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四氯化硅作为西门法高纯多晶硅生产中产量最大的副产物,是一种具有强腐蚀性的毒害物质。目前,国内多晶硅的大规模生产即将兴起,解决其副产物四氯化硅的最有效的方法是转化为三氯氢硅。着重介绍了热氢化、冷氢化、氯氢化、等离子体氢化等国内外四氯化硅氢化技术的工艺特点和研究进展。 相似文献
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三氯氢硅生产技术及市场 总被引:6,自引:0,他引:6
介绍了三氯氢硅的生产原理及催化反应机理,阐述了沸腾氯化法生产三氯氢硅的工艺和流程,并对市场前景进行了分析.指出我国应加强对三氯氢硅生产技术的研究及下游产业链的开发,缩小与国外先进水平的差距并形成良好的产业循环. 相似文献
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研究了CH3 SiCl3 的低温醇解反应工艺和条件 ,论述产物中的HCl对反应的影响 ,选择适当的方法除去反应生成的HCl,达到了提高产物收率的目的 相似文献
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