光刻过程RtR控制方法研究进展分析

首先对光刻过程和RtR(Run-to-Run)控制技术的产生背景进行了介绍,对统计过程控制的不足进行了分析并给出了RtR控制器的一般结构。然后从过程建模和控制算法两个角度对三种主要的光刻过程RtR控制器EWMA,MPC和ANN进行了综述和评价,对这三种控制器在非线性控制、单变量控制、多变量控制的适用性和优化控制效果进行了比较分析。最后指出基于MPC的非线性多变量控制器将成为光刻过程RtR控制器的主要研究方向。     

十年丝业工作之回顾

十年丝业工作之回顾胡为荩南充的蚕丝业，在１９３０年前曾一度有蓬勃的发展。原因是清末以来，海禁大开，生丝畅销欧美。尤其是美国消费数量逐年增加。同时，国内的丝绸也不断畅销起来。南充多年来是生丝原料蚕茧的丰产区域，蚕桑具有悠久的历纪和良好的基础。故大富业者...     

一种改进的嵌入式零树小波编码方法

文中详细介绍了嵌入式零树小波编码,并分析了嵌入式零树小波编码的不足。针对其不足,提出了一种改进的编码方法。最后通过MATLAB7.0实验仿真,实验结果证明了改进算法的有效性。     

基于EKF的异步电机转速和负载转矩估计

合理选择电机的容量具有重要的意义,电机的容量可根据电机的转速和负载转矩确定,将电机的转速和负载转矩同时作为系统的状态,提出了一种基于EKF同时估计异步电机转速和负载转矩的方法,建立了包含异步电机转速和负载转矩状态的系统模型,基于该模型用EKF实现了同时估计异步电机转速和负载转矩,仿真和实验验证了所提方法能以较高的精度同时估计出电机的转速和负载转矩.     

基于神经网络的CMP过程智能R2R预测控制

针对化学机械研磨(CMP)过程非线性、时变和不易在线测量的特性,提出了基于径向基函数(RBF)神经网络和微粒群(PSO)算法的CMP过程run-to-run(R2R)预测控制器NNPR2R。首先通过样本数据用减聚类算法和最小二乘法构建CMP过程的RBF神经网络预测模型,解决了复杂CMP过程难以建立精确数学模型的难题和提高了预测模型的精度。然后通过PSO算法滚动优化求取控制律,解决了基于导数的优化技术易于陷入局部最优的问题并提高了控制精度。仿真结果表明,CMP过程NNPR2R控制器的性能优于常规的EWMA方法,有效抑制了过程漂移和减小了不同批次间产品的差异,显著降低了材料去除率(MRR)的均方根误差。     

基于LS-SVM的光刻过程R2R预测控制方法

针对光刻过程非线性、时变和产品质量不易在线测量的特性,提出了一种基于最小二乘支持向量机预测模型和微粒群滚动优化方法的批次控制预测控制器。通过历史批次样本数据构建光刻过程的最小二乘支持向量机预测模型,解决了复杂光刻过程难以建立精确数学模型的难题,提高了预测模型的精度。通过预测误差的反馈校正和微粒群滚动优化算法求解最优控制律,提高了控制精度。性能分析结果表明,与指数加权移动平均方法及非线性模型预测控制方法相比较,批次控制预测控制器控制器减小了不同批次关键尺寸输出的差异,显著降低了关键尺寸输出的均方根误差,有效抑制了过程扰动影响。     

基于工业无线技术的非侵入式电机故障诊断系统

介绍一种适用于中小型电机的在线监测与故障诊断系统,系统采用无线传感器网络技术构建电机在线监测通信平台,利用非侵入电机电流信号特征分析技术,实现了电机运行状态的在线监测和电机转子断条、匝间短路等典型故障的在线诊断,为中小型电机的在线监测与能源管理提供了一种低成本解决方案。     

电力企业内部营销浅论

电力企业通过提高内部员工的满意度,可以改进对外部客户的服务质量,提高客户满意度。文章通过对内部营销概念的介绍,从营销管理方面展示了内部营销活动的价值和意义。分析了内部营销对于提高企业管理水平,提高企业经济效益具有的重要的作用。针对本企业的特点,提出了提高员工满意度的措施。     

杏林搜索:中医药垂直搜索引擎的设计与实现

随着中医药行业的快速发展,中医药相关数字化资源急剧增加,传统的全文搜索引擎因专业性不够强、内容繁多等问题导致用户无法快速方便地找到所需信息.为此,设计并实现了一款面向中医药领域的垂直搜索引擎具有重要的意义和价值.采用Heritrix与Lucene等技术构建中医药垂直搜索引擎——杏林搜索,重点介绍了杏林搜索的设计与实现,包括网络爬虫模块、网页解析模块、索引库和Web端等.实际应用效果表明,杏林搜索可以为用户提供更加快速、专业的中医药资源检索服务.     

单臂集束型装备随机Petri网模型与性能分析

针对因集束型装备配置非常灵活,运行模式多样造成的对装备性能分析困难的问题,提出一种用随机Petri网对集束型装备的运行过程进行建模,分析模型,计算装备性能的方法.利用工具Visual Object Net＋＋验证模型的可达性,活性,有界性.采用马尔可夫过程方法分析模型和计算性能.结果表明：该模型不仅可表现集束型装备的并发性,而且能表示出装备运转活动持续的随机的时间特性.与赋时Petri网模型相比,该方法更能反映装备实际加工过程.