一种时域解调激光干涉仪调制信号的方法

针对某低频水平振动校准设备的激光干涉仪,利用NI公司的多功能采集卡,采集激光干涉仪的调制信号及与其同相位的电容式位移传感器的输出信号.根据激光干涉仪调制原理,提出一种时域解调调制信号的方法.根据调制信号条纹的时域特性和它被限幅的实际特点,利用labview软件实现了信号的解调,并将电容位移传感器信号作为参考信号,还原解调后信号的相位,从而得到振动台高精度的振动波形.实验证明,此方法对连续振动信号的解调效果良好,具有较好的重复性和稳定性,精度可达到激光干涉仪发射激光波长的四分之一.     

采用计量型扫描力显微镜校准微纳米标准样板

为了建立质量保证体系,微米和纳米样板至今仍被广泛地应用于校准微纳米尺度的测量仪器中．介绍了应用由德国联邦物理研究所开发研究的、测量范围为25 mm×25 mm×5 mm的计量型扫描力显微镜(M-LRSFM)的校准方法．上述计量型扫描力显微镜配置有三个零拍的激光干涉仪,可分别测量沿x、y、z三条轴线方向的位移,因而其测量值可直接溯源于“米”定义．此种M-LRSFM能够校准横向的微纳尺度的结构尺寸,诸如阶梯高度、一维和二维光栅、镀层厚度、线宽、微纳尺度的表面粗糙度等．作为实例,介绍了一种横向样板的校准程序及获得的校准结果．研究表明这种方法适合于校验扫描电子显微镜(SEM)的放大倍率．     

一种新型光纤电流传感器

本文提出了一种新型的干涉式光纤电流传感器 .该系统光路为相位压缩结构 ,有大的动态测量范围 ,采用具有稳定的正交状态的 Sagnac干涉仪 ,能够自动消除由偏振产生的信号衰弱现象和光纤所固有的双折射、外界温度变化产生的干扰     

超精密机床及其定位测量系统

分析了国内外起精密机床及其测量系统的发展，并在我国首次提出将双路双频激光测量系统用于超精密机床的在线测量．该系统具有采集速度快、结构紧凑、通用性好的特点，为超精密机床的研制奠定了基础．     

全光纤VISAR系统中条纹常数的分析

全光纤VISAR系统具有大的测速范围,其测速的动态范围和条纹常数有关。从干涉光路的实现原理出发,推导出速度与条纹常数的关系式,并分析了FVISAR系统不同速度分档下的条纹常数确定。在保证1．5％精度及假设光源相干长度为1 mm的前提下,给出了具体的速度分档情况。     

计量型原子力显微镜

本文报导国际上研制的第一台在纳米测量中，在中等测量范围内，具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统、可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜。它的诞生，可使目前用于纳米技术研究的扫描隧道显微镜定量化，并将其所测量的纳米量值直接与米定义相衔接。使人们更加准确地了解纳米范围内的各种物理现象，并对它们进行更精确的分析。文章对计量型原子力显微镜进行了理论分析，提出了对各种测量误差的抑制及其补偿方法，并进行了大量的实验，得到良好的结果。目前，该计量型原子力显微镜在其测量范围内，任意两点间距离的测量不确定度为Ｕ９５＝５ｎｍ＋２×１０－４ｌ；在ｚ－轴上的测量不确定度为Ｕ９５＝（１．１～１．２ｎｍ）＋２×１０－４ｈ。     

Effect of Swinging of Vibration Sensors on Their Calibration Error

The requirements of GOST ISO 5347-1–96 for restricting the level of vibration sensor swinging during calibration are considered. It is demonstrated that that section of the standard must be made more stringent. The error of measurement of small vibration amplitudes (less than 0.2 m) during measurements is estimated from a spectral analysis of an interferometer signal.     

一种处理等离子体密度的软件方法

介绍了一种软件计算远红外激光干涉仪相位差的方法。对比了软件程序与硬件相位计在HT-7实验中的处理结果,总结了软件处理所得相位差的特征,并在此基础上求出了真实的等离子体密度。最后,对实验结果进行了细节分析、误差分析,对软件处理时间进行了分析,得出软件方法可以获得更好的时间分辨率且具有进行实时处理的可行性。     

用光纤干涉仪检测I形复合材料梁腹板/翼缘连接处的分层

介绍了一种在超声回弹波频谱分析基础上用光纤干涉仪来检测I形复合材料梁腹板/翼缘连接处分层的方法,利用超声发射器在I形梁中产生应力波,用表面粘贴的光纤干涉仪来接收应力波产生的输出信号,对此信号进行频谱分析可找到I形梁的分层位置。理论分析和实验都表明了此方法探测复合材料梁腹板/翼缘连接处分层的可行性。     

混联复合机床主旋转轴精度的光电检测与补偿

为了达到对混联机床主旋转轴精度准确评价的目的，采用单频激光干涉仪进行精度检测，并为机床主旋转轴定位误差的补偿做准备。针对干涉仪的测量原理进行了深入研究，分析了激光干涉仪在机床主旋转轴测量中测量精度的主要影响因素和误差补偿，提出了一种简便、可靠的检测方法。最后通过实验验证了设计的检测方案，取得了综合测量结果。