的方法。我们认为,如果分度台带有“定心双刻线圆标”,那么,这个工作还可以进一步简化。首先,我们将“定心双刻线圆标”插入分度台上的小孔,通过调焦和移动纵、横向导轨,使其双刻线和目     

车台用角位移传感器自动分度校准系统设计

为实现高精度SJJF型数显手动分度头的数控化改造应用,满足某航空发动机整机性能测试中车台用角位移传感器自动校准检测的实用性需求,解决手工角度分度耗时费力的难题,提出了角度量自动分度控制系统设计方案,运用逻辑可编程器件（Programmable Logic Controller,PLC）配合专用梯形图编程指令,实现角度光栅信号自动数字化采集、角度值换算、比例微分积分闭环控制（Proportion Integration Differentiation Controller,PID）定位及光栅对零,能够有效满足车台用角位移传感器线性度、灵敏度等校准精度要求,且节约了70%的时间,提高角度分度效率的同时也降低了劳动强度。     

基于LS-DYNA的包带式星箭连接装置分离过程和冲击响应分析

采用显式非线性动力学分析方法来研究包带式星箭连接装置的分离过程和冲击响应,给出了有限元建模和预紧力施加方法,采用LS-DYNA软件计算得到了某包带式星箭连接装置的包带动态包络和冲击响应;分析了对接框刚度、抗剪凸台、分离弹簧和拉伸弹簧刚度系数等参数对分离冲击的影响,并采用单自由度“弹簧-质量”系统模拟缓释过程,讨论了缓释过程对分离冲击的影响。结果表明：（1）采用显式非线性动力学分析方法能够同时解决星箭分离过程仿真和冲击响应分析问题;（2）增加对接框刚度,合理设计抗剪凸台高度,适当减小分离弹簧推力和拉伸弹簧拉力均可降低分离冲击响应;（3）延长解锁装置释放时间能够同时降低最大冲击响应峰值及其对应频率。     

圆光栅检测仪的研制

介绍了一种高精度、精密、自动化、动态测量的光栅检测仪,测量光栅盘的扩展不确定度为０．０８”。该仪器采用了高回转精度的空气静压轴承及多头均化技术,减小了参考盘刻划误差的影响,同时,采用了计算机系统控制测量过程,进行数据处理,实现了自动化测量,检测结果和误差曲线由打印机打印输出。     

高精度小型酶联免疫分析仪微量进样系统设计

为提高酶联免疫分析仪微量进样的可靠性与精度,自主研发了一种小型微量自动进样系统。采用丝杆与进样器活塞杆错位平行分布的方式,设计了精巧的进样机构,实现移液和取、退吸头的功能;利用STM32核心控制器,实现了单轴的S型加减速控制以及多轴协调、多线程运动控制;利用分段的方法对加减速曲线进行分析与优化,实现系统最小进样量为1 μL,以0.05 μL的进样分辨率步进;通过试验校验了进样臂的位置精度与进样精度,采用最小二乘线性拟合方法对系统进样误差进行补偿校正。研究结果表明：优化后的S型加减速算法改善了步进电机的运动特性,有效避免了失步与过冲现象,使进样机构具有较高的位置精度;误差补偿后的微量进样系统拥有更高的进样精度与稳定性,在检定进样量为10,50,100 μL时的进样精度分别由±7.2%,±5.3%,±3.2%提高到±1.8%,±1.28%,±1.15%,满足仪器小型化、高精度的设计要求,具有良好的实际应用与推广价值。     

缩小检定分度值不代表提高汽车衡的准确度

<正>在汽车衡实际使用中,我们发现很多使用者片面追求"精度"而不按规定要求设定检定分度值,以笔者自身工作经历为例:目前我县境内在用的各种不同规格的电子汽车衡达500余台,我检测中心计量检定人员对在用电子汽车衡进行周期检定及补检过程中,发现所有在用电子汽车衡检定分度值普遍存在缩小现象,有部分不同规格的在用电子汽车衡的检定分度值已缩小到极限,     

环形激光精密角度标准的建立与验证

环形激光角度标准与传统的角度标准不同,它是以Sganac原理为基础,用光拍频建立的圆分度标准。通过改善激光器件和测量电路的性能,克服了环形激光的零漂,提高了测角精度。其系统误差小于0.02角秒(峰峰值),随机误差约为±0.03角秒(1σ)。此精度通过对圆光栅作全组合测量得到验证。