精密球超精密加工技术的研究进展

掌握精密球超精密加工过程中的球面研磨轨迹分布特性以及各工艺参数对加工结果的影响,对提高精密球加工精度与效率十分重要。对精密球超精密加工技术的发展及研磨均匀性的评价进行回顾,并根据精密球超精密加工技术的发展脉络,阐述当前主要精密球超精密加工技术的加工原理及加工实例。从材料去除率、加工精度、批一致性等方面对几种精密球超精密加工技术进行比较,并以提高加工精度及加工效率为目标,对精密球超精密加工技术的发展趋势进行预测。     

超精密箔带碾压机的研究与设计

在贵金属材料的加工制造中,利用超精密的碾压设备制造微型超精密的贵金属带材,是超精密微薄带材的关键加工方法。文中介绍了一种超精密箔带碾压机,重点介绍了其功能、结构及设计原理。     

加速发展我国的精密和超精密加工技术

精密和超精密加工技术是机械制造最主要的发展方向之一。本文介绍了精密和超精密加工技术的最新发展情况,如金刚石超精密切削、精密磨削和研磨、精密和超精密机床、精密加工中的检测和误差补偿、精加工的环境条件等。最后提出对我国发展精密和超精密加工技术的一些意见。     

国家超精密机床工程技术研究中心通过验收评审

国家超精密机床工程技术研究中心于2008年底通过了由科技部组织的验收评审。该中心依托于北京机床研究所,以满足超精密加工制造为主要目标,系统地研究超精密加工机理、超精密机床设计、超精密机床及功能部件制造、超精密检测、超精密加工工艺、超精密制造环境以及超精密制造成套工程技术。通过工程化、产业化开发,促进超精密机床技术的研究和应用推广,     

《精密加工技术实用手册》王先逵 主编／2001

精密加工和超精密加工技术是先进制造技术的基础和关键，是一个国家制造工业水平的重要标志之一。本书分4篇共14章，内容包括总论、精密加工常用材料、超精密车削、精密和超精密磨削、光整加工、超精密加工机床、精密特种加工及微细加工、微型机械与微型机电系统、精密测量及微尺寸测量技术、微位移技术、误差的在线检测与补偿技术、精密和超精密加工的支持环境及精密基础件加工等。     

超精密非球面镜面模具直轴磨削的研究

研究了非球面镜面模具直轴超精密磨削技术,给出了非球面镜面模具超精密加工机理、算法原理、软硬件结构、系统实现、工艺分析及实例应用,开发了小型超精密非球面镜面加工系统SGTCAM1.0.研究结果表明,系统原理正确,加工出的非球面光学零部件形状误差在100 nm以下,表面粗糙度在5 nm以下,达到纳米级加工精度.开发的系统使用方便,成本低.     

超精密加工技术的发展及对策

介绍超精密加工及其应用背景,发展动向,以及超精密加工关键技术的一些最新成果,从超精密加工技术推广应用的角度阐述其模块化,廉价化发展趋势,同时就如何发展诸如模块化部件,执行系统,测量控制和环境控制等超精密加工关键技术提出一些新的观点和方法。     

超精密加工及其进给驱动技术

论述了超精密加工的重要意义、主要方法、一些关键技术及在机械制造技术中的作用和地位;介绍了一种直线电机直接驱动的新型超精密进给机构的工作原理和基本结构,较好地解决了超精密加工的精确移动和定位问题。     

超精密加工机床的关键部件技术

论述了亚微米级超精密加工机床的主轴、直线导轨、,进给与微量进给,隔振与恒温等关键元部件的设计原理、实施方案,及其在ＨＣＭ－１超精密加工机床中的应用。     

超精密微小型复合加工机床精度稳定性研究现状

针对超精密微小型复合加工机床的精度时变性和非线性变动问题,综述了超精密机床结构设计、超精密加工精度稳定性、热因素对超精密加工精度影响、结构蠕变引起精度变动4个典型方面的研究状况,提出超精密微小型复合加工机床的精度稳定性主要受到力、热、环境变动所引起的结构亚微米级精度的时空变化,并且这些变化的影响机理、变动规律属于非线性特征,因此,超精密复合加工精度稳定性的实现必须解决这些问题。     

Development of a linear electrostrictive servo motor

This paper presents a linear electrostrictive servo motor with high resolution and large stroke for ultra-precision motion control. High thrust force is obtained by making use of an electromagnetic clamping mechanism with force magnifying structure in the motor design. An operator alterable iterative learning control algorithm is proposed for the motion control of the motor. A prototype is designed, fabricated and tested. Experimental results show that the prototype has a mechanical resolution of 0.02 μm, yaw error less than 2 μm and maximum thrust force of 30N. Applications of the motor include producing the servo feed motions required in micro electrical discharge machining (micro-EDM) system or as a motion control device for other precision machining systems.     

Diamond machining using a prototype ultra-precision lathe

This paper describes the generation of mirror surfaces and, to this end, a personal computer controlled prototype ultra-precision lathe has been built. In addition, the cutting theory (derived from dislocation theory) capable of explaining the ultra-precision cutting mechanism, has been studied.The machined surface roughness achieved with aluminium was R_max = 0.01 μm using the new lathe, and a flatness of 0.1 μm/ø50 mm was achieved. The shearing stress computed, based on dislocation theory, closely coincided with that obtained from macroscopic machining experiments. The personal computer controlled ultra-precision lathe capable of these results has successfully been constructed on an experimental basis.     

超精密加工误差补偿技术研究综述

超精密加工技术是高端制造领域的一项关键技术,当前超精密加工已进入纳米尺度,掌握超精密加工误差控制关键技术、保障并提高数控机床的加工精度,已经成为提高加工制造水平的研究热点。系统总结了超精密加工误差补偿技术研究现状及发展趋势,重点介绍了对超精密加工影响最大的几何误差、力诱导误差、热诱导误差及其补偿方法。在此基础上,深入探讨了超精密加工在几何误差分离,切削力、热诱导误差测量与补偿等方面存在的一系列问题,进一步指出超精密加工误差补偿技术还应关注其向高效、高精,通用化,模块化,智能化及柔性化的发展方向。     

Joint stiffness identification of an ultra-precision machine for machining large-surface micro-features

In this study, to more quantitatively evaluate the structural characteristics of an ultra-precision machine for machining large-surface micro-features, the joint stiffnesses of hydrostatic guideways and bearings were identified based on a virtual prototype and compliances of the ultra-precision machine. The virtual prototype of the ultraprecision machine was constructed to include the joint stiffnesses to be identified, and the joint stiffnesses were identified through an optimization problem in order to minimize the error between the compliances measured from the physical prototype and the compliances predicted from the virtual prototype. In particular, the validity of the identified joint stiffnesses was verified by the fact that the loop stiffnesses of the ultra-precision machine predicted from the virtual prototype and the identified joint stiffnesses coincided well with those measured from the physical prototype.     

大口径光学元件超精密加工技术与应用

大口径光学元件超精密加工技术是多种学科新技术成果的综合应用,促进了民用和国防等尖端技术领域的发展,在国家大光学工程的推动下,我国的超精密加工技术取得显著的成果。围绕大口径光学元件“高精度磨削＋确定性抛光”超精密加工体系,介绍该领域研究进展及厦门大学微纳米加工与检测联合实验室取得的相关研究成果,主要针对光学元件磨削和抛光两个加工流程,详细分析磨削装备技术、磨削工艺技术、精密检测技术、可控气囊抛光技术、加工环境监控技术和中频误差评价技术等关键技术的研究应用情况。这些技术研究从超精密加工的需求出发,借鉴国内外的研究经验和成果,通过对装备、工艺、检测等各方面整合,形成具有自主知识产权的大口径光学元件磨抛超精密加工体系,从而实现大口径光学元件高精度、低缺陷加工。     

一种自动循环淋水婴儿澡盆设计

通过分析目前在家庭中给初生婴儿使用婴儿澡盆洗澡过程中,婴儿裸露在温水面以上的部位容易受凉、澡盆中的水温也会不断降低等不足的基础上,设计出通过运用脚踏式机构、流体传动与控制系统、温度控制系统等一种自动循环淋水婴儿澡盆,从放好温水的婴儿澡盆中脚踏取水,实现自动淋水,在不增加澡盆水位的前提下,能够对婴儿露在水面外的身体取得较好的保温效果,再通过水温控制系统,能控制淋水水温在36~39℃之间,保证婴儿具有适宜的洗澡水温。自动循环淋水婴儿澡盆具有安全,经济,实用等诸多优点,有较好的市场应用前景。     

黑色金属的超低温金刚石超精密切削

黑色金属的超精密切削问题一直是超精加工领域中未能解决的难题。本文提出了在超低温状态下用天然金刚石单晶车刀超精密切削黑色金属的新工艺,为解决这个难题开辟了新的途径。实验结果表明,在超低温状态下,金刚石车刀切钢时的急剧磨损可以有效地被抑制,刀具寿命增加,从而使黑色金属的金刚石超精密切削成为可能。     

双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究

随着信息产业的迅速发展,对半导体器件、光学器件等的表面平整度提出了越来越高的要求。双面研磨/抛光技术是能使工件得到较高形状精度和表面精度的超精密加工主要方法。但是在双面研磨抛光加工中工件存在"塌边现象",这导致工件的表面平整度变差。本文对双面研磨抛光中工件"塌边"这一问题进行研究,分析造成工件表面"塌边"的各种因素,以及相应解决方法,对进一步提高双面研磨抛光加工质量具有重大意义。     

Reconfigurable robotic machining system controlled and programmed in a machine tool manner

Industrial robots represent a promising cost-effective and flexible alternative for some machining applications. This paper describes the concept of reconfigurable robot multi-axis machining systems for machining the complex parts of light materials with lower tolerances having freeform surfaces. For the basic configuration of a five-axis robotic machining system, the robot modeling approach is shown in detail as well as the prototype of developed control system with programming in G-code. The experimental robotic machining system has been verified by successful machining of several test work pieces.