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51.
SOI材料片缺陷研究 总被引:1,自引:0,他引:1
SOI材料天然具有抗瞬时辐射的能力,文章介绍了SOI(绝缘体上硅)两类不同材料片SIMOX(注氧隔离法)SOI和Bonded Smart-Cut(智能剥离法)SOI的生产工艺流程。针对SOI材料片的特殊结构——顶层硅/埋氧绝缘层/衬底结构——对各个层次的缺陷进行详细的介绍,并对其在半导体工艺中产生的影响做了深入的阐述。结合目前实际工艺生产线的情况,将SOI材料片的检测分为两大类:可直接测试的表面及内部缺陷;间接的材料性能特征检测。同时提供了大量SOI材料片可行的测试原理,为工艺线SOI材料片缺陷检验提供了有效的方法。 相似文献
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53.
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针对铸管外观轨道印严重,加热炉烟气量小,沥青预热炉温度低、不均匀,沥青漆喷涂后,铸管外部滴流较多等缺陷,对加热炉的管式预热器、送风系统,烘干炉的进风口及保温系统进行改造,研究沥青漆的各项指标对铸管外观质量的影响,使管子外观质量明显改善. 相似文献
55.
针对控制系统中上位机HMI软件单一历史数据库可靠性不高、最大历史数据量不能超过2G的限制,探讨了一种低成本的PostgreSQL历史数据库替代方案.以两台普通微机组成集群,并在其上实现了基于Slony-I的历史数据库双机实时热备系统.这一"高可用集群"[High-Availability(HA)Cluster]配置方案极大地提高了历史数据的安全性. 相似文献
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58.
介绍了基于SIMOX SOI晶圆的0.5μm PD SOI CMOS器件的抗总剂量辐射性能。通过CMOS晶体管的阈值电压漂移,泄漏电流和32位DSP电路静态电流随总剂量辐射从0增加到500 krad(Si)的变化来表现该工艺技术的抗电离总剂量辐射能力。对于H型(无场区边缘)NMOS晶体管,前栅阈值电压漂移小于0.1 V;对于H型PMOS晶体管,前栅阈值电压漂移小于0.15 V;未发现由辐射引起的显著漏电。32位DSP电路在500 krad(Si)范围内,静态电流小于1 m A。通过实验数据表明,在较高剂量辐射条件下,利用该工艺制造的ASIC电路拥有良好的抗总剂量辐射性能。 相似文献
59.
侧墙厚度及悬梁长度是SiGe HBT超自对准器件工艺中的重要结构参数,对器件的寄生效应和结面积有一定的影响,因而也影响器件的电流放大系数β和特征频率ft.在目前的文献中,尚未见到有关SiGe HBT超自对准结构模拟的报道.文章在研究各种超自对准技术的基础上,给出了SiGe HBT超自对准器件的优化结构.利用二维器件模拟软件MEDICI,对该结构中的侧墙及悬梁进行了模拟研究.结果表明,侧墙厚度对器件的频率特性影响较大,而对直流放大倍数β影响较小;悬梁长度在仿真的参数范围内对器件的直流放大特性和特征频率都影响不大. 相似文献
60.
介绍了大型化肥厂工艺管道的安装过程。对安装前的准备工作,现场的组织,材料的检查、保管和发放,管道的预制等进行了简明扼要的叙述。并对管道的现场安装、焊接、热处理及捡验、管道的压力试验和清沈进行了详细的论述。以达到提高安装质量和施工效率的目的。 相似文献