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102.
基于计量学的线边缘粗糙度定义 总被引:1,自引:0,他引:1
对目前线边缘粗糙度(Line edge roughness,LER)的研究进行了分类,区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙(边缘)粗糙度的物理本质.重新给出一个LER定义,定义LER是由加工工艺和材料本身结构引起的刻线侧墙的表面形貌微观不规则程度,并分析给出定义的合理性.给出该定义和ITRS定义间的换算关系.结合刻线的加工过程主要发生在刻线的边缘表面,且该加工过程发生于深纳米尺度,给出一种基于原子尺度的LER计量模型,在该模型中分离了材料本质粗糙度. 相似文献
103.
104.
恒力模式和恒高模式是原子力显微镜的两种主要操作模式.前一种模式通常用于成像在垂直方向变化大的表面,但仅对低空间频率表面有效.后一种模式仅对光滑表面在高分辨率高扫描速度下的成像有用.为克服这些缺点,提出了组合恒高和恒力的新操作模式.使用这个模式,表面形貌的低空间频率成分利用垂直压电扫描器及其控制信号跟踪并测量,高空间频率成分利用悬臂信号测量.然后,表面形貌图像利用组合低频和高频成分得到.仿真结果证明了这种新的操作模式具有高速和高分辨率的优点. 相似文献
105.
通过分析三轴测试台的动不平衡因素,得出测试台存在周期扰动力矩。该周期扰动力矩主要是由加速度力矩、哥氏耦合力矩、离心耦合力矩组成,与测试台三轴的转动惯量、位置角和转动速度有关,影响测试台的定位精度和速率精度。为抑制三轴测试台动不平衡引起的不确定性频率周期性扰动力矩,提出一种用于消除带有的周期性扰动的自适应有限维重复控制。采用自适应算法在线辨识扰动频率,并调整有限维重复控制器参数消除该扰动,用平均方法证明算法的收敛性和系统的稳定性。同时该算法可以通过调整自适应多周期有限维重复控制器的结构来消除不同频率的多个周期的扰动。仿真结果表明该方法能有效的抑制三轴测试台动不平衡引起的周期性扰动,提高测试台系统的定置精度和速率精度。 相似文献
106.
107.
本文在工艺参数的基础上,确定了加热机构和挤压机构的关键技术参数。为了提高生产效率,本文提出了双边四热合机构的系统设计思想,使自动热合机与前道工序的挤出机匹配而形成自动生产线?本文还介绍了该机的机械系统组成和工作流程,并对控制系统的软件和硬件作了说明。该自动热合机具有成本低、智能化高和条带热合后抗拉强度高等优点。 相似文献
108.
现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展,对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求。目前的一些测量方法分别存在各自的缺点与不足,在缺少更高准确度计量标准的情况下,往往采用比对的方法使计量结果趋于一致。国际计量局在1998年把纳米尺度线宽计量确定为纳米尺度基本特征国际关键比对项目之一。文章对它的主要研究内容以及进展情况作了介绍。 相似文献
109.
6~10kV配电变压器的继电保护方案各单位的模式大同小异。现以我厂6/0.4kV配电变压器继电保护中的过电流保护部分线路为例,供分析。 相似文献
110.
为了实现针叶苗木分级特征的提取 ,提出了基于模糊神经网络 (FNN)的地径自动搜索定位 (RC- ASL)方法 ,同时提出了针叶苗木图象行像素特征向量的构造方法 ,并应用相应的隶属函数实现了各特征量的模糊化过程 .经过网络的学习和训练 ,得到了用于实现 RC- ASL 方法的 FNN结构 .实验结果表明 ,该方法的定位精度能够满足实际应用的要求 相似文献