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111.
112.
光栅刻划机工作台性能及其控制算法是直接影响大面积光栅刻划精度的重要原因。为了提高光栅刻划机运行精度,研制了采用压电陶瓷进行微定位控制的300mm行程宏微两级工作台,建立了微定位工作台数学模型,仿真分析了工作台参数对系统动态性能的影响。采用反向传播(BP)神经网络比例-积分-微分(PID)算法对微定位工作台进行闭环控制。仿真分析表明通过增大内外台连接刚度或内外台之间阻尼在总体趋势上均可改善与光栅质量密切相关的微定位工作台动态性能。工作台定位实验表明,在以双频激光干涉仪为纳米位移测量基准的情况下,进行刻线密度为35line/mm以上常用光栅空运刻划时,BP神经网络PID算法可实现宏微两级工作台定位误差3σ值不大于5.0nm。以上研究为大尺寸光栅刻划机宏微两级工作台结构设计及控制算法的选择提供了理论及技术指导。 相似文献
113.
DCS、PLC已成为工厂自动化系统中不可缺少的部分,现场总线技术(FCS)是PLC和DCS的扩展,是信息化、智能化、数字化、网络化向现场发展的新一代工业自动化控制系统,并以双向数字化通信的鲜明特点广泛应用于各过程工业领域。以水泥生产线系统为例介绍了现场总线在水泥生产线自动化中的应用,并描述了系统的构成以及组态的实现。 相似文献
114.
介绍了一种基于联通WCDM A无线传输技术的多路音视频监控系统。该系统采用标准 H.264视频压缩技术作为系统的核心算法,结合摄像头、拾音器和无线传输模块等实现数据的采集、处理和网络传输功能。 相似文献
115.
116.
高效平面全息衍射光栅的获取方法 总被引:17,自引:6,他引:11
从全息衍射光栅的制作原理出发,介绍了全息光栅的主要制作方法,并与刻划光栅对比分析了全息衍射光栅的诸多优点。通过利用光栅设计的耦合波理论对全息衍射光栅槽型、槽深及槽间距等进行了优化设计,同时利用离子束刻蚀技术获得了高效率全息光栅。文中全面分析了制作高效率平面全息光栅的各项关键技术。 相似文献