嵌入式激光器能量实时控制系统的开发

为了减少准分子激光器发射的脉冲与脉冲之间的能量的波动变化,给光刻工艺或微细加工的精度带来影响,需要对一系列激光脉冲的总能量进行控制,使单位点所受激光总的能量误差保持在一定容许范围内.基于DSP芯片开发了用于控制激光脉冲能量的实时嵌入式系统,深入研究了嵌入式系统的系统结构、软硬件设计和控制算法,在实际应用中取得了良好的效果.     

圆片键合工艺研究

将圆片键合的各种工艺分为3类：场助直接键合、表面活性键合、借助中介层键合.并对其适用环境和优缺点进行了分析,为圆片级键合的设计和应用提供思路.     

基于协调同步控制的MEMS微运动测量

为协调有效地利用频闪成像、显微视觉和相移干涉技术实现微机电系统(MEMS,micro-electro-me-chanical systems)微运动的可靠测量,提出了一种改进的协调同步控制方法,该方法通过2块5 MHz频率的任意波形发生卡实现激光二极管(LD,laser diode)脉冲信号和MEMS激励信号的同频率相对延时,最小延时增量可达0.3 ns,最小脉冲宽度可达10 ns。基于该方法构建的测试系统可实现MEMS的离面(out-of-plane)和面内(in-plane)微运动的自动测量。通过对硅微悬臂梁离面振动以及硅微谐振器阵列面内振动的实验测量验证了新协调同步控制方法的有效性和实用性,其中离面微运动测量重复性误差小于10 nm,面内微运动测量重复性误差小于25 nm。     

ADO技术及其在轧机在线监测与故障诊断系统中的应用

该文介绍了数据库访问新技术ADO及其特点,详细分析了在VisualC++6.0中使用ADO访问数据库的方法及其在轧机在线监测与故障诊断系统中的应用,并实现了访问数据库时口令的非硬代码方式技巧。     

SOM网络在透平机械状态监测中的应用

讨论了SOM网络的可视化技巧,结合该技巧研究了SOM网络在透平机械状态监测中的应用。仿真分析和实例研究表明,应用SOM网络能较好地识别出透平机械的不同状态,并及时监测到透平机械状态发生的变化。     

走向"制造-服务"一体化的和谐制造

指出了自然、人类和制造三者之间的关系,讨论了制造及其发展的内涵、制造的效益化和人性化,介绍了"工业设计"给予的启示,最后阐述了走向制造与服务一体化的和谐制造.     

反应离子刻蚀加工工艺技术的研究

反应离子刻蚀(RIE)选择性比较低,只能进行各向异性刻蚀,刻蚀特征尺寸小于3 μm,无危险化学试剂,但有危险气体和射频功率等安全风险.介绍了反应离子刻蚀技术的基本原理,探讨了聚酰亚胺、氮化硅、二氧化硅、铝和多晶硅薄膜材料刻蚀的工艺处方,研究了RIE草地现象形成机理,给出了避免草地现象的工艺措施.     

一种IEEE1451.4智能传感器数据采集系统的实现

本文介绍了IEEE1451系列智能变送器接口标准,并遵循IEEE1451.4标准,采用NI公司基于USB总线的数据采集卡USB6009和AD公司的温度传感器AD22100A,通过在PC机上配置传感器的虚拟电子数据表,并用USB接口连接数据采集卡与PC机,搭建了一个简易的数据采集系统。     

AgileSN：一种轻便易用的智能传感器应用层协议

自主式智能传感器是一种高度集成的传感器系统,需要运行特定的协议与外界交换数据,能够大幅度减少应用系统的建立和开发时间.参考IEEE 1451系列标准,提出了一种易于理解和实现的轻量级应用层协议AgileSN,具有自动发现、高性能、高可扩展性的特点.描述了AgileSN协议模型和工作过程,对比了与IEEE 1451的异同,介绍了一种具体实现的途径,并给出了一个应用实例.     

利用HTML及CGI等Web技术建立通用遥控器

由于现在的设备控制繁多，有时候会忘记遥控器放哪了，导致很多操作都不方便。而利用HTML及CGI等Web技术建立的通用遥控器，使现有的家电或者其他设备处于统一遥控的状态下。针对不同的设备，采用不同的软件界面，控制通过软件内部按钮来实现。本文详细描述了其原理及给出软件的界面，最后对其前景进行了预测。