微波电子回旋共振等离子体技术及其应用

微波电子回旋共振等离子体是淀积薄膜、微细加工和材料表面改性的一种重要手段。由于这种等离子体电离水平高,化学活性好,可以用来实现基片上薄膜的室温化学气相淀积和反应离子刻蚀,因此对于微电子学、光电子学和薄膜传感器件的发展,这种等离子体会具有重要的意义。此外,采用微波电子回旋共振等离子体原理,没有灯丝的离子源可以提高离子源的使用寿命,可以增加离子束的束流密度。可以确信,微波电子回旋共振等离子体的发展,将把离子源技术提高到一个新的水平。显然,这必将对材料表面改性工艺,包括离子注入掺杂等工艺的发展发挥作用。自从1985年以来,为了得到大容积等离子体而发展了微波电子回旋共振多磁极等离子体,这些技术在薄膜技术、微细加工以及材料表面改性中的应用前景是乐观的。我们将在本文中,介绍微波电子回旋共振等离子体的原理及其应用。     

利用表面等离子体波共振效应(SPRE)对角度与共振波长关系的研究

本文利用了Kretchmann模型的表面等离子体波共振效应，研究了共振波长对入射角变化的敏感性，从而为研制一种新的角度传感器提供了依据。     

用发射天线式微波等离子体CVD装置沉积大面积金刚石薄膜

在国内首次研制成功了高气压发射天线式微波等离子体辅助化学气相沉积金刚石薄膜装置，用该装置成功地在３英寸的单晶硅衬底上沉积了Φ７０ｍｍ的金刚石薄膜。这一成果填补了国内空白，对我国金刚石薄膜研究领域的设备更新换代和开发应用具有重要意义。     

氘—氚托卡马克等离子体中约束α分布的测量

在ＴＦＴＲ托卡马克氘－氚等离子体芯部，α密度为３×１０＾１６ｍ＾－３时，用光谱测量术观察了能量≤０．７ＭｅＶ的聚变产生的α粒子。在无锯齿放电期间，在ｒ／ａ＝０．３处所测得的能谱与基于碰撞输运所预计的能谱完全一致。在α源关闭之后，α热化期间时间分辨测量表明，分布函数衰减到较低能量是与经典慢化时间０．５ｓ一致的。     

彩色等离子体显示屏中运动失真现象的研究

本文研究了等离子体显示屏在显示动态的画面时产生运动失真现象的原因，并在比较国内外各种解决方法的基础上提出了一种优化的ADS驱动方式。在优化的ADS驱动方式基础上开发的14时彩色等离子体原型样机表明优化的ADS驱动方式在视觉闪烁感和运动图像质量方面都有了很大的提高。     

基于B点磁探针膛内电枢电弧长度与速度分布测量的计算机控制系统的研究

基于B点磁探针的测量原理，建立了电磁轨道炮膛内三维等离子体电枢电弧长度和电弧运动速度测量的数学模型，通过对该模型的分析给出了用于测量膛内电枢电弧长度和运动速度分布的相应推论。开发了用于测量膛内等离子体电枢电弧长度和速度的多通道计算机控制诊断系统，并进行了相应的试验研究。     

应用ICP-AES表征高剂量氧注入过程中的金属污染

研究了采用感应耦合等离子体-原子发射光谱技术表征高剂量氧注入单晶硅制备SIMOX-SOI材料过程中金属杂质污染的有效性.同时研究了采用强酸清洗、加SiO2膜覆盖等方法对降低污染程度的效果.利用ICP技术可以对大面积或整个硅片进行采样,检测结果是一种整体的平均效果.采用强流氧注入机进行高剂量氧注入,发现金属杂质污染元素主要是Al、Ar、Fe、Ni;注入后强酸清洗样品可有效降低Al污染;60nm厚的二氧化硅注入保护膜可阻挡一半的上述金属污染.     

PECVD制备a-C:H:N薄膜的微观结构研究

非晶含氢碳膜(amorphous ydmgenated arbon a-C：H films)在力学、热学、电学、化学、光学等方面具有优异的性能，被广泛应用于诸多领域，有巨大的应用前景。随着a-C：H薄膜制备技术的进一步完善，在此基础上的改性材料又引起了人们的注意。氮掺杂类金刚石薄膜(a-C：H：N)近年来成为人们研究的     

低温等离子体对血管内金属支架的表面改性

生物材料用于人体必须要具备生物相容性。尤其是与血液相接触的材料如血管内支架必须要具备血液相容性。材料的表面特性直接影响血液系统中是否会出现血栓。本针对金属血管内支架的表面特性、与血液的界面反应以及用于提高血液相容性的低温等离子表面改性进行了简要综述。     

等离子体增强电化学表面陶瓷化技术

等离子体增强电化学表面陶瓷化技术哈尔滨环亚微弧技术有限公司（１５００３６）左洪波，孔庆山，尚欠琦１引言随着现代工业及科学技术的发展，陶瓷材料以其特有的性能、丰富的资源优势成为继钢铁、铝材以后的第三代工程材料，由于整体陶瓷材料脆性大，可加工性差，一直束...