阻挡层CMP中表面活性剂对抛光效果的影响

研究了阻挡层在化学机械抛光过程中表面活性剂的作用。利用5种活性剂体积分数不同的抛光液对3英寸(1英寸=2.54 cm)Cu/Ta/SiO2光片进行抛光。通过抛光前后质量变化可得各晶圆片的抛光速率,再对12英寸布线晶圆片进行抛光,利用台阶仪测量抛光前后碟形坑大小的变化,最后利用原子力显微镜对抛光后布线晶圆片的表面形貌进行测试。研究表明抛光液中活性剂体积分数不同会引起抛光速率的变化,也会影响碟形坑的修正效果。当抛光液中活性剂体积分数达到2.0%时,修正值达到85.6 nm/min,优于其他活性剂体积分数时的修正值。另外,活性剂体积分数的增加有助于降低抛光后晶圆表面的粗糙度。活性剂体积分数小于3.0%时,粗糙度随着活性剂体积分数的增加而降低。这一发现可以对配制抛光液时活性剂体积分数的确定起到一定的参考作用。     

精密垫片精冲工艺与模具设计

精冲又称精密冲裁,是一种对模具有特殊要求的金属塑性加工工艺。这种冲裁件具有较高的尺寸精度与形状精度以及完全光亮的冲裁面,甚至可以直接装配使用。它具有优质、高效、生产成本低等特点,容易实现自动化生产。精冲是在普通冲压的基础上发展起来的一种精密板料加工工艺,精冲成形工艺是在普通压力机或者专用压力机（精冲机）上,     

遮阳罩拉伸折弯复合模设计

介绍了某型号军品中遮阳罩的加强筋的拉伸、折弯复合模的详细结构、模具工作过程。     

稀土La3+对Ni-P电刷镀层结构与性能的影响

用柠檬酸钠作为配体,用电刷镀的方法使Ni-P共沉积的同时,可以从溶液中沉积出La^3 ,从而得到Ni-P-La复合镀层。对复合镀层的研究表明：稀土元素La^3 的加入提高了复合刷镀层的沉积速度、耐蚀性和结合强度。     

煤矿绞车电控系统的PLC变频改造设计

介绍了一种利用PLC和变频器对现有的陈旧、落后、高能耗的矿山绞车交流调速电控系统改造的方案。设计了电控系统主电路、控制电路和主控程序软件流程图。进行了变频器和PLC选型,给出了一种PLC结合变频器实现S形速度曲线的新方法。该改造的实施有利于矿山节能降耗目标的实现。     

MAX6625型温度传感器的原理及应用

MAX6625是美国Maxim公司生产的一种新型智能温度传感器,它在风扇控制、温度告警、系统温度测量及工业设备中得到了广泛应用.介绍MAX6625的功能和结构,分析MAX6625的工作原理,给出采用MAX6625进行温度测控的电路及编程.     

一族Liouville可积系及其双约束流的Hamilton系统

构造了Loop代数 A2的一个子代数,由此建立了一个3×3等谱问题,由屠规彰格式得到了一族Liouville意义下的可积Hamilton方程族。通过建立双对称约束,得到了该方程族的两组约束流,并将其化为广义Hamilton系统。     

化学防水材料的应用与发展

本文综合阐述了化学防水材料的起源、应用范围、种类及发展趋势。     

Y-TZP/Al2O3复相陶瓷的液相烧结及显微结构

通过在Y-TZP／Al2O3复相陶瓷材料中加入一定的添加剂，可以使其在较低的温度下进行液相烧结，使材料的烧结温度大幅度降低．由于液相的存在，氧化锆晶粒较细，而氧化铝晶粒可以借助液相发育成长柱状，这种形状的晶粒有利于陶瓷材料的力学性能，复相材料仍然保持较高的强度和断裂韧性．     

BN纤维补强ZrO_2材料的显微结构

研究了 BN 纤维补强 ZrO_2 材料中显微结构及界面特性,BN 纤维与 ZrO_2基体之间有一扩散区,经烧结后复合材料中 BN 以多晶形式存在。在 BN 纤维内扩散入较多 Y_2O_3 和 SiO_2,这些组分在纤维内形成玻璃相。聚集在 ZrO_2之间的 BN 形成细长结晶体,该晶体内有较多刃位错和反相畴区域。与 BN 相邻的 ZrO_2仍为四方相。