PCB曝光机照明系统的均匀性仿真与研究

近年来,电子信息类产品在不断地追求着高性能化,印刷电路板也随之高密度、微线化。紫外线曝光机是印制板制造工艺中的重要设备,而光学曝光作为PCB制作工艺过程中的一个重要环节对光照度的均匀性要求比较严格,现应用非成像光学的设计方法,实现了一种新型的曝光机均匀照明系统,并使用基于蒙特卡罗法的光线追迹软件对该光学系统进行了模拟仿真。实验表明,采用该研究设计的照明系统能够改善PCB曝光机紫外照明光源的配光性能,光强分布均匀稳定、能够满足光学曝光过程对光源的指标要求,具有可操作性。     

投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计

离轴照明（OAI：Off-axis Illumination）作为一种重要的分辨率增强技术（RET：Resolution Enhancement Technology）被广泛的应用于投影光刻系统。使用衍射光学元件（DOE：Diffractive Optical Element）作为光刻照明系统的光束整形器件,能够在保持较高照明效率的基础上精确控制离轴照明光束的形状及光强分布。本文利用基于傅立叶变换的分步迭代方法进行了该类DOE的优化设计。DOE采用了多台阶位相结构,设计所得8台阶DOE设计结果分别实现了偶极、四极、环形及Bulls-Eye等照明方式,其照明效率都达到了80%以上,与目标光强分布的均方根偏差均小于7％。     

新型发光二极管城市道路照明光源可节能60％

以清华大学为主研发的新型LED（发光二极管）城市道路照明光源近日研制成功。该光源突破了技术瓶颈,使LED路灯的实际照度分布近似为矩形,照度分布均匀,比目前道路使用的高压钠灯综合节能达60％以上。     

应用于工业扫描枪的照明系统设计

针对工业扫描枪扫描时对被扫描面的照明要求,对扫描枪照明模块进行设计。与传统的商用小型扫描枪比,设计的工业扫描枪可实现更大面积均匀矩形的照明光斑,灵敏度与照明面的锐利度都有所提升。采用两种设计方案:一种方案通过拟合一个自由曲面,使光源经过自由曲面后得到所需光斑;另一种基于传统非成像原理设计的照明光路,使用复眼匀光得到所需光斑;根据市场需求,两种设计方案均可在被扫描面距离扫描枪350 mm处呈350 mm×230 mm的均匀矩形照明面,且照明轴上点的强度大于0.2 W/cm2,全部照明面均匀度大于75%。     

车削工件表面粗糙度在机视觉测量的照明技术

照明技术对车削工件表面粗糙度在机视觉测量具有重要意义,不同的照明方法会得到不同的测量结果。为寻求最合适的照明方法,分别用不同颜色和不同角度的光源为工件提供照明进行实验,并对获取的图像进行二值化处理。最后,通过对处理结果进行对比分析,得出较为合适的照明方法,为车削工件表面粗糙度在机视觉测量提供照明方案。     

新型发光二极管综合节能60％

以清华大学为主研发的新型LED（发光二极管的英文缩写）城市道路照明光源突破了技术瓶颈，使得LED路灯的实际照度分布近似为矩形，照度分布均匀，比目前道路使用的高压钠灯综合节能达60％以上。     

模块化等亮度LED路灯设计

针对当前LED路灯照明采用照度均匀的设计方法无法满足道路照明实际需求的情况,通过推导自由母线的偏微分方程,在研究路灯配光特性的基础上,应用SolidWorks软件建立LED路灯的光学模型,将光学模型导入TracePro软件进行仿真,应用DIALux软件模拟实际道路场景和路面的光照情况,完成一款符合国家标准的LED道路照明灯具配光设计。设计灯具的路面亮度总均匀度和路面纵向均匀度分别为0.82和0.77,都高于国家照明标准,既满足亮度均匀性的要求,也满足照度均匀性的要求。并研发了一款全新的模块化灯具结构,实用方便,市场前景广阔。     

结构光照明显微镜照明系统的设计与仿真

结构光照明显微镜是一种结合结构照明技术与宽场成像原理实现表面形貌测量的新工具。为方便调节物面光强和照明视场大小,并保证结构光条纹的均匀性,基于科勒照明原理提出利用成品透镜与无限远物镜,并结合数字微镜阵列(DMD)设计结构光照明显微镜照明系统的方法。通过Zemax软件建立设计模型进行仿真分析,验证了该方法设计的结构光照明系统投射到物面光照的均匀性。     

均匀照明系统的设计与应用

本文对提高光学系统照明均匀性问题进行了详细的研究,提出了多种改善照明均匀性的光学系统设计方案,列举了有关应用方面的问题。     

扫描式匀场照明技术研究

均匀照明技术,在很多领域都有着广泛应用,其方法也有多种多样.本文提出了一种采用两维扫描实现均匀照明的新方法.该方法在激光显示中不但可以提供均匀照明,而且还具有消除激光干涉的作用.研究了激光束行间交叠关系,给出了光束交叠深度与光束截面光强分布分析方法,设计出一种全视场的均匀照明面光源.     

一种用于交通信号控制机的照明装置

通过分析现有机柜照明系统的优缺点,设计了一种用于道路交通信号机柜的新型照明装置;此照明装置结构尺寸小巧,极大地节约了机柜内部空间;使用时可移动或调整照明角度,不留照明死角,满足夜间检测设备的需要.     

步进投影数字光刻技术研究

随着微纳加工技术的不断发展,其对光刻技术提出了新的要求,步进投影数字光刻技术作为光刻技术的重要分支,在光刻发展的过程中,扮演着不可替代的角色。主要介绍步进投影数字光刻技术的原理及组成,详细阐述关键技术单元,如数字掩模投影成像技术、照明均匀化处理技术、CCD同轴调焦及对准技术等,并利用该技术进行了分辨率测试和灰度图形曝光实验。实验结果表明该技术在微细加工领域达到国内先进水平。     

GE中国研发中心开发出LED隧道照明新品

通用电气（GE）中国研发中心照明工程团队近日研发了LED隧道照明系统,其先进的模组化设计相比于传统的照明系统节能高达45%,同时设计寿命高达10年,是传统荧光灯系统使用寿命的四倍,也是传统高强气体放电灯系统使用寿命的2~3倍。中国是目前世界上隧道发展最快的国家之一,而隧道照明是隧道建设中不可或缺的一部分。     

超高亮度LED微型投影仪照明系统设计

为了提高微型投影仪系统的性能,设计了一种超高亮度LED光源口袋式微型投影仪照明系统.其光源采用具有大面积发光面的RGB三色LED芯片.照明系统中最为关键的集光系统包含一个CPC和两个聚光透镜.在LightTools软件中追迹2×10(6)条光线进行仿真,DMD面上光照均匀性为92%,光通量为450lm.该照明系统比传统...     

LED在室内照明系统中的应用及发展前景

LED作为一种新型的固态光源,正在逐渐被应用在夜间照明系统中,成为第四代照明光源,使用LED照明是未来照明的主要方向。文中从LED在室内照明系统中应用的可行性入手,在分析了LED光源诸多优点的基础上,阐述了其应用现状和发展前景。     

亚微米投影光刻物镜MTF的简便测定方法

线性光学系统的光学传递函数可由线扩散函数的傅里叶变换求出。研究了用电荷耦合器件测量亚微米投影光刻物镜的 MTF值的系统 ,用 CCD作为光电转换器件 ,对 CCD接收到的 LSF的光强信号进行视频放大、采样 ,用数字存储示波器可方便地测得系统的 MTF值。作为测量实例 ,最后给出了测量得到的 g线、i线光刻物镜的 MTF曲线     

马路“光毯”

使大功率高亮度发光二极管（LED）达到道路照明要求，这一国际上久攻不破的难题，终于被一群“海归”研发团队攻克——由多名留美归国博士创建的中微光电子（潍坊）有限公司研制成功首款100瓦大功率半导体发光二极管路灯照明系统，现已应用于潍坊高新技术创业园，将整个园区的夜间道路铺成一条条光线均匀分布的奇妙“光毯”，其照明范围和亮度完全达到国家道路照明标准，寿命是传统路灯的10-20倍，耗电量却不到传统路灯的20％％。     

高速公路隧道LED照明智能控制示范应用

为了实现按需照明,节约电能,并延长LED灯寿命,设计了一种高速公路隧道LED照明智能控制系统,由传感器、计算机、照明灯具及传输通道等组成,可依据洞外亮度、车流量和车速等信息对LED照明灯的亮度进行调节。系统有自动、时序、手动3种工作模式,以适应不同的要求,在西商高速公路黄沙岭隧道和岭底隧道完成了示范应用。试验结果表明,和高压钠灯相比,采用LED照明灯及其智能节能控制,照度均匀性好,照明电费节约45%以上。     

基于微透镜阵列生成特定矩形光斑的TIR组合透镜设计与仿真

LED功率的不断增大使其逐渐替代传统光源,并广泛用于各种照明光源。在某些室内照明以及道路照明设计中,通常需要借助LED透镜产生矩形光斑从而充分利用光能避免浪费。利用Light Tools软件设计了一种全内反射(total internal reflection,TIR)透镜与特定微型透镜阵列的组合透镜,设置TIR准直透镜透射曲面和全反射曲面为二次曲面,并对其进行准直优化。然后建立单个微型透镜,设置单个矩形微透镜长宽比分别为1∶1、3∶2和4∶3,并将其阵列化。通过改变微型透镜的尺寸以及球面曲率半径进行进一步优化,最后生成与微型透镜长宽比对应的均匀矩形光斑,从而满足不同矩形照明区域的照明需求。     

URE-2000/35新型紫外光刻机研制成功

近日,中科院光电所成功研发出URE-2000/35自动型光刻机。该产品集新颖性、可靠性、实用性为一体。采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙,采用19英寸大屏