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为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区间内动齿的静电力并与有限元模拟计算结果进行了对比分析。采用微机电系统(MEMS)工艺制作出了无交叠梳齿驱动器,搭建了Michelson干涉仪光学测试系统,测试了无交叠梳齿驱动器的静态驱动特性。实验结果表明,所制作的无交叠梳齿驱动器在28V偏压下机械位移可达325nm,相位差为2π;在90V的偏压下能够获得2.07μm静态位移。测试结果与保角变换及有限元模型分析结果一致,验证了所建数学模型的正确性,为无交叠梳齿驱动器的设计提供了理论与实验基础。 相似文献
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为了把宝钢炼钢厂300 t转炉的氧流量由60 000 提高到69 000 m3/h,设计了6孔双角度氧枪喷头。根据第一个双角度喷头的试验结果,结合实验室内进行的氧枪喷头射流流场测定、射流与熔池作用的水模研究,对喷头设计进行了改进。为制定正确的供氧制度和喷头设计,对宝钢一炼钢的管道压力损失进行了测定。经过优化的3号6孔双角度喷头的主要参数为,氧流出口马赫数Ma≥2.1,小角度喷孔的氧流量不低于总供氧流量的57%,大角度喷孔夹角不小于13°,小角度喷孔夹角为10°左右。利用3号6孔喷头炼钢效果为,氧流量为69 000 m3/h,吹氧时间平均缩短2.0 min/炉,脱磷率平均为87.5%,氧枪喷头寿命平均为190次。通过这次研究工作掌握了大型转炉高供氧强度3.833 m3/(t·min)吹炼的双角度6孔喷头设计制作和吹炼操作技术。 相似文献
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吴亚明 《功能材料与器件学报》2013,(3):119-123
0引言MEMS技术与光学技术的结合被称为光学MEMS(Optical MEMS),也称为MOEMS(MOEMS:Micro Opto-Electro-Mechanical System),是MEMS技术的一个重要分支。光学MEMS技术在上世纪80年代左右开始起步,至今发展已经有三十多年的历史,其技术应用主要分为光学执行器、光学传感器、光学加工制造三类。1光学MEMS技术带来的新机遇MEMS技术与光学的结合,为光学技术的发展带来了新的发展动力和机遇,一大批新器件、新制造技术推动了光学技术的快速发展。光学MEMS执 相似文献
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应用苯并环丁烯(BCB)材料对硅片和玻璃片进行了250℃下的圆片级低温键合实验,同时进行了300℃下的硅片与玻璃片阳极键合实验,并对其气密性和剪切力特性进行了对比研究.测试结果表明:在250℃的低温键合条件下,经过500kPa He气保压2h,BCB封装后样品的气密性达到(5.5±0.5)×10-4Pa cc/s He;剪切力在9.0~13.4 MPa之间,达到了封装工艺要求;封装成品率达到100%.这表明应用BCB材料键合是一种有效的圆片级低温气密性封装方法.还根据渗流模型理论,讨论了简易模型下气密性(即渗流率)和器件腔体边缘到划片边缘的间距的关系. 相似文献
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提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEMS磁传感器样品,并进行了测试。测试结果表明:得到的MEMS磁传感器的电容灵敏度可达到27.7 fF/mT,且具有良好的线性度。根据现有的微小电容检测技术,传感器的磁场分辨率可达到36 nT。 相似文献
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吴亚明 《新安全 东方消防》2002,(8):20-22
台湾“华航”一架波音747-200客机5月25日坠落澎湖外海,225名乘客和机组人员无一生还,其中包括9名大陆乘客,事后,海峡两岸有关方面竭尽全力搜救,但仍有许多罹难者的遗体没有寻获。空难给许许多多的家庭造成了难以抹来的伤痛,也给许许多多的旅行者心头投下了挥之不去的阴影。与此同时,人们也一直在探究“华航”空难的原因。 相似文献