阻挡层CMP中表面活性剂对抛光效果的影响

研究了阻挡层在化学机械抛光过程中表面活性剂的作用。利用5种活性剂体积分数不同的抛光液对3英寸(1英寸=2.54 cm)Cu/Ta/SiO2光片进行抛光。通过抛光前后质量变化可得各晶圆片的抛光速率,再对12英寸布线晶圆片进行抛光,利用台阶仪测量抛光前后碟形坑大小的变化,最后利用原子力显微镜对抛光后布线晶圆片的表面形貌进行测试。研究表明抛光液中活性剂体积分数不同会引起抛光速率的变化,也会影响碟形坑的修正效果。当抛光液中活性剂体积分数达到2.0%时,修正值达到85.6 nm/min,优于其他活性剂体积分数时的修正值。另外,活性剂体积分数的增加有助于降低抛光后晶圆表面的粗糙度。活性剂体积分数小于3.0%时,粗糙度随着活性剂体积分数的增加而降低。这一发现可以对配制抛光液时活性剂体积分数的确定起到一定的参考作用。     

特种加工技术在航空产品中的应用

在现代航空发动机设计中，为满足高性能航空发动机的要求，必须大量采用新材料、新结构，于是产品的可制造性就对制造技术提出了新的挑战，如难加工材料、复杂型面、精密表面的加工及特殊要求的零件加工等问题。特种加工技术的采用，可使航空发动机零件数量减少，结构设计简化，从而在性能、适用性、可靠性、维修性等方面均得到提高。     

铸铝框架类零件的精密加工

精密加工技术是一项系统工程,它集机床、工具、计量、数控、材料、环境控制等成果于一体,针对不同的加工对象,不同的设计要求,综合地加以利用。超精密加工技术也都是在其有关的各项技术支撑的条件下,     

化学防水材料的应用与发展

本文综合阐述了化学防水材料的起源、应用范围、种类及发展趋势。     

Li_2O－MgO－CaO－Al_2O_3－SiO_2系微晶玻璃烧结反应形成的

Ｌｉ＿２Ｏ－ＭｇＯ－ＣａＯ－Ａｌ＿２Ｏ＿３－ＳｉＯ＿２系微晶玻璃烧结反应形成的相关系和显微结构诸培南，郭景坤，杨涵美，张玉峰，黄士忠（同济大学２０００９２）（中国科学院上海硅酸盐研究所２０００５０）ＰｈａｓｅＲｅｌａｔｉｏｎａｎｄＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃ...     

单兵全能榴弹DFJ10式35mm破甲杀伤弹

DFJ10式35mm破甲杀伤弹能在400m内点、面杀伤和压制有生目标,在100m内有效毁伤轻型装甲车辆、汽车,摧毁工事,压制敌火力点,还可引燃或引爆附近的易燃易爆物。弹药的多用途性完全满足现代作战的需要,尤其适合城市和山地作战——     

航天航空产品中钛合金的铣削加工技术

钛及钛合金因密度小、比强度高、耐腐蚀、耐高温、无磁、焊接性能好等优异综合性能,在航空航天等领域得到越来越广泛应用。但是,钛合金的一些物理力学性能给切削加工带来了许多困难。切削时钛合金变形系数小、刀尖应力大、     

基于PDM的流程管理实施技术研究

现代企业的集成正向着过程集成的方向发展。PDM技术是近年来发展起来的一种新技术，其主要功能为数据仓库与文档管理、产品结构与配置管理、流程管理。通过总结在某企业中实施PDM的经验，提出一种基于PDM软件的流程管理的新方法，为企业实现过程集成提供一种新思路。     

小模数齿轮数控慢走丝线切割加工工艺方法的研究

通过对数控慢走丝线切割在加工小模数齿轮加工中如何加工引线孔、装夹工件、编制程序、参数的选择、应用多次切割等工艺方法进行研究,形成了一套完整的小模数齿轮加工工艺方法,取得良好的效果.     

遮阳罩拉伸折弯复合模设计

介绍了某型号军品中遮阳罩的加强筋的拉伸、折弯复合模的详细结构、模具工作过程。