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41.
一种新结构硅微机械压阻加速度计 总被引:6,自引:3,他引:3
设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计.器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形.比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率.微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压.力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号.5 V条件下,灵敏度为14.80 mV/g,谐振频率为994 Hz,分别是传统结构压阻加速度计的2.487倍和2.485倍.加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺. 相似文献
42.
为给某核动力大型设备支撑结构的抗冲击设计提供试验依据,确保其抗冲击能力满足相关规范要求,需选用该大型设备及其支撑结构缩比模型作为抗冲击技术研究对象,在标准中型冲击机上进行冲击试验。依据π定理对该大型设备支撑结构缩比模型抗冲击试验进行理论分析,获得3种可以选用的试验工况;通过改变缩比模型加速度值使得缩比模型的支撑结构根部最大应力强度与原型达到一致,解决了π定理推导中的试验条件难题。本研究建立的分析方法可为大型设备的支撑结构冲击机缩比试验提供参考。 相似文献
43.
通过对其概念的重新解读,举例分析了城市居住区外部空间中过渡空间的可能存在形式,阐述了其对优化居住区空间环境的意义。 相似文献
44.
6月28日,在全国创先争优总结表彰大会上,江苏泰州供电公司荣膺“全国创先争优先进基层党组织”。 相似文献
45.
46.
FTTx是未来固定宽带接入的发展方向。随着市场需求、建设成本、国家政策等各方面因素的推动,我国FTTx用户获得了快速发展。EPON和GPON是实现FTTx的两种主要技术。与GPON相比,EPON具有产业链更完整成本更低的优点,近年来国内运营商主要采用EPON技术来实现FTTx。北京联通在前几年主要采用FTTB方式,FTTH已成为当今主流的应用模式。从2005年至今,北京联通在EPON实际应用中遇到了一些问题并采取了相应解决办法。未来xPON将向10Gbit/s更高速发展,容量和分光比进一步提高,单位成本进一步降低,FTTH将引发一场全球性技术革命。 相似文献
47.
48.
网络中流媒体关键技术研究 总被引:3,自引:0,他引:3
流媒体技术是在数据网络上以流的方式传输多媒体信息的技术。随着宽带网络的发展,流媒体技术的相关应用必将成为未来高速网络的主流应用之一。本就流媒体的一些关键技术、机制和相关协议等方面做了较为详细的介绍。 相似文献
49.
设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺。陀螺用静电来驱动,用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测。主梁、微梁 质量块结构实现了高灵敏度。比较硬的主梁提供了一定的机械强度,并且提供了高共振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻应变计就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号。5V条件下,陀螺检测部分的理论灵敏度达到27.45mV/gn。压阻式四端器件用来监测驱动振幅,可以反馈补偿压阻的温度系数。检测模态的Q值达260使陀螺能在大气下工作。陀螺利用普通的n型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。 相似文献
50.