基于分子量级的化学机械抛光理论与实验研究

为了理解CMP材料去除机理,本文采用原位纳米压痕仪研究了单个磨粒和芯片的接触状态。结果表面,CMP材料去除机理更应该采用原子/分子材料去除机理描述。此外,本文建立的修正数学模型定性预测了氧化剂浓度和磨粒/芯片相对速度对材料去除速率影响的基本规律,与发表的实验结果相吻合。实验结果与讨论对进一步加原子/分子深材料去除机理提供了一定的理论意义。     

浅谈无沸腾烹饪

烹饪是人们对所需食物进行再加工的手段,这一手段的再创造性被称之为烹饪文化,已经成为满足人们饮食需求的必要手段,烹饪文化的发展是社会进步的产物。本文就电气压锅的烹饪所及,探讨随电气压锅诞生的无沸腾烹饪的特征,力求从其热力学特征、烹饪效果上,探讨如何适应营养型烹饪、膳食平衡型烹饪等现代烹饪文化需求。     

机器人辅助内镜手术系统的设计与开发

机器人应用于外科手术中，通过医生和机器人系统的合理分工和有机配合，可以提高 手术质量、改善医生工作条件、实现远程手术等．本文以纤维内镜手术为研究对象，针对术 中X射线对医护人员身体健康造成伤害的现状，设计了机器人辅助内镜手术系统，使医生可 以远程控制手术室的操作器完成内镜和手术器械的操作，实现诊断和治疗的目的．文章详细 介绍了系统的研制背景、总体设计、内镜操作器子系统原型样机设计及实验，并结合系统开 发对医疗外科机器人的人机交互接口、安全性及临床应用等问题进行了讨论．     

新概念电热烹饪锅

本文介绍的是一种新型电热炊具,采用压力传感器,以压力控制达到温度控制。工作原理和烹饪效果是全新的,有别于以往的产品。     

漫谈电饭锅压力化（二）

三．电气压锅的产品开发展盟 随着电气压锅的“匚”式结构技术的不断进步。“匚”式结构也在不断地完善．从其技术的发展现状来看．电气压锅技术都是以现有技术．成熟工艺为基础的，一个电饭锅厂生产电气压锅．从技术上要引进压力密封．压力安全．弹性元件生产工艺等．相邻行业的现有威熟技术。     

漫谈电饭锅压力化

二十世纪的九十年代，是我国的电饭锅产品向压力化进军的十年．迄今为止电饭锅压力化的产品，在专利技术上已经形成了较为完整的知识产权基础．从其仅有的几个产品样品来看，业已具备了产品商品化所需的诸多条件。电气压锅的商品化定型尚待由市场完成筛选而最终完成定型。大型企业在电饭锅压力化上的投入，远不如它们在塑料化、电子化上的投入。而面对压力锅行业的安全问题、压力锅的国家标准中的某些谬误条款，对于电饭锅行业来说其步履艰难是可以理解的。     

一种改进型超宽带喇叭天线

基于TEM喇叭天线的结构特点,用两根弯曲的窄带代替基本模型中的上板,设计了一种飘带喇叭天线。该设计不仅有效地提高了天线的低频利用率,并且实现了天线的轻量化。通过对飘带结构进行进一步改进,利用AnsoftHFSS仿真软件对模型进行了分析。结果表明,改进后的飘带喇叭天线不但有较好的超宽带性能,而且其辐射性能也有了较大提高。...     

16×16多波束相控阵天线的设计

介绍了一种新型256元的Ka波段圆极化贴片天线阵列.该天线阵具有多波束扫描、扫描范围广等特点.利用切比雪夫加权方式,实现多种波束的多状态扫描.设计结果表明,在中心频率31 GHz处,扫描范围可达到±40°,波束宽度可控.     

时间对2024铝合金表面铬酸盐转化膜耐蚀性的影响

应用交流阻抗技术(EIS)研究了不同时间对2024-吕合金表面铬酸盐转化膜抗腐蚀性能的影响,利用扫描电子显微镜(SEM)与能量散射能谱(EDS)分析膜表面形貌与成分.结果表明,EIS显示当电位随时间达到一个稳定状态时,即成膜时间达到8 000 s时形成膜的膜层最为均匀致密且最终膜的稳定阻抗值最大,达到7.5×105Ω·cm2;SEM显示在该溶液中试样表面所形成的转化膜没有裂纹,并且成膜时间达到8 000 s时最为均匀致密、耐蚀性能最佳.     

单晶硅片化学机械抛光的表面损伤研究

通过模拟化学机械抛光的工况条件,对不同化学作用的单晶硅片表面进行纳米划痕实验,利用现代分析仪器与技术,对抛光后单晶硅片的表面和亚表面损伤进行研究。结果表明:在一定的工况参数条件下,机械作用和化学作用匹配时,可以获得高的材料去除率和无表面层及亚表层损伤的高质量的抛光表面。在化学机械抛光过程中,机械作用的加强可以提高材料去除率,但作用力增至一定值之后,抛光后表层和亚表层损伤将逐渐加大;化学作用可以增加机械作用下的材料去除率,但抛光表面在化学反应作用下会产生表面损伤。通过调整机械参数如压力和速度等可以控制摩擦化学反应中的反应热,从而实现机械作用对摩擦扩散化学的控制,调控单晶硅片的超精密抛光中化学物质的使用,实现环保型绿色抛光。