石英晶片镀膜频率监控技术研究

石英晶片镀膜是石英晶体谐振器生产中的重要工序之一,通过控制镀膜厚度使石英晶片谐振频率达到目标值.传统的镀膜采用时间控制方法,膜层厚度取决于镀源材料蒸发速率和镀膜时间,用该方法石英晶片谐振频率的控制精度较低.为提高石英晶片的镀膜精度,提出了基于晶体微量天平原理的晶片镀膜过程频率监控方案.重点探讨了镀膜过程中石英晶片和标晶谐振频率变化与镀膜厚度之问的关系,并通过实验给出石英晶片和标晶表面膜层沉积质量的比率关系.设计了监控晶片谐振频率的振荡器电路.实验证明,将研究的石英晶片镀膜监控技术应用于生产实际,可以显著提高镀膜后的石英晶片谐振频率的控制精度,具有较高的实际应用价值.     

SK-3型石英晶体振荡膜厚监控仪

石英晶体振荡膜厚监控仪是真空镀膜时对薄膜厚度增长进行动态监控的仪器。它可配备在真空电阻蒸发源以及电子束蒸发源的镀膜机上,用来监控金属膜、半导体膜和介质膜的厚度变化。该仪器采用荧光数码管显示频率变化结果,字迹清晰,读数方便。石英晶体具有压电效应,它的固有振荡频率取决于晶体切割类型和晶体的质量(包括晶     

石英晶体振荡器性能参数自动测试系统研究

石英晶体振荡器具有很高的频率稳定特性和良好的温度特性,因此,被广泛应用于通信、广播、导航、电子对抗及精密测量仪器中,素有无线电通信设备的心脏之称。所以,对石英晶体振荡器性能参数的测试显得特别重要。文章提出了一种石英晶体振荡器智能测量方法。该方法利用计算机控制技术,实现自动测试石英晶体振荡器的性能参数,并打印测试结果,减少了强度,提高了检测效率。     

石英晶体谐振频率与其微量附着质量的关系

一、引言利用石英晶体的压电效应可以制成晶体振荡器。石英晶片(以下简称晶片)的谐振频率受晶片上附着(或去掉)质量的影响最灵敏的振动模式是高频厚度切变振动模式。厚度切变振动晶片的谐振频率由其频率方程决定。用压电石英谐振子定量测量     

一种新的晶体振荡器的补偿技术

晶体振荡器广泛应用于现代通信、导航、测量等领域的设备中。但是,许多设备工作在温度范围变化较大的环境中,由于石英晶体谐振器自身特殊的物理特性,温度的变化和自身的老化会导致晶体振荡器的频率发生偏移。在这种情况下,晶体振荡器就不能为设备提供稳定的时钟频率,导致设备工作异常。本文主要针对环境温度和老化对晶体振荡器输出频率的影响这个问题,通过对晶体振荡器的频率一温度与频率一老化特性的研究,利用微机输出补偿电压拉动压控电压改变晶体振荡器的频率特性,论证了一种新的晶体振荡器的补偿技术,并介绍了系统框图及原理,给出了补偿结果。     

石英频率标准日老化率测量结果的不确定度评定

一、概述 1.测量依据 JJG181-2005《石英晶体频率标准检定规程》、JJG180-2002《电子测量仪器内石英晶体振荡器检定规程》。 2.测量环境条件 可处于15℃-30℃范围内任一点,温度最大允许变化范围为±2℃,相对湿度不大于80%。 3.测量标准铷原子频率标准、PO7D频标比对器,输出范围及功能满足被测仪器的要求。 4.测量对象石英频率标准PO16M。     

石英晶体振荡器加速度效应及敏感度的测试

石英晶体振荡器因其具有频率稳定度高的特点,作为标准频率源或脉冲信号源提供频率基准是目前其它类型的振荡器所不能替代的.而加速度对晶振输出频率影响的补偿问题目前还没有得到很好解决,加速度已成为当前影响晶体振荡器准确度的重要因素.本文简要介绍了加速度对晶体频率的影响,国内外加速度敏感度的测试方法及其改进方法,并以实验验证,取得了较好的效果.     

工作在放电环境中的石英晶体膜厚监控仪

石英晶体胰厚监控仪已广泛应用于蒸发镀膜,离子刻蚀厚度的精细控制和真空系统污染监测等方面.但一般的石英晶体膜厚监控仪使用的蒸发型探头却不能在溅射系统放电区中正常工作.实践表明,在溅射系统中,由阴极靶发射的二次电子碰撞测量晶体而引起的热应力是导致石英晶体膜厚监控仪测量失效的主要原因.为此,对测量探头做了改造,设计了一种带偏转磁场的溅射型测量探头,使石英晶体膜厚监控仪能在平面直流磁控溅射镀膜系统中稳定地作原位置膜厚监控.为了对测量计算公式进行修正,用实验确定了修正因子.     

石英晶体振荡器的仿真分析

通过对石英晶体振荡器的仿真分析,观察振荡器的起振和稳幅波形,测试石英晶体振荡器的振荡频率,证实理论的正确性。     

真空蒸发镀膜设备性能的改进

为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适就应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜审的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次.并尽可能留有增加可选配功能部件的装配位置,如光学膜厚测量控制装置和石英晶体膜厚测量控制仪,低能宽束离子源,氩离子射频轰击装置等改进膜层质量,扩大功能适应各种使用要求.     

对JJG180-2002的一点建议

JJG349—2001《通用计数器》检定规程第5．2．3．1条规定：有晶振频率输出的计数器．按JJG180—1978《电子测量仪器内石英晶体振荡器》检定规程和JJG181—1989（高稳定石英晶体振荡器》检定规程检定内部晶振。而JJG180—2002（电子测量仪器内石英晶体振荡器》检定规程中关于“日频率波动”这项指标的检定方法为：     

晶体振荡器测量值的不确定度评定

本文根据JJG180-2002《电子测量仪器内石英晶体振荡器》及JJF1059-1999《测量不确定度评定与表示》,介绍了用铷原子频率标准配套频标比对器及通用计数器来检测晶体振荡器频率准确度时,测量不确定度的分析。     

路易斯·埃森——对时间计量有杰出贡献的英国科学家

路易斯·埃森（Louis Essen）1908年生于英国诺丁汉市（Nottingham）。1928年，他以优异成绩毕业于诺丁汉大学。并应邀受聘于英国物理研究所（NPL），当时与戴（D．W．Dye）共同研究“音叉钟”并探索利用石英晶体测量时间的可能性。1933年，戴逝世后他就专注于石英晶体的效用研究，开发了石英晶体振荡器，使其在测量时间方面比当时最好的摆钟更准确。[第一段]     

石英晶体振荡器日频率波动的测量及不确定度分析

本文介绍了电子测量仪器内石英晶体振荡器的日频率波动的测量方法并分析了测量值的不确定度。     

钼酸铅晶体表面红外增透膜的研究

本讨论了用于钼酸铅晶体表面的宽带红外增透膜的设计以及其在真空环境中的制备，膜系设计中，运用反射率图解法以获得满意的光学性能，与传统的热蒸发镀膜工艺相比，在真空沉积过程中采用了离子辅助沉积技术，从而大大提高了膜层的光学特性及膜层品系，试验表明所镀膜层性能优异，在光纤通信领域具有广阔的应用前景。     

石英晶体监控法镀制高精度光学薄膜

讨论了石英晶体监控法在光学薄膜镀制过程中的应用原理。通过与常规的光学监控法镀制的膜层相比较．证实了石英晶体监控法有助于提高光学薄膜的光学品质。试验表明所镀膜层的光学性能优异，在光通信和激光器等领域具有广阔的应用前景。     

基波特高频石英晶体振荡器的研究

基波特高频石英晶体振荡器已进入500～1000MHz范围,突破了传统的频率上限。本文介绍这种振荡器的理论、设计和实验结果。     

过滤式真空电弧离子镀膜技术及应用

介绍了一种新的镀膜技术—过滤式真空电弧离子镀膜技术。针对典型的过滤式真空电弧镀膜装置，描述了其结构组成，分析了它的工作原理。分析结果表明，该技术与传统真空电弧离子镀膜技术相比，可有效地消除宏观颗粒对镀层的污染，可广泛应用于制作各种微电子膜透明导电薄膜（ＩＴＯ）以及类金刚石（ＤＬＣ）薄膜。     

嵌入式石英晶体网络分析仪的设计和实现

石英晶体元件参数测旦的原理以及一种测量频率可达200MHz的嵌入式石英晶体网络分析仪的原理和设计，并利用GPS(全球定位系统)高精度的授时信号作为频率校准信号，     

负载电容对石英晶体谐振器使用影响度研究

石英晶体谐振器的应用十分广泛,它几乎覆盖了各个领域,同时也是各类整机中的关键元器件;但在其应用过程中,其主要参数标称频率、负载阻抗等也对应用电路产生了密切影响。本文就实际应用中两种石英晶体谐振器的负载电容影响程度进行测试及分析,并对由于负载电容变化引起的石英晶体谐振器标称频率、等效负载电阻等特性带来的影响进行了研究;最后对石英晶体谐振器实际应用提出建议。