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快速热处理(RTP)是一种瞬时均匀加热和冷却片子的方法。由于该工艺是对整个片子加热,因而加热和冷却要受到片子热质量和作用在片子上的热传输机理的限制。 采用RTP的主要理由是为了得到对注入层掺杂剂的优质活化(由于使用了高温处理片子),同时使掺杂剂的再分布减至最小 相似文献
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半导体工艺设备是集成电路发展的重要先决条件。集成电路工艺技术的改进提高和产品的更新换代都与工艺设备息息相关。如何发展我国的半导体工艺设备,促进集成电路产业的发展,是我们应当认真思考的一个问题。本文在简单回顾了我国半导体工艺设备的发展历程之后,论述了它的现状与面临的问题,并就今后的发展提出了几点具体意见。 相似文献
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武汉烟草集团充分利用西部大开发的机遇,紧紧抓住我国加入WTO的契机,立足当前,着眼未来,切实加大科技兴烟力度,提高烟叶原料质量,积极探索创办优质主料烟基地的新路子,取得了明显成效。武汉烟草集团自1997年与仁怀市建立紧密型烟叶基地关系以来,坚持依靠科技上质量,依托创新上水平,始终把提高基地烟叶生产的科技含量作为提高基地烟叶质量的关键,取得良好效果。在基地烟叶生产运行中,始终遵循“联办、共管”的原则,建立和完善了“六位一体”的管理模式,即:贵州省烟草公司、湖北省烟草公司、武汉烟草集团、遵义市烟草分… 相似文献
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烤烟体内氮磷钾的浓度积累,分配特征 总被引:6,自引:1,他引:5
田间试验和室内分析相结合研究了在利川市海拔1100-1200m的黄棕壤上烤烟植侏体内氮磷钾营养元素的浓度、积累量和不同部位的分配比例,以及施肥和地膜覆盖对它们的影响。 相似文献
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使用有机化合物作反应剂在一个LPCVD反应器中淀积了硼磷硅玻璃膜。含硅反应剂是四乙氧基硅烷(TEOS),含硼反应剂是硼酸三甲脂(TMB),含磷反应剂是亚磷酸三甲脂(TMP)。对形成含硼量为1~4%(重量)以及含磷量为2~5%(重量)的均匀膜工艺过程进行了描述。BPSG膜具有接近保形的台阶覆盖并在低达850℃的温度下产生流动。在空气或氩气中退火处理后膜厚发生轻微变化,由于水份作用导致的膜厚减薄是不易被察觉的。本文阐述了材料的性质以及膜组分对反应剂流速和温度的依赖关系。详细介绍了折射率与磷浓度的依赖关系和粘滞流动对硼、磷浓度的依赖关系。对所观察到的两个微观结构缺陷的形成条件进行了讨论。 相似文献
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等离子腐蚀和化学汽相淀积工艺所排出的废气对在这些工艺中使用的机械真空泵将产生有害影响。本文讨论了废气对泵组件和润滑油的影响,并提出了保护泵的防护措施。 相似文献
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几个烤烟品种与施氮量等栽培因素对烟叶可用性的综合效用评价 总被引:10,自引:0,他引:10
以提高烟叶的内在品质和工业可用性为主攻方向,通过不同烤烟品种与施氮量、打顶时间和种植密度的正交试验,研究分析了试验因素对主要农艺性状、烟叶品质和经济性状的影响效用.结果表明,从降碱降焦、改善烟叶香气质和余味、增进香气量、提高烟叶的工业可用性考虑,烤烟品种的选择是关键,合理控制施氮量是重要保证,因地制宜地调控种植密度和确定打顶时间也有一定作用.3个供试品种中,以中烟98的烟叶质量综合评价最好.适当控制氮肥,平衡和改善烟株的氮营养状况,仍是今后提高基地烟叶质量和可用性的主要栽培调控措施.合理的种植密度和适宜的打顶时间,也是重要的农业配套技术.综合分析认为,本试验最优组合为中烟98施氮量97.5 kg/hm2,行距110cm,株距55 cm,种植密度16530株/hm2,50%中心花开放期打顶. 相似文献
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