二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解

硅微电容式加速度传感器具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点 ,在军民两用市场中有着广泛的应用前景。本文针对自主开发设计的一种带折叠梁的二维叉指电容式硅微加速度传感器 ,采用力法求解了其主轴刚度 ,为进一步研究该二维微加速度传感器的动态响应特性提供了理论依据     

基于传输线的纳秒脉冲成形电路研究

提出了一种脉冲成形和脉冲展宽的方法，在基于理想开关的纳秒脉冲成形电路基础上，使用MOS管代替理想开关，保证MOS管工作在饱和区实现了脉冲成形，分析了MOS开关进入饱和区后在不改变传输线延迟时间的情况下，改变电源电压可以实现脉冲展宽，并通过实验验证了仿真获得的结果。     

TiN/AlN纳米多层膜的调制结构研究

纳米多层膜具有多种物理性能和力学性能的异常效应，其中超模量、超硬度效应为近年来的研究热点之一。本文采用高分辨透射电子显微镜（ＨＲＥＭ）研究了ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米多层膜的微结构并对其力学性能的变化给予解释。ＴｉＮ／ＡｌＮ纳米多层膜采用反应溅射法在日本产Ａ...     

纳米射频CMOS混频器的研究

介绍了混频器的工作原理、性能指标及几种重要的混频器结构。设计了以Gilbert型为核心的双端差分对混频器，使用TSMC的0．18μm CMOS工艺库，本振信号为2．25GHz，射频信号为2．5GHz；借用安捷伦公司的ADS软件模拟，模拟结果变频增益为-10dBm，双边带噪声为58．6dB，输入1dB压缩点为11dBm，同时端口隔离度也比较高。该混频器适用于中高频段的发射机。     

CZT像素阵列核探测器的噪声分析

碲锌镉(CdZnTe)晶体是一种新型核辐射探测材料,在室温探测环境下对X射线及低能量伽玛射线具有较高的探测效率及能量分辨率.运用低噪声快速前放模块,分析晶体内部性能以及前置放大器对探测系统噪声的影响,建立了2×2碲锌镉像素阵列探测系统.实验结果表明,探测系统输出信号噪声小、脉冲无堆积,读出电路电子学噪声得到明显抑制,能...     

W/SiC纳米多层膜的制备及表征

采用多靶磁控溅射制备了 Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜。并用 ＸＲＤ和 ＴＥＭ研究了 Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜的微结构。研究表明,Ｗ／ＳｉＣ纳米多层膜的调制结构界面平直、清晰、周期性好;ＳｉＣ调制层为非晶态,Ｗ调制层在大调制周期为纳米晶,并随调制周期减小逐渐转变为非晶态。     

基于自由空间光学的光机电混合集成技术

随着微加工技术和微分析技术的发展,人们已经可以把大型的机电系统或者光学系统微型化并进行某种程度的集成.但是,由于光学元件和光学系统对微结构的材料性能、几何尺寸和表面质量等都有极为苛刻的要求,光学系统特别是自由空间光学系统的微型化仍然面临巨大的技术挑战.提出一种基于表面压印和三维铸模技术的自由空间光学系统集成技术,该技术解决了光学元件的微型化及层内和层间的光学互联;在此基础上,结合MEMS技术、印刷电路(PCB)和表面贴装(SMD)技术实现了片上的光机电混合集成.