纳米尺度表面形貌测量的双图像拼接法

与传统探针相比,使用碳纳米管探针能探测到更精细的样本表面形貌,为减小针尖形貌和尺寸造成的测量误差提供了一个良好途径。然而,在普通探针上黏贴碳纳米管时总是难以避免地出现一个倾斜角度,它使得对刻线样本进行测量时只能获得单侧较精确的边墙数据,而另外一侧失真较大。提出一种双图像拼接方法,样本在经过一次测量以后被旋转180°,然后重新测量,分别保留两次测量中较好的一侧边墙测量数据,并把它们拼接成一幅更接近真实样本的图像。采用基于ICP算法的图像配准技术匹配两次测量图像,消除两次测量的位置偏差, 并应用双线性插值和最小二乘拟合方法对配准后的图像进行处理,计算得到更准确的线宽和边墙角等单刻线样本的特征尺寸值。     

纳米尺度线宽测量技术的研究

纳米尺度线宽的测量在半导体集成电路制造业、数据存储工业以及微机电系统等领域广泛应用。随着制造技术的进步,线宽的临界尺寸也变得越来越小,目前已经缩小至100nm左右。在这一尺度范围内,由于样本制造技术的限制和测量仪器的影响,很难得到精确的测量结果。针对目前纳米尺度线宽测量的研究状况,分析了这一领域的主要研究内容和面临的问题。     

不锈钢中镍的比色法测定

不锈钢中镍的测定方法，目前常采用重量法或络合滴定法（容量法）。重量法需要对处理后的样品在马弗炉中高温灼烧，浪费大量的电能，试验周期长；容量法因大量使用氨水，对试验者和环境都有很大的危害。为了克服上述两种方法的缺点，我们建立了采用比色法测定不锈钢中镍含量的方法，减少了对试验人员以及环境的危害，提高了分析速度。     

基于AFM的刻线边缘粗糙度幅值与空间频率的表征方法

针对使用原子力显微镜测量纳米尺度半导体刻线边缘粗糙度的参数表征问题进行了研究．在对线边缘粗糙度的定义与现有测量方法进行分析的基础上，采用图像处理技术分析硅刻线的原子力显微镜测量图像的线边缘粗糙度特征，提出了线边缘粗糙度的幅值与空间频率的表征方法．其中幅值参数能够在一定意义上反映刻线边缘形貌的均匀性，而采用小波多分辨分析与功率谱密度函数（PSD）频谱分析相结合的空间频率表征方法，则有效地分析了侧墙轮廓边缘复杂的空间信息．实际测量结果表明，样本线边缘粗糙度的主要能量集中在低频区域，其主导空间频率为～0．04nm^-1，在低频部分约500nm特征波长上有最大的线边缘粗糙度分布．     

腈纶叠丝装置的研究及系统设计

叠丝是成品腈纶丝包装的一道重要生产工序，它的质量直接影响长丝的打包质量或短丝的废品率，在现有设备的基础上，设计出一种新型叠丝机装置，介绍了该装置机械系统的设计思想，并分析了下落的腈纶丝与叠丝摆斗摆动的运动关系，根据这种关系且匹配各种运动速度设计了控制系统的软件及硬件，该系统具有机械结构简单，控制精确，低成本和高智能化等优点。     

一种基于图像处理的半导体刻线边缘粗糙度的确定方法

随着半导体技术的不断发展 ,半导体刻线临界尺寸不断降低 ,线边缘粗糙度对元件性能的影响越来越大。本文综合运用图像处理中的直方图图像描述、阈值化描述以及Sobel算子提取半导体刻线的边缘 ,并根据边缘计算了粗糙度。最后给出了一个样本的实际测量结果并加以分析 ,结果表明这一方法可以用来测量和分析临界尺寸刻线边缘粗糙度     

基于子波分析的线边缘粗糙度表征参数研究

分析了现有线边缘粗糙度(L ine Edge Roughness,LER)表征参数的不足,针对二维LER的表征参数信息量缺失,提出了基于子波中面的LER参数表征.子波理论给LER的综合评定提供了恰当的工具.利用子波在空间和频率域内都具有的定位特性,可以在任意细节上分析信号特征,且构造的子波基准线不存在拟合误差,可以分析LER来源,改进刻线边缘加工工艺.给出了基于子波分析的几个LER评定参数,并分析了这些参数如何应用于工艺和元件电气性能的表征.     

渠道概念

<正> “利润压到最低,量放到最大” ——国美 家电销售领域的商业大鳄国美,最近正在把精力向PC倾斜。它采取的措施就是凭借规模优势以极具震撼力的价格优势迅速席卷整个市场,确立在消费者心目中的渠道信任度。虽然这一策略并不被联想等品牌电脑厂商认同,但国美在全国拥有的60多个大卖场,却不会被任何一个电脑     

纳米尺度线宽的测量与Nanol国际关键比对

现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展，对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求。目前的一些测量方法分别存在各自的缺点与不足，在缺少更高准确度计量标准的情况下，往往采用比对的方法使计量结果趋于一致。国际计量局在1998年把纳米尺度线宽计量确定为纳米尺度基本特征国际关键比对项目之一。文章对它的主要研究内容以及进展情况作了介绍。     

出入巢湖东湖河流水体环境单元模糊聚类分析

基于模糊数学基本原理,运用模糊聚类分析的方法研究了巢湖出入湖河流水体环境单元的分类问题,并对研究结果进行了初步的分析和讨论.研究结果表明,模糊聚类分析的方法可以客观、准确地反映水体环境单元污染程度的差异,是一种比较理想的聚类方法.