用于各向同性湿法刻蚀中的氮化硅掩膜

在硅的各向同性湿法刻蚀过程中,一般选用HNA溶液(即氢氟酸、硝酸和乙酸的混合溶液)作为刻蚀液,而氮化硅以其很好的耐刻蚀性而优先被选为顶层掩膜材料.在硅片上刻蚀不同的结构,通常需要选择不同的刻蚀液配比.而不同配比对于氮化硅掩膜的刻蚀速率也不一样.分别用PECVD和LPCVD两种方法在<111>型硅片上沉积了厚度为560和210 nm的氮化硅薄膜,研究和对比了它们在8种典型配比刻蚀液下的刻蚀速率,为合理制作所需要厚度的氮化硅掩膜提供有益参考.     

光伏并网发电系统中监控系统的开发

为实现对光伏并网发电系统的操作和实时监控,分析了应用于工业控制的Modbus通信协议,介绍了TPC7062K型号的触摸屏,利用MCGS组态软件完成了触摸屏控制界面的设计。以触摸屏作为主机,DSP作为从机,实现了两者之间基于Modbus协议的串口通信。通过实验验证:系统运行过程中,数据传输稳定可靠且实时性好,实现了良好的人机交互控制。     

锂离子电池等效电路模型的研究

为了合理地应用锂离子电池,研究了大量的等效电路模型。为了便于确定电池模型,详细介绍了几种具有代表性的等效电路模型。为了便于使用电池模型,重点说明了几种常用的模型参数辨识原理,并简要介绍了基本的模型验证方法。     

非平稳随机路面模拟与分析

汽车的主要激励来自路面,对路面不平度的模拟和分析,是进行汽车行驶平顺性分析的基础.本文在回顾随机路面模拟和对非平稳随机过程描述的基础上,导出了非平稳随机过程功率谱密度存在的充要条件和Wiener过程的功率谱密度,并用Wiener过程模拟生成了非平稳随机路面.基于小波理论,对非平稳随机过程的路面激励进行了一维离散二进小波分解,有效地把路面激励信号中的平稳成分与非平稳成分、低频成分与高频成分等分离开.     

PCR温度控制技术的研究进展

首先简述了PCR的基本原理,接着综述了几种常用的用于PCR的温度控制器,包括常规PID控制器、改进的PID控制器和模糊逻辑控制器,最后,将模糊逻辑应用于PID控制,提出了简练的模糊逻辑规则,设计了一套用于PCR的参数自整定模糊逻辑PID温控系统,得到了令人满意的温度控制效果.     

基于运算放大器的前置电路误差分析及补偿

在信号调理电路中,运算放大器是信号调理电路的核心器件.零漂、温漂和共模电压等变化会引起输出误差,如果输入信号中混有噪声或运算放大器固有噪声过大,高精度ADC(Analog-to-Digital Convertor)就失去了意义.基于上述原因,文中提出一种补偿电路设计方法,该电路选型Ti公司的OPA192精密运算放大器,...     

磁悬浮转子微陀螺的电容检测系统分析和实现

介绍了一种新型磁悬浮转子微陀螺的电容检测方案,其特点是检测定子上径向分布的电容极板和悬浮转子形成差动电容的变化.检测电路为基于相关检测原理的交流电容电桥的方法.电路实现中采用积分电荷放大器作为前置级,对其输出和噪声进行了深入的分析.之后,前置级的输出信号经过低噪声放大器进行放大,再通过带通滤波以及相关解调等电路实现检测系统需要的输出幅值和信噪比.实验证明,实现的检测系统对角度输入有较好的线性响应,角度分辨率达到0.1°,即可检测到的电容变化约为1fF.     

新型MH灯用单级逆变器

针对金属卤化物灯用镇流器的特殊要求,提出了一种适用于电子镇流器的新拓扑,将DC/DC和DC/AC两功率级整合成一级DC/AC逆变器,形成了一种新型金属卤化物灯用单级逆变器。阐述了新电路的工作原理和控制策略;介绍了新电路的软开关原理;给出了谐振元件参数设计公式。对新电路的仿真结果表明其具有优越的性能,效率约95%。搭建了输出功率为200W的样机,实验结果与理论计算、仿真结果相符,验证了新电路低成本、低EMI、高效率等特点。     

基于DEA的供应商选择方法研究

考虑到现有方法的局限性,本文通过应用锥比率的C^2WH模型给出了不需要预先给定权重但可以体现决策者偏好的供应商选择方法。并应用这种方法对某型号零件的供应商的选择问题进行了研究。最后给出了在应用该方法进行供应商选择时,一些特殊情形的处理方法。     

肝动脉化疗栓塞联合ＣＴ引导射频消融序贯治疗中小肝癌的临床应用

【摘要】 目的 探讨肝动脉化疗栓塞（ＴＡＣＥ）联合ＣＴ引导射频消融（ＲＦＡ）序贯治疗原发性中小肝癌的临床应用。方法 对５９例肝细胞性中小肝癌患者实施ＴＡＣＥ联合ＣＴ引导ＲＦＡ序贯治疗。结果 ５９例患者初次治疗,共８０枚病灶,行ＴＡＣＥ和ＲＦＡ序贯治疗技术成功率１００％。术后随访６ ～ ２４个月,２１例患者有病灶残余,再次行ＲＦＡ或序贯治疗,３例再次联合放射性１２５Ｉ粒子植入治疗后,病灶控制良好。并发症有胆汁瘤合并胆道感染１例、门静脉分支血栓１例。结论 ＴＡＣＥ联合ＣＴ引导ＲＦＡ序贯治疗中小肝癌是一种微创、有效的方法,同时注意手术操作细节,对提高手术成功率,降低手术并发症有重要意义。