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采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
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本文回顾了近年来在电压源逆变器供电的感应电机系统中采用的直接转矩控制(DTC)技术。阐述了以下几种控制方案,基于开关矢量的DTC(ST-DTC),转矩直接自控制(DSC),恒开关频率空间矢量调制DTC(DTC-SVM)。同时,本文也介绍了基于神经模糊逻辑控制器的这种最新技术的DTC-SVM。文中给出了一些波形图来说胆这些控制特性。 相似文献
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1近期安装的多台光站出现无法网管及网管不稳定的情况
故障现象:(1)近期在大批量安装光站中,发现有多台光站不能网管;
(2)多台光站频繁离线。 相似文献
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随机激光器的最新进展 总被引:5,自引:2,他引:3
综述了近年来随机激光器的最新研究结果,包括随机激光产生的机制,随机增益介质的制备方法,随机激光器的激励与发光特性和随机激光理论。最后,介绍了随机激光器的应用前景。 相似文献
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