离子束螺旋扫描方式修正光学镜面方法

研究基于螺旋扫描方式的光学镜面离子束修正方法.根据离子束去除函数的特性,将螺旋扫描加工过程简化成线性过程并建立工艺过程模型,采用基于Bayesian原理的改进Richard-Lucy迭代法求解驻留时间.在分析驻留时间的连续速度实现基础上,给出螺旋路径参数的确定准则.建立螺旋扫描加工方式的工艺流程并进行试验验证研究.试验研究对φ100平面镜和φ200非球面镜修形加工得到了面形方均根误差均优于0.01λ.研究结果表明:极轴加工与普通的全口径加工一样是一种高效率、高确定性的加工方法,能够对镜面进行精确修形,同时可以节约加工成本.     

化学气相沉积碳化硅平面反射镜的高精度超光滑加工

针对化学气相沉积碳化硅平面反射镜的材料特性与技术要求,制定了"传统研抛 离子束抛光"的工艺方法,并在一块口径为100mm的试件上进行了验证。首先基于加工效率和亚表面损伤选择合理的工艺参数,并采用磁流变抛光斑点法测量各道工序的亚表面损伤,并以此为依据规划下一道工序的材料去除量;然后分析抛光表面粗糙度的影响因素,在此基础上对抛光工艺参数进行优化,获得表面粗糙度均方根方差值为0.584nm的超光滑表面,并控制工件的面形误差;最后采用离子束抛光进行精度提升,使工件的低频和中频误差均大幅下降,最终工件的面形精度均方根方差值达到0.007λ(λ=632.8nm),表面粗糙度均方根方差值为0.659nm。     

一种适用于三相四线制配电系统非对称的有源电力滤波器

在配电系统中,由于非线性负荷的广泛使用,因此产生了大量的高次谐波电流,造成电力系统电压畸变,使电力元件损耗增加,给电力系统的运行带来很大危害.高次谐波的存在,已被认为是污染电力系统的公害.     

DSP在超精密CNC系统中的应用

超精神数控系统由于极高的精度指标和大量的插补运算,对伺服控制系统的运算能力提出了很高的要求。数字信号处理器（ＤＳＰ０基于高效的运算能力,良好的开发环境支持,在超精密数控系统中获得了成功的应用。现对超精密数控系统中ＤＳＰ的应用进行了分析研究。     

三维受限刚体的摩擦接触分析

首先建立了摩擦接触约束条件下三维刚体的动力学模型,利用线性互补问题(LCP)理论对其进行了降阶处理,讨论了其解的存在性和唯一性问题,然后利用Kelvin接触模型和奇异摄动理论揭示了受限刚体降阶模型接触力稳定性的附加条件,最后以单接触细长杆为例,分别从滑动接触和滚动接触两种情况讨论了运动的稳定性,验证了理论分析的正确性.     

电容式微加速度计的闭环检测技术研究

针对分立元件电路噪声与干扰大的特点,设计了基于调制解调方法的微加速度计闭环检测系统,详细介绍了该闭环检测系统的原理框图及实现方法,讨论了该闭环检测系统的数学模型,并且利用精密转台对该微加速度计的性能进行了测试,测试结果表明,该微加速度计测量线性度为2.5%,量程为±1g,刻度因子为3V/g。     

新型三轴微加速度计设计

新型三轴微加速度计采用单一惯性质量,由四组L型梁对称布置支撑;利用差分电容作为检测接口,测量由于惯性力而引起惯性质量的微动位移;电容的差分结构有利于提高微加速度计的检测性能,实现系统静电力反馈闭环控制.利用ICP深刻蚀技术和静电键合技术等微机电系统工艺完成微加速度计的制作.具有体积小、灵敏度高、功耗小等优点,能够广泛应用于导航系统、汽车工业、PC游戏设备以及其他一些消费电子产品领域.     

基于鞍点规划及遗传算法的空间直线度误差优化评定

建立起了空间直线度误差评定的非线性鞍点规划模型 ,给出了“最小条件”判据 ,提出了直接求解鞍点规划模型的遗传算法 .最后对实际测量数据进行了误差评定     

基于鞍点规划及遗传算法的空间直线度误差优化评定

建立起了空间直线度误差评定的非线性鞍点规划模型,给出了"最小条件"判据,提出了直接求解鞍点规划模型的遗传算法.最后对实际测量数据进行了误差评定.     

离子束加工中驻留时间的求解模型及方法

驻留时间求解问题是离子束加工中的关键问题．通常，离子束加工过程可以描述为一个包含驻留时间的二维卷积方程，理论上通过反卷积即可以求解出驻留时间．然而，反卷积问题是一个病态问题，所以驻留时间一般较难很好地求解出．为了解决这个问题，介绍了一个离散的线性模型——CEH模型，分析了该模型的优点．提出应用截断奇异值分解法（TSVD）来求解CEH模型；深入分析了该方法的优点，并利用“L-曲线”分析了驻留误差和加工量之间的关系以及用“L-曲线”对CEH模型中去除点和驻留点的不同取法进行了评价．仿真结果表明，CEH模型和TSVD方法对于求解光学镜面离子束加工中的驻留时间很有效．