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三维表面粗糙度测量方法综述 总被引:1,自引:0,他引:1
表面粗糙度测量是评估零件表面特性的重要手段。经过二十多年的发展,三维表面粗糙度逐渐成为反映工件表面特性的重要指标。本文总结并比较了多种三维表面粗糙度的测量方法及特点,根据测量过程是否接触被测表面,将三维表面粗糙度测量方法分为接触式测量法与非接触式测量法。接触式测量法主要包括触针扫描法;非接触式测量法主要包括光学法(相移干涉显微法、相干扫描干涉法、数字全息法、共聚焦显微法、共聚焦色差显微法、点自动对焦法、变焦法、激光三角法和光切法)和电镜法(扫描电子显微法、扫描隧道显微法、扫描近场光学显微法和原子力显微法)。针对每种测量方法的发展现状,本文讨论了其适用范围及局限性,并指出未来的发展方向。 相似文献
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针对目前广泛使用的钢材质,为考察进给速度、切削模式、冷却方式对其机加工表面粗糙度的影响,基于正交试验进行优化研究,对三个影响因素分别选取三个水平、设计正交表,根据OA展开试验并记录试验结果,进而经过极差分析确定出表面粗糙度最小的组合切削参数,并进行验证试验,最后证明了研究的意义,确定了所考察对象对表面粗糙度的影响规律,为以后的切削加工提供了有利的参考。 相似文献
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为实现铜互连阻挡层化学机械抛光的高平坦化,研究了阻挡层抛光液中表面活性剂的作用。在抛光液中分别添加非离子型表面活性剂异辛醇聚氧乙烯醚(JFC-E)、本课题组研发的Ⅱ型活性剂以及复合表面活性剂,研究其对阻挡层CMP中铜和正硅酸乙酯(TEOS)去除速率及一致性的影响。实验结果表明,表面活性剂不仅可以改善Cu和TEOS的去除速率一致性和晶圆全局一致性,还可以降低铜表面的粗糙度,通过复配两种不同的表面活性剂,可以提高Cu和TEOS的去除速率,使Cu和TEOS的剩余厚度片内非均匀性(WIWNU)分别降低至1.39%和1.38%,铜表面粗糙度从5.25 nm降至1.51 nm。基于实验结果,研究并提出了表面活性剂影响抛光液润湿性,从而改善片内非均匀性和铜表面质量的机理。 相似文献
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几种机械表面处理方法对6013铝合金接头胶接性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
采用砂纸打磨、湿喷砂、纳米化等3种机械处理方法对6013铝合金表面进行处理,测试其粘接剪切强度,并与P2化学表面处理方法的结果进行对比。利用SEM、AFM、接触角测量仪等技术对铝合金表面处理前后的表面微观结构、微观粗糙度、润湿性等特性进行了研究。结果表明,不同的表面处理方法对铝合金接头的胶接性能影响不同。湿喷砂和砂纸打磨方法处理后铝合金接头的胶接性能与P2化学法表处的效果接近。纳米化方法不利于铝合金胶接性能的提高。微观粗糙度对铝合金的粘接性能具有重要影响,粗糙度越大,铝板胶接性能越好。润湿性不是影响胶接性能的关键因素。 相似文献
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以聚醚醚酮(PEEK)复合材料为销样,316不锈钢材料为盘样,在销-盘摩擦磨损试验机上考察了水润滑条件下偶件表面粗糙度对纯PEEK及碳纤维增强PEEK复合材料摩擦学性能的影响,并用光学显微镜观察了PEEK复合材料的磨损表面形貌。结果表明,在水润滑条件下,碳纤维增强PEEK复合材料的耐磨性能明显提高,磨损率比纯PEEK的磨损率降低了4~6倍。当偶件表面粗糙度R_a处于0.08~0.09μm范围内时,PEEK复合材料可以取得较低的磨损率;当偶件表面粗糙度R_a的值过高或者过低时,摩擦磨损机理将发生改变。 相似文献
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输气管道日常管理中缺少对管道内杂质沉积量的预测,使得在实际生产中,输送效率成为确定管道清管周期、评价清管效果的唯一定量指标,具有一定的局限性。为此,根据含杂质沉积管道内流体动力学特点,采用欧拉法建立了输气管道杂质沉积预测模型,以川渝地区输气管线为例,模拟计算了管道内杂质沉积平均厚度、沉积量及含杂质沉积管道当量直径并将一次清管作业实际排污量与模拟结果进行对比,验证了模型。计算得出模拟计算排污量与实际排污量相差47.9m3,并得到了管道输气量和运行压差对杂质沉积量的影响规律:1压差一定时,管道杂质沉积量随输气量增大而降低;2起点压力一定时,管道杂质沉积量随压差增大而增大。 相似文献
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