光敏甲基丙烯酸酯共聚物的合成及在负性光致抗蚀剂中的应用

以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和甲基丙烯酸苄基酯(BZMA)为原料,通过自由基聚合制备了聚甲基丙烯酸酯系列共聚物PMMHB,再用甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)与PMMHB反应制得光敏共聚物PMMHB-G。用傅立叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1H-NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、热重分析(TGA)和差示扫描量热(DSC)表征了聚合物的结构与性能,用光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)观测了光致抗蚀剂的耐酸性、微观线路及分辨率。结果表明,随共聚物组成中BZMA含量增加,其分子量(-Mn)和玻璃化温度(Tg)呈下降趋势,热分解温度(Td)提高,光致抗蚀剂的耐酸性随BZMA含量的增加而有所提高。由PMMHB-G制得光致抗蚀剂的图像线路清晰笔直,分辨率可达到40μm。     

甲基丙烯酸环氧丙酯-b-甲基丙烯酸十二氟庚酯嵌段共聚物的合成及在疏水涂层中的应用

采用连续再生催化剂原子转移自由基聚合(ICAR ATRP)合成了甲基丙烯酸环氧丙酯-b-甲基丙烯酸十二氟庚酯嵌段共聚物(PGMA-b-PDFHMA)。然后将嵌段共聚物与纳米二氧化钛(Ti O2)复合制备疏水涂层。通过凝胶渗透色谱、核磁共振仪、接触角、扫描电子显微镜等对嵌段共聚物及涂层进行了研究与表征。研究结果表明,采用ICAR ATRP法成功制备了甲基丙烯酸环氧丙酯-b-甲基丙烯酸十二氟庚酯嵌段共聚物。嵌段共聚物结构及嵌段共聚物与纳米粒子的比例对涂层疏水性有显著影响。当含氟嵌段共聚物的链段摩尔比为1∶0.10,含氟嵌段共聚物与Ti O2质量比为0.5/1~10/1时,含氟嵌段共聚物接枝纳米Ti O2混合物制备的涂层表面的接触角可达150°。嵌段共聚物的含氟链段长度和涂层表面粗糙结构的差异是影响涂层疏水性的主要原因。     

CEM/NVC共聚物的合成及光导性能

采用甲基丙烯酸乙基咔唑酯(CEM)和N-乙烯基咔唑(NVC)的共聚合反应,合成了具有光导性能的甲基丙烯酸乙基咔唑酯/N-乙烯基咔唑(CEM/NVC)共聚物。讨论了影响共聚组成的因素,并用红外和紫外光谱对产物的结构进行了表征,通过元素分析方法分析了共聚物中各组分的百分含量,采用差示扫描量热(DSC)分析了共聚物的玻璃化温度(Tg),对掺有C60的CEM/NVC共聚物及聚乙烯咔唑(PVK)的光导性能进行了研究。结果表明,CEM含量增加对共聚物的Tg值降低明显;CEM含量越高,共聚物的Tg越低;共聚物比PVK的成膜性有明显提高;同时其对光导率影响不大。     

MMA-BA-DMAEMA三元共聚物胶乳的电解质稳定性

采用间歇及半连续乳液聚合方式,合成得到了甲基丙烯酸甲酸酯－丙烯酸丁酯－甲基丙烯酸二氨基乙酯三元共聚物胶乳,系统研究了乳化剂类型,复合配比及用量,聚合温度,聚合方式和官团单体含量对共聚物乳液耐电解质稳定性的影响。     

P(NIPAAm-co-AAPBA-co-HPM-co-TMSPM)四元共聚物的温度及葡萄糖响应行为

通过自由基聚合法将N-异丙基丙烯酰胺(N-isopropylacrylamide,NIPAAm)、3-丙烯酰胺基苯硼酸(3-acrylamidophenylboronic acid,AAPBA)、甲基丙烯酸羟丙酯(Hydroxypropyl methacrylate,HPM)和甲基丙烯酸(3-三甲氧基硅)丙酯(3-trimethoxysilylpropyl methacrylate,TMSPM)合成为P(NIPAAm-co-AAPBA-co-HPM-co-TMSPM)四元共聚物。采用傅里叶变换红外光谱、核磁共振氢谱和动态光散射等手段对终产物进行化学结构、分子组成和响应行为等方面的鉴定与考察。结果表明合成的共聚物由NIPAAm、AAPBA、HPM和TMSPM按照设计的反应物的物质的量比组成,为短链型聚合物,兼具温度和葡萄糖双重响应性能。     

丙烯酸酯共聚物无皂水溶胶固化行为的研究

用扭辫法和示差扫描量热法研究了热固性丙烯酸酯四元共聚物(甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸、甲基丙烯酸羟乙酯)无皂水溶胶的固化过程。共聚物上的弪基和羧基与固化剂(六甲氧基甲基三聚氰胺)上的甲氧基在不同温度区间交联,在催化剂(对甲基苯磺酸)的存在下,羟基交联温度低于羧基。共聚物水溶胶交联固化时间随固化温度升高而缩短,用Arrhenius式求得其固化活化能为51.8kJ/mol。用抽提法考察了固化时间和固化剂量对固化度的影响。     

纤维状甲基丙烯酸正丁酯／甲基丙烯酸β羟乙酯共聚树脂的性能

采用悬浮聚合法合成了甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸β羟乙酯二元共聚树脂,并用冻胶纺丝技术制备了纤维状共聚物树脂.研究了甲基丙烯酸β羟乙酯含量对树脂饱和吸油率以及充分溶胀后树脂剩余率的影响,分别利用傅立叶变换红外光谱(FT-IR)和动态热机械分析仪(DMA)对树脂的化学结构和动态力学性能进行了分析和讨论.     

甲基丙烯酸电气石酯-乙酸乙烯酯共聚物的制备与表征

为了合成含电气石功能聚合物,采用甲基丙烯酸酐对电气石进行表面改性,在电气石表面引入双键,制备了甲基丙烯酸电气石酯,而后与乙酸乙烯酯进行共聚反应,合成了甲基丙烯酸电气石酯-乙酸乙烯酯共聚物。通过IR、XRD、SEM等手段对其进行结构和形貌表征,结果表明,电气石粉体成功引入到共聚物中,具有优良的分散性和储存稳定性。且甲基丙烯酸电气石酯-乙酸乙烯酯共聚物成膜后具有良好的力学性能和优异的负离子释放量、远红外辐射性等性能。     

甲基丙烯酸树脂的合成及在负性光致抗蚀剂中的应用

以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯(MAd MA)为单体,通过自由基聚合制备了不同MAd MA含量的共聚物PMMHM,再与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反应制得光敏共聚物PMMHM-G。用傅里叶变换红外光谱、核磁共振氢谱、凝胶渗透色谱、差示扫描量热等表征了聚合物的结构与性能;以PMMHM-G为基体树脂配制了光致抗蚀剂,测试了抗蚀剂膜的硬度与附着力,并用扫描电子显微镜观测了光致抗蚀剂的分辨率。结果表明,随着MAd MA含量升高,共聚物的相对分子质量下降,玻璃化转变温度升高,树脂的耐碱性增强,光致抗蚀剂的硬度和附着力良好,分辨率达50μm。     

基于NIPAM和HEMA的温敏性共聚物水溶液性能研究

以N-异丙基丙烯酰胺(NIPAM)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)、丙烯酰胺(AM)、丙烯酸(AA)为原料,采用水溶液自由基聚合法制备了N-异丙基丙烯酰胺基温敏水溶性共聚物P(NIPAM-HEMA-AM)和P(NIPAM-HEMA-AM-NaAA)。研究了无机盐及聚合物结构对共聚物低临界溶解温度(LCST)的影响,考察了共聚物浓度、盐浓度、表面活性剂浓度对共聚物溶液流变性能特别是粘温特性的影响。结果显示,随着盐浓度的增加,共聚物溶液的LCST呈下降趋势。共聚物浓度较高时,在LCST附近表现出显著的升温增稠性。在P(NIPAM-HEMA-AM-NaAA)溶液中加入NaCl后溶液黏度增加,升温增稠效应明显。