激光干涉仪在10米测长机导轨直线度检测中的应用

为检测10米光栅测长机导轨的直线度,采用双频激光干涉仪系统作为主要测量工具,以最佳平方逼近法计算10米光栅测长机导轨的直线度。根据双频激光干涉仪的测量直线度测量原理,结合直线度的评定方法,对10米光栅测长机导轨的直线度的测量方法进行了介绍。实验表明,采用双频激光干涉仪测量直线度的方法实用,较为准确、方便、直观。     

基于PSD的分离式长导轨直线度测量方法研究

利用分段拼接测量方法能够将PSD激光准直测量系统测量范围扩大,相较于传统长导轨直线度测量方法,该方法可同时适用于连续型导轨和分离式超长导轨的直线度测量。首先,在(-5～+5) mm测量范围内,通过激光干涉仪分别测得激光准直测量系统的接收靶在水平和竖直方向上的位移,误差均优于±(1μm+1%H)。然后,在40 m范围内与激光准直测量系统的直线度测量精度进行对比,二者水平方向直线度误差相差0.06 mm,竖直方向直线度误差相差0.13 mm。最后,在70 m分离式超长导轨上,测得水平方向直线度为0.50 mm,竖直方向直线度为0.53 mm。该方法可迅速定位和调整直线度误差极值点位置,能够较为有效地解决分离式超长导轨的直线度装配调试问题。     

用5528A双频激光测量系统测量长导轨直线度数据连接的精度分析

根据我院造船系的要求,我们对某船池导轨进行了直线度测量,导轨全长160m。本文对测量数据连接的精度作一分析介绍。一、确定测量方案根据要求,我们决定选用HP-5528A双频激光测量系统对其进行测量。我们现有的测量直线度误差附件仅能测量3m内的直线度。如果用它来测量160m长导轨,其工作量是很大的,因此我们采用一套可测量25m长的测角附件,对其分段测量,然后进行数据连接,最后得到全长的直线度误差值。具体测量方法是: 对全长为160m的船池导轨进行分段测量,桥板跨距为400mm,各段均测21.2m,各段间重叠测点愈多,计算精度愈高,而工作量也相应增加,但至少得重叠两个测点,我们根据     

长导轨直线度分段测量拼接方法研究

激光干涉仪测量超长导轨直线度时,因导轨长度超出干涉仪直线度测量范围,需分段测量后拼接,测量数据易受噪声和激光漂移等因素影响,导致拼接可能引入较大误差。通过分析拼接过程中的影响因素,结合长导轨结构特性,提出了一种将拼接公共点分布在相邻两节子导轨上,利用相邻两节子导轨夹角的稳定特性来实现长导轨直线度拼接的方法。通过仿真与实验,对比了30m范围内的直接测量法与坐标变换拼接法的测量结果,2种方法的直线度结果相差＜10μm,表明所提出的方法能有效减小拼接误差。将此方法应用于72m导轨的直线度测量,并与电子水平仪测量方法比较,2种方法结果相差10μm,表明所提出的方法可实现高精度的直线度拼接。     

一种超大量程激光万能测长机及其测量不确定度分析北大核心CSCD

为进一步提高激光测长机的测量范围、测量精度及可靠性,满足装备制造产业等向大型化、高精度和可互换性方向迅速发展中对超长尺寸的计量要求,研制了一台超大量程激光万能测长机。采用花岗岩导轨做基座,激光干涉仪为标尺,设计符合阿贝原则的测轴,由气浮滑块支撑,并应用温度实时补偿技术,提高准确度和长期稳定性。对影响激光测长机测量准确度的误差进行了不确定度分析。实验结果表明,该激光测长机的测量范围达 26 m ,测量准确度达到0.3 μm+0.2×10 -6 L,k =2。     

一种在线测量大尺寸直线度的方法

介绍一种新型测量仪器,对大长度导轨的直线度进行精密测量。作者基于对激光几何测量系统的使用功能和性能的了解,结合实际工作中遇到的断续长导轨直线度测量需求,用激光几何测量系统完成了长导轨直线性的测量,取得了较好的效果,是对大尺寸形状误差测量的一种方法的探讨。     

利用激光技术改进的测长装置

提出激光干涉仪作为标准器代替测长机玻璃尺的改进方案.通过调校位于测长机尾座上的角锥反射镜,使干涉仪光轴与测长轴线同轴,消除阿贝误差对测量精度的影响.同时进行了理论分析并与三等最块进行了比对实验.结果表明,改进后的2 m测长机达到了较高的测量精度和测量效率,对提高长度尺寸的测量精度具有一定的参考价值.     

激光干涉仪测量测长机示值误差时阿贝误差的影响

不符合阿贝原则的仪器,测量时导轨直线度将产生较大的阿贝误差。测长机按其结构是不符合阿贝原则的,但其具有特殊的光学系统可以补偿所产生的阿贝误差,使之不对测量结果产生影响。     

收发分体式四自由度激光测量系统耦合误差建模与补偿

线性导轨广泛应用于精密机床和仪器,其运动精度直接影响所在设备的空间定位精度。针对团队前期研制的可以测量导轨直线度、俯仰角和偏摆角的收发分体式四自由度激光测量系统,其直线度与角度测量结果间存在的耦合干扰问题,提出了一种误差建模与补偿方法。根据激光测量系统的原理和结构,分析并确定了耦合误差的主要来源,利用矩阵光学及齐次坐标变换的方法建立了耦合误差的补偿模型。以雷尼绍XL-80型激光干涉仪为基准,对所建立的误差补偿模型进行了实验验证,结果表明:利用所建模型补偿后的直线度和角度测量误差均降低了75%以上。所提出的误差建模与补偿方法不但有助于提高四自由度激光测量系统的精度,同时也有助于降低其成本。     

相移干涉技术在小角度及直线度测量中的应用

应用相移干涉及Zernike多项式波面拟合技术实现对空间小角度的高精度测量 ,测量精度可达到 0 0 13″。与采用自准直仪、激光干涉小角度测量仪的测量方法相比较 ,测量精度有较大幅度的提高。与测长设备 光栅尺结合使用 ,可同时高精度测量导轨俯仰和偏摆两方向上的直线度     

五自由度运动误差测量系统关键技术研究

设计了一种基于激光准直原理的运动平台激光五自由度运动误差测量系统,该系统基于双平行光束的准直原理对水平直线度、垂直直线度、偏摆角、俯仰角和滚转角误差进行同步测量。进行了系统直线度、偏摆角和俯仰角误差测量核心器件参数的自标定,针对双光束难以调平影响滚转角误差测量的问题,利用水平仪对滚转角误差进行补偿修正。对整套系统进行准确度比对实验,结果表明系统所测直线度、偏摆俯仰角和滚转角误差的准确度可分别达到0.8 μm,0.8″和1.5″,为机床几何误差测量技术发展提供借鉴。     

一种测量超长导轨直线度的方法

本文结合工作实例,介绍一种用平直度检查仪测量,采用分段检测方式以节距法获得16m超长导轨直线度误差的方法。     

一种测量超长导轨直线度的方法

本文结合工作实例,介绍一种用平直度检查仪测量,采用分段检测方式以节距法获得16m超长导轨直线度误差的方法。     

一种二维基线导轨直线度的测量方法

针对当前长导轨直线度的测量原理及现状,结合现有工作的需求并基于激光几何测量系统的特点及性能,介绍了一种二维基线导轨直线度的测量方法。通过实验验证了该方法的可靠性,同时在满足准确度要求的前提下,提高了测量效率。     

利用钢丝－电容测微仪法测量机床竖直运动直线度和滚动误差

介绍了一种测量机床竖直运动直线度和滚动误差的新方法。以悬挂在被测机床刀架附近的竖直钢丝作为测量基准，用固定在刀架位置的电容测头瞄准钢丝，当机床主轴竖直运动时，机床主轴上的刀架系统相对于竖直方向的运动直线误差可由电容测微仪测得，钢丝本身的直线度可用转位法消除。再增加一个测微仪，还可测出导轨本身的直线度误差。将刀架沿水平方向运动到两个不同位置，分别测出两位置处的竖直运动直线度误差，由这两组数据可以计算出机床竖直运动时的滚动误差。     

利用钢丝—电容测微仪法测量机床竖直运动直线度和滚动误差

介绍了一种测量机床竖直运动直线度和滚动误差的新方法。以悬挂在被测机床刀架近的竖直钢丝作为测量基准，用固定在刀架位置的电容测头瞄准钢丝，当机床主轴竖直运动时，机床主轴上的刀架系统相对于竖直方向的运动直线误差可由电容测微仪测得，钢丝本身的直线度可用转位法消除。再增加一个测微仪，还可测出导轨本身的直线度误差。将刀架沿水平方向运动到两个不同位置，分别测出两位置处的竖直运动直线度误差，由这两组数据可以计算出     

直线度误差微机设计原理及程序

本文以机床导轨的直线度误差测量为例 ,介绍了直线度误差的微机设计原理 ,并给出了计算机数据处理程序。     

高精度80m大长度激光比长装置的研制

介绍了中国计量科学研究院研制的80m大长度激光比长装置,该装置由81m导轨、无阿贝误差测长系统、折射率实时修正系统等多个部分构成,填补了我国大长度标准的空白。装置测量不确定度为U=0.07μm+0.07×10~(-6)L(k=2),关键指标处于国际先进水平。     

基于步距规的三坐标测量机的直线度误差分析方法

提出一种基于精密步距规进行坐标测量机直线度误差的分析方法,通过将步距规放置在测量空间的不同位置,根据三坐标测量机空间误差和几何误差的关系建立数学模型,从而得到其直线度误差,并通过仿真验证了其可行性.该方法可以应用在三坐标测量机的校准和安装调试,也适用机床导轨的直线度误差分析.     

蔡司型测长机消一阶误差的原理

引言本文深入地分析了蔡司型和国产JD9A类型测长机消除导轨误差引起仪器一阶误差的原理,这对正确、全面地了解测长机仪器原理和对阿贝原则应用的延伸有很大帮助。一、广义阿贝原则 1893年艾兰斯特·阿贝教授对量仪提出了下述指导性原则:“如果要使量仪得出正确的测量结果,那末,必须将仪器读数刻度尺(即测量基准)安放在被测量件的测量中心线的延长线上。”