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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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在过去的几十年中,经典花园成为旅游热点和经济发展的支撑点之一.本文在论述意大利花园旅游的一般特点和旅游对经济发展影响的基础上,对30、40年代皮埃蒙特大区(Piedmont)的著名景点-塔兰托植物园为例进行解读,该园占地16公顷,汇集了2万多种来自世界各地的植物,其演化特征也是意大利古典园林的一个缩影. 相似文献
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简要介绍某化工厂污水处理装置日常运行管理,通过技术改造及优化调整运行参数,在装置开停工或装置工况异常产生的高负荷冲击下,确保污水生化处理系统稳定运行. 相似文献
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根据里彦煤矿的开采情况,论述了建设选煤厂的必要性:该矿下组煤已成为主采煤层,因其硫分高、矸石含量大,原煤质量波动较大,经济效益较差;经过洗选后,可提高煤炭质量,拓宽煤炭产品销售渠道,可获得较好经济效益;如有完善的洗选设施作保证,矿井可以加大开采强度,提高煤炭回采率,延长矿井服务年限。 相似文献
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石油和天然气行业不断关注增材制造技术在航空航天和汽车行业的应用发展。研发了利用增材制造技术的超高膨胀封隔器,该封隔器的支承环系统由增材制造。增材制造设计大幅减少了支承系统的构件数量,同时显著提高了膨胀能力和额定压力。密封元件系统与增材制造支承环安装在一起,提供了极端膨胀比、零挤压间隙和对不规则孔的良好适应性。分析和测试结果表明:直径膨胀比高达111%,与常规封隔器相比,提高50%以上; 至少涵盖5种线重的套管(外径相同); 在148.89 ℃的温度下,密封元件能够保持压力68.95 MPa。介绍了增材制造技术、增材制造支承环概念、增材制造材料力学性能、密封元件系统优化和测试情况,以期给我国的完井作业提供借鉴。 相似文献
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