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0 引言欧洲剑桥公司在EBMF-10.5型机镜筒光路未加任何改变的情况下,推出了EBMF-300型机,仅对它的控制调试实现自动化,实用线宽即由原来的0.2μm缩小到0.1μm,精度提高一倍.美国德克萨斯公司,日本武藏野,对电子束曝光机的各路电源包括物镜、聚光镜、动静态消像散、电对中都实现自动化控制.在幅度特性随意设计的同时,确保了系统良好的线性相位特性.使原来的扫描线条宽度缩小了50%.采用自动控制调节,动态数字滤波是必不可少的.FIR滤波器使用稳定,不会出现极限环振荡、误差小,提高了计算机对整个系统的调节能力,在电子束曝光机中采用具有… 相似文献
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9Cr18和GCr15球-盘摩擦副摩擦学性能分析 总被引:6,自引:0,他引:6
利用球-盘摩擦试验机,在大气和真空环境中分别考察了9Cr18和GCr15钢在干摩擦和固体润滑条件下与钢球的摩擦损性能,试验结果表明:两种材料在真空环境中或MoS2基薄膜润滑条件下,摩擦系数都明显低于大气环境或无润滑条件,而且摩擦振动和噪音较低,磨痕表面较光滑,通常的摩擦副在真空环境中的摩擦系数,磨损量比大气中大。研究表明这是由于9Cr18盘表面干摩擦跃迁导致了加工硬化和MoS2基薄膜润滑作用,通过对动态动摩擦系数及其特征值的系统分析,对这两种材料的摩擦过程特性进行了研究。 相似文献
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露天矿边坡稳定性分析是露天开采领域研究的重要课题。分析了某露天矿第四系土质边坡稳定性的影响因素,并提出了边坡削方、加宽安全平台、减少爆破震动对边坡的影响等防治措施,为露天矿边坡或相似边坡的安全运行提供了指导和借鉴。 相似文献
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目的探讨背负不同型号背囊对人体行进中生理负荷和生物力学姿态的影响,分析背囊的结构设计是否适合人体生理特点和人体工效学要求。方法针对4种不同型号背囊,选择10名男性武警某部卫生员作为受试对象,在受试人员携行背囊行进过程中,对血氧饱和度、心率、呼吸频率、氧耗量、躯干倾角、躯体症状等进行测试。结果综合分析比较各项测试指标,Ⅰ号背囊结构设计没有考虑我国成年人人体尺寸特点,Ⅱ号背囊易造成腰背部受力集中,平衡能力受到影响,Ⅲ号背囊引起的肌体疲劳感较重,Ⅳ号背囊携行结构设计相对符合人体生理特点,适体性相对较好。结论人体背负背囊行进中生理负荷和生物力学姿态指标的变化与背囊携行结构设计密切相关,人体工效学评价可为背囊携行结构的优化设计提供科学依据。 相似文献
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城市生态设计包含着多样性、不确定性、场所性、拼合性、边缘性、自然性、参与性、延续性等后现代思想。其核心是促进系统之间的协调发展,尤其重视人类社会与自然之间的和谐统一。 相似文献