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非致冷焦平面热成象技术及其应用 总被引：12，自引：6，他引：6
９０年代以后，非致冷红外焦平面技术的实用化成为红外热成象技术中最引入注目的突破之一，基估军事和民用领域的广泛应用前景受到国内外的普遍重视。本文综述了非致冷红外焦平面技术的两大技术途径及其特点、发展趋势和应用情况，并了发展我国非致冷红外焦平面技术的途径。 相似文献
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硅基红外信平面阵列技术的新进展（Ⅱ） 总被引：2，自引：0，他引：2
主要介绍以硅为衬底的ＰｂＳ，ＰｂＳｅ，ＰｂＴｅ，ＰｂＳｎＳｅ，ＨｇＣｄＴｅ，ＩｎＳｂ等红外探测器焦平面阵列的新进展。 相似文献
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得克萨期仪器公司的微电子制造科学技术计划，正在九十年代中期发展一种通用的半导体器件制造技术。原位真空处理，组件式群集加工设备，其于传感器的实时过程控制以及计算机集成制造是这项活动的基本组成部分。 相似文献
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