离子束辅助沉积改善铝薄膜的取向生长

高性能的铝薄膜因具有低的声阻抗而广泛应用于声表面波器件的制备.本文运用Ar离子束辅助沉积技术,在64°Y-X切向的铌酸锂基片上成功的制备出(111)高度取向的铝薄膜,并研究了Ar离子魄注入角度对薄膜的织构形成的影响.结果表明,薄膜织构度对辅助离子束入射角度非常敏感,在辅助离子束入射角为35°时,薄膜(111)织构最强,电阻率最小,附着力最好,适合于声表面波器件中的应用.     

V2O5薄膜电荷储存特性研究

本文采用真空蒸发制备了Ｖ２Ｏ５薄膜，用电化学方法从Ｌｉ离子电解质中向Ｖ２Ｏ５薄膜注入Ｌｉ离子。研究了Ｖ２Ｏ５薄膜中Ｌｉ离子储存特性、注入／退出可逆性以及电荷注入对其光学性能的影响。实验结果表明，Ｖ２Ｏ５薄膜具有较好的Ｌｉ离子储存特性和注入／退出可逆性，Ｌｉ离子的注入量受到膜中Ｖ＾５＋的含量及锂离子可占据的总位置数限制，而且离子注入Ｖ２Ｏ５薄膜的光学性能变化较小。     

等离子体浸没离子注入的二维元胞粒子法计算机模拟与剂量分布研究

采用二维元胞粒子模型（PIC），模拟了一个完整脉冲时段内，等离子体浸没离子注入平板靶的过程。重点研究了等离子体鞘层的时空演化规律，以及入射离子流密度、入射离子角度与能量的分布，由此得到了注入离子剂量在靶表面的分布。模型结果表明：等离子体鞘层的扩展先快后慢，且形状由椭圆柱形向圆柱形演化，对靶的保形性逐渐变差；注入离子剂量在靶表面的分布不均匀，在边角附近出现峰值；同时，在得到的入射离子信息基础上，对注入离子在改性层中的浓度深度分布研究表明，在靶的不同位置注入的离子在改性层中的浓度深度分布有显著差别，在靶边角处，注入离子的保留剂量很低，投影射程浅，浓度深度分布展宽较窄。     

离子注入硼、氮后纯铁表层的组织结构与性能

本文对纯铁进行了硼、氮离子注入试验，利用透射电镜和ｘ射线衍射仪分析了纯铁注入层的组织结构，而且对纯铁注入层的硬度和耐蚀性进行了测试。结果表明：纯铁注入硼离子后表层形成了弥散的ＦｅＢ相，晶界处形成了较粗大的Ｆｅ２Ｂ相；注入硼离子后再注入氮离子进一步形成了Ｆｅ２Ｎ和Ｆｅ３Ｎ相。硼、氮离子注入明显提高表层的硬度，显著地提高纯铁表层的耐蚀性。     

氮硼注入GCr15钢的俄歇分析

用俄歇电子能谱（ＡＥＳ）分析技术对不同剂量Ｎ＋离子注入ＧＣｒ１５钢；Ｂ＋离子单注入；注Ｂ＋离子后再注入Ｎ＋离子、注Ｎ＋离子后再在Ｂ＋离子；以及镀Ｂ后再将Ｎ＋离子注入ＧＣｒ１５钢的注入结果进行了俄歇深度剖面（ＡＥＳ－ＰＲＯ）分析，谱图直观的给出了不同方式注入引起ＧＣｒ１５钢表层组份的变化差异，通过比较解释了耐磨性实验结果。     

Ag/N离子复合注入刀具不锈钢(AISI420)的表面性能研究

采用MEVVA源和高能气体离子源对刀具不锈钢(AISI420)分别进行N离子、Ag离子和Ag/N离子复合注入,并对注入后的试样进行了硬度、耐磨及抗菌性能的研究。结果表明,N离子的注入能提高不锈钢的硬度和耐磨性能,Ag离子的注入使不锈钢具有优异的抗菌性能,Ag/N离子复合注入使刀具不锈钢的硬度提高了57%,摩擦系数减小了25%,而且具有良好的抗菌性能,对大肠杆菌的杀菌率为95%。     

激光致声技术的研究

从热弹与烧蚀机制两个方面，讨论了激光超声表面波的产生。通过对点光源激励声表面波的机理进行分析，出线光源激励的表达式。进行了表面波同线光源能量、方向角、位置、长度关系的实验研究。实验结果验证了激光超声表面波理论模型的合理性，证实了线光源产生的表面波具有信号强、方向性好等优点。     

Ta和Ag离子双注入Ti6Al4V合金抗Hank's溶液腐蚀性能研究

采用Ta和Ag离子双注入对医用Ti6Al4V合金进行表面改性,以Ta离子1.5×1017 ions/cm2先注入,Ag离子1×1017 ions/cm2后注入合金样品表面.采用动电位极化曲线研究Ta+Ag离子双注入前后Ti6Al4V合金抗Hank’s溶液腐蚀性能,利用小角掠射X射线衍射技术研究离子双注入前后Ti6Al4V合金表面物相组成,以X射线光电子能谱技术分析离子双注入样品表面、离子注入合金腐蚀样品表面元素存在的化合态.结果表明,Ta+Ag离子双注入改善了Ti6Al4V合金抗Hank’s溶液腐蚀性能,离子双注入合金的腐蚀电流密度与对照样相比降低了94.6％.离子双注入Ti6Al4V合金表面生成的耐蚀合金层、少量单质Ta和Ag、合金表面的氧化物腐蚀阻挡层有利于合金抗Hank’s溶液腐蚀性能的改善.     

金刚石声表面波器件的研究与进展

高频无线通讯系统的迅速发展推动了对高频声表面波(SAW)器件需求的不断增大。金刚石具有最高的声速和许多优于其他材料的特性，因此金刚石声表面波器件受到了越来越多的关注。本文介绍了金刚石声表面波器件的构成、制备方法，讨论了金刚石声表面波器件近年来国际上的研究进展，包括理论研究与实验进展的概况，并讨论了金刚石声表面波器件的未来发展趋势。     

用于圆筒状零件内表面等离子体浸没离子注入的偏转电场法

等离子体浸没离子注入（ＰＩＩＩ）为解决束线离了注入所难以解决的圆筒状零件内表面注入处理问题提供了新要可能途径，但在应用中却受到注入能量和注入剂量偏代的限制，本文针对这一问题了偏转电场法用以提高内表面注入的能量和注入剂量，实验结果表明，采用这一方法可以有效地改善圆筒状零件内表面注入的注入情况，注论述工提高了２５％～１００％，注入剂量提高了７３％～１１３％，注入脉冲宽度的延有利于注入离子向部深入，利于