MEMS THz滤波器的制作工艺

基于MEMS技术制作了太赫兹(THz)滤波器样品,研究了制作滤波器的工艺流程方案,其关键工艺技术包括硅深槽刻蚀技术、深槽结构的表面金属化技术、阳极键合和金-硅共晶键合技术。采用4μm的热氧化硅层作刻蚀掩膜,成功完成了800μm的深槽硅干法刻蚀;采用基片倾斜放置、多次离子束溅射和电镀加厚的方法完成了深槽结构的表面金属化,内部金属层厚度为3~5μm;用硅-玻璃阳极键合技术和金-硅共晶键合技术实现了三层结构、四面封闭的波导滤波器样品加工。测试结果表明,研制的滤波器样品中心频率138GHz,带宽15GHz,插损小于3dB。     

大间隙GaAs光导天线的太赫兹辐射频谱特性

从麦克斯韦方程出发,采用电涌模型对用飞秒激光触发大间隙光导天线产生的太赫兹脉冲远场辐射特性进行研究。文章分析了大间隙GaAs光电导天线的天线电极形状和参数、天线间隙对产生的THz脉冲频谱特性的影响。用制作不同间隙、天线形状的光导天线进行产生THz辐射的实验,仿真实验结果表明:大间隙光导天线的带宽为0.1 THz～2 THz,不同的电极形状主要影响1 THz～2 THz频段内的THz信号幅值;间隙更小的光导天线的频谱带宽稍宽,而且在1 THz以上的高频段信号略高一些。     

140 GHz关键射频组件研究

在基于超外差体制的太赫兹无线通信系统接收机和发射机中,混频器、滤波器和本振源是决定系统性能的关键器件。本文分别针对基于肖特基二极管技术的140 GHz次谐波混频器、基于微机电系统（MEMS）体硅工艺的140 GHz带通滤波器和V波段毫米波本振倍频源的仿真设计和关键工艺开展了研究。测试结果表明：140 GHz次谐波混频器单边带转换损耗为26 dB,140 GHz带通滤波器的带内插损为8 dB,V波段毫米波本振倍频源最大输出功率大于50 mW（63.2 GHz~67.2 GHz）。     

序 言——加强太赫兹科学技术基础和应用研究

太赫兹(Tera-Hertz,THz)波是指频率在0.1 THz~10 THz(波长在3 mm～30 μm)范围内的电磁波,该频段介于毫米波与远红外光之间,是一个人类尚未充分认知和利用的频段。同微波相比,亚太赫兹和太赫兹波具有高出l~4个数量级的带宽,同光波相比,太赫兹波具有更高的能量转换效率和烟雾穿透能力,因此太赫兹波作为通信和雷达的新手段,可以极大地提高通信系统的容量和雷达的分辨率,以及保密性和抗干扰抗截获性能等。太赫兹波具有比X射线更低的能级和对非金属材料的穿透性,可以广泛应用于医学成像、安检、材料检测与结构分析、特殊过程测量等领域。     

一种具有宽带宽角特性的改进型准八木天线

准八木天线是由巴伦、辐射单元和引向器构成的一种微带天线,文中提出了一种具有宽带、宽角特性的改进型准八木天线。通过CST仿真分析软件,对振子双臂后折和利用矩形微带贴片对辐射单元进行改进的微带贴片式准八木天线进行仿真分析,仿真和实测结果显示,微带贴片式准八木天线在带宽达到40%频带内（8 GHz～12 GHz）,驻波比（VSWR）≤2,3 dB的波束宽度均能达到120°以上。     

光电转换安全点火装置的研制

为了跟踪国外先进引信技术和引信装备的发展,有效提高武器系统的安全性,研制了一种新型的光电转换安全点火装置。对其工作原理和相关关键部件的工作机理进行介绍,分析该装置涉及的关键技术(光电转换储能技术、半导体桥(SCB)点火技术、光密码信息传输控制技术和光电密码点火控制技术),给出了光电转换安全点火装置的原理样机以及相关的技术指标(激光器功率为700 mW;电容储能为12 mJ;充电时间为7 s;SCB作用时间为3μs～12μs;SCB点火能量为1 mJ～2 mJ)。实验结果证明该装置的安全性能很高,可以有效地提高武器装备整体的安全性能。     

MEMS开关供电线及过孔对微带贴片天线性能的影响

采用数值分析研究了微电子机械系统(MEMS)开关直流供电线及接地过孔对微带贴片天线性能的影响.研究表明,当MEMS开关应用于天线辐射部分时,MEMS开关的直流供电线和接地过孔对天线的匹配频带有较大影响,而且金属过孔的影响较直流供电线的影响更大.因此若采用金属条等效MEMS开关研究可重构天线时,应适当调整微带贴片天线的电...     

高精度橡胶垫圈加工锪钻的改进设计

<正>在生产中经常遇到小批量、高精度、小厚度橡胶垫圈的加工,其上孔的外径加工通常为:划线钳工划线、钳工按划线位置用锪钻钻铰孔。橡胶具有弹性大(橡胶延伸率可达300%),强度小、软化温度低(<120℃),导热性差等特点。这种方式在橡胶零件     

微惯性测量单元的误差整机标定和补偿

提出了微惯性测量单元(MIMU)在高动态、高过载复杂应用条件下的误差整机标定和补偿方法.首先,建立了高动态,高过载复杂应用条件下MIMU的误差模型,该模型包括了结构误差,传感器安装误差和MEMS惯性传感器在复杂条件对精度影响较大的误差项,指零位温度漂移、互耦误差、刻度因子非线性和微陀螺加速度效应误差;根据模型提出了整机...     

一种全球定位系统弱信号捕获策略

信号捕获是目前广泛应用的数字全球定位系统(GPS)接收机的重要部分,弱信号条件下的信号捕获过程是目前GPS接收机算法研究的重点。本文分析和比较了2种经典捕获检测策略(TONG捕获策略及NM捕获策略)的性能,并针对弱信号条件下GPS信号捕获的特点,提出了一种适用于弱信号条件下的捕获检测策略—双门限搜索检测策略。理论分析和仿真说明该策略在弱信号条件下具有较好的性能。