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微波等离子体化学气相沉积技术制备金刚石薄膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)制备金刚石薄膜的研究情况,重点论述了该法的制备工艺对金刚石薄膜质量的影响及其制备金刚石薄膜的应用前景。 相似文献
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研制了特定比例的纳米金刚石浆料,采用了丝网印刷工艺在石墨衬底上大面积印制了纳米金刚石场发射薄膜,实验探索了石墨衬底纳米金刚石薄膜的烧结工艺和后处理过程,利用扫描电镜(SEM)观察了纳米金刚石膜的表面形貌,经后处理的薄膜中纳米金刚石露出薄膜表面,纳米金刚石的棱角是天然的发射体.采用本课题组研制的多功能场发射测试台在10-6Pa的真空条件下进行了场发射特性的测试,结果发现石墨上低成本大面积印刷的纳米金刚石薄膜具有均匀稳定的场发射特性,作为电子器件的理想冷阴极发射,可在宇宙飞船、原子反应堆等恶劣条件下工作的平面显示器中得到应用. 相似文献
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氟化类金刚石(FDLC)薄膜是在传统类金刚石膜基础上发展起来的一种新型表面改性材料.本文简述了FDLC薄膜的结构、性能,重点介绍了其制备工艺,讨论了源气体的种类和退火工艺对薄膜的影响. 相似文献
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金刚石薄膜的性质、制备及应用 总被引:35,自引:9,他引:26
金刚石有着优异的物理化学性质,化学气相沉积金刚石薄膜的研究受到研究人员和工业界的广泛关注。通过评述金刚石薄膜的性质、制备方法及应用等方面的研究成果,着重阐述化学气相沉积金刚石薄膜技术的基本原理,分析了各种沉积技术的优、缺点。结合对金刚石薄膜应用的讨论,分析了金刚石薄膜在工业应用中存在的问题和制备技术的发展方向。分析结果表明:MWCVD法是高速率、高质量、大面积沉积金刚石薄膜的首选方法;而提高金刚石的生长速度、降低生产成本等是进一步开发刚石薄膜工业化应用所需解决的主要问题。 相似文献
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金刚石薄膜电阻率的高低是薄膜绝缘性能优劣的直观反映,也是影响辐射剂量计器件性能的重要因素.针对目前形核工艺与电阻率的关系还不十分清楚的问题.本文研究了微波等离子体形核阶段工艺参数如基片位置、微波功率、甲烷浓度的变化对金刚石薄膜的表面形貌和电阻率的影响.结果表明微波等离子体形核工艺参数对金刚石薄膜的电阻率和表面形貌有显著影响.获得的最佳成核工艺条件:基体温度960℃、甲烷浓度0.72%、压力5.3 kPa、微波功率1300 W.在此工艺条件下制得的金刚石薄膜的电阻率值达到1011 Ω·cm数量级. 相似文献
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金刚石及相关薄膜制备研究进展 总被引:2,自引:1,他引:1
金刚石及相关薄膜材料指的是金刚石薄膜和立方氮化硼薄膜,它们的制备技术被称为“新金刚石技术”。评述了这类材料制备技术研究进展,指出成核及生长机理的研究将是它们走向实用化的关键。 相似文献
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The unique electronic properties of diamond, associated with the emergence of chemical vapour deposition (CVD) methods for the growth of thin films on non-diamond substrates, have led to considerable interest in electronic devices fabricated from this material. In our previous work, we found that polycrystalline diamond films can be deposited at 250 °C using CH4---CO2 gas mixtures. Studying the electrical properties and the upcoming problems of applications of low-temperature diamond films are relevant concerns.
In this work, the electrical properties of diamond films grown at low temperatures were studied and compared with those of conventional diamond films. Platinum was used as the upper electrode. The resistivity of low-temperature diamond was around three orders of magnititude lower than that of conventional diamond. However, both the low temperature and conventional growth diamond exihibited rectifying behavior when platinum was used as the upper electrode. 相似文献
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用O2/C2H2燃烧火焰法在各种不同性质的衬底材料上直接合成金刚石薄膜,研究了硬质合金刀头的不同的冷却方式下,对合成金刚石膜的影响。结果表明:YG6硬质合金由于Co的存在影响了金刚石膜的质量;当冷却方法不当时,硬质合金头刃部易过热;采和分段沉积法可改善金刚石膜与硬质合金的附着性。 相似文献
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