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碱性抛光液对铜布线电特性的影响 总被引:5,自引:5,他引:0
随着互连电路的规模发展到亚微米级,互连延迟已经成为超过门延迟的重要因素。减小延迟在互连结构中是不可避免的问题。化学机械抛光是最适合在多层铜互连结构中达到平整化目的的手段。出于对整体过程的考虑,我们将考察化学机械抛光对铜晶圆片电特性的影响。在这篇文章中,我们将考察两种抛光液在化学机械抛光中的影响,一种抛光液是酸性抛光液,来自于SVTC,另一种是碱性抛光液,由河北工业大学提供的。着重考察了三个方面的特性,电阻,电容和漏电流。电阻测试结果显示,河北工业大学提供的抛光液抛光后,电阻更小。而被两种抛光液抛光后的电容则相差不多,电容值分别为1.2 E-10F 和1.0 E-10F。同样,河北工业大学提供的抛光液抛光后的漏电流是1.0E-11A,低于SVTC提供的酸性抛光液。结果显示,河北工业大学提供的碱性抛光液会产生小的碟形坑和氧化物损失,优于SVTC提供的酸性抛光液。 相似文献
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纳米二氧化硅抛光液对低k材料聚酰亚胺的影响 总被引:2,自引:2,他引:0
以3英寸的P型〈111〉硅片为衬底,经过旋涂固化制备低介电常数(低k)材料聚酰亚胺。对聚酰亚胺进行化学机械抛光(CMP),考察实验前后,纳米二氧化硅抛光液对低k材料的结构和介电常数。实验中应用了2种纳米二氧化硅抛光液:一种是传统的铜抛光液;另一种为新型的阻挡层抛光液。通过扫描电镜(SEM)和介电常数测试结果显示,2种抛光液对低k材料,不论是在结构还是电特性方面的影响都不大。经铜抛光液抛光后,k值从最初的3.0变到3.08;经阻挡层抛光液抛光后,k值从最初的3.0变到3.28。实践证明,这两种纳米二氧化硅抛光液可以应用于集成电路。 相似文献
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为改善冷藏陈列柜性能,降低柜内食品温度,抑制融霜期间食品温度的回升,利用热管的高导热性和相变材料的蓄冷特性,将冷藏陈列柜的搁架设计成由热管和相变材料构成的复合式搁架。通过实验研究填充三种相变材料(RT3、RT4、RT5)的搁架的传热和蓄冷特性以及对冷藏陈列柜中食品包温度的影响。实验结果显示:相比未改进的搁架,填充RT3的复合搁架上食品包温度降低13.7%~80%,温升减小53.3%~70%;填充RT4的复合搁架上食品包温度降低20%~83.3%,温升减小83.3%~87.5%;填充RT5的复合搁架上食品包温度回升减小66.7%~75%。三种复合搁架相比较,填充RT4的复合搁架上各层、各排食品包平均温度最低,均在5 ℃以内,因此RT4相变材料蓄冷效果最好。 相似文献
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我国北方大部分城市的集中供热系统均采用枝状管网设计.众所周知,枝状管网虽然设计简单,运行管理方便,但与环状管网相比,具有后备能力不足、管网可靠度低等缺点.尤其是后者,每年因为枝状管网某处发生管道破裂,阀门损坏而导致停暖的事故时有发生,严重影响严寒地区人民的生活和社会的安定.因此,在枝状管网设计之初以及对既有管网进行可靠度评价,防患于未然则显得尤为重要.在原热网可靠度评价函数计算表达式的基础上,分析了评价函数与系统状态的关系,并对其进行修正.然后结合乌鲁木齐市某热力公司一次热网系统及其管网检修和事故调查记录,统计得出该热力公司一次网的管道故障率和阀门故障率,并分析其一次管网的可靠度. 相似文献
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认真分析宋懋澄<九籥集>中的<刘东山>,对正确评定宋懋澄在文言小说史上的地位,重新认识晚明文言小说的价值都很重要.小说提出的训诫意味,强调侠在凶险的江湖之上时时面临的生存危机,武技高超者更应学会韬晦自保,切莫恃力炫技及其"输技退隐"的价值趋向,不仅对武林"赌技服人"较技规则的形成影响甚大,亦对侠与江湖的关系提出了严肃思考. 相似文献
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