模型化测量方法在加速度计摆片参数测量中的应用

传感器制造及校准中，加速度计摆片中的转动惯量Ｊ、阻尼系数Ｄ和挠性梁弹性系数Ｋｃ是经常要测定的量。文中探讨采用模型化测量方法来获得这几个参数。从理论上进行了证明并对测量中的一些问题进行了讨论。     

压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用单梁加质量块的形式,这种形式的传感器灵敏度比较高,但它的横向效应较难克服,文中提出一种四梁结构的加速度传感器,通过仿真计算,说明该结构的加速度传感器具有良好的综合特性.     

一种高分辨率电容微加速度计的设计研究

分析了影响加速度计分辨率的因素,在此基础上,通过采用深度反应离子刻蚀工艺获得大的敏感质量和小的电极间隙、采用电容变化量比枝齿梳状敏感结构大一倍的直齿梳状敏感结构和利用静电负刚度来降低结构的刚度等措施提高器件分辨率。最后给出了一种新的设计方案,叙述了其工作原理并分析了影响其闭环灵敏度的因素。     

高g值加速度传感器频率校准特性的研究

采用冲击比较校准的方法对高g值压电加速度传感器进行频率校准，将标准传感器的输出作为被校传感器的输入．被校传感器的输出作为输出，根据输入输出关系得到被校传感器的传递函数，进而得到传感器的频响特性。     

高g值高频响微机械加速度计研究

针对侵彻武器测试过程中冲击过载大和频率范围宽的特点,提出了一种微机械电容式加速度计结构,结构中采用分布在整个芯片上的小电容阵列来代替位于中间的单个大电容器.利用ANSYS对加速度计进行了仿真分析,得出加速度计的固有频率超过600 kHz,抗过载能力超过200 000 g,且电容变化量大,灵敏度高.文中还给出了加速度计芯片的加工工艺流程和接口电路.     

多功能惯性器件及其加速度计部分的实验分析

既能感测载体的角运动，又能感测其线加速度的多功能惯性器件是惯性技术界十分感兴趣的。对于大角速率动调陀螺仪．若把压电敏感元件安装在陀螺仪限动器上，可构成大角速率多功能惯性器件。利用大角速率动调陀螺仪陀螺电机中特有的信号检测线圈，便于加速度信号的拾取。该文介绍了器件的工作原理、信号检测与处理及在不考虑陀螺仪部分时，线加速度计的测试结果。利用两个这种器件，即可构成满足大机动捷联惯导系统要求的惯性测量部件。     

水库大坝地震监测系统(一)系统设计与应用

根据水库大坝地震观测的需要,设计了一套水库大坝地震监测系统.详细介绍了该套地震监测系统的结构及系统中仪器的设计原理,并描述了密云水库地震监测系统的布置方案以及在新疆获取的实际地震记录,证明了该地震监测系统的可靠性.     

DSU与DSU采集链

文章介绍了超精度的新型地震传感器DSU，它由微机电系统(MEMS)和兼有模拟电路和24位△—∑数字电路的混合器件(ASIC)组成，其失真度可达0．0032％，响应频带0～800Hz。DSU采集链使采集站、大线和检波器合为一体，既消除了电磁干扰和道间串音，又提高了采集数据的精度。DSU及DSU采集链的应用将为地震采集技术向超精度发展提供可靠保证。     

线加速度计的现状与发展趋势综述

讨论了线加速度计的基本原理、特点和主要技术性能指标,介绍了国内外的研制情况,并讨论了线加速度计未来的发展趋势.     

基于谐振原理的硅微机械加速度计

基于力学振动原理 ,导出敏感梁类谐振振动的微分方程 ,给出了振梁型加速度计的设计原理。指出了加速度计谐振梁频率的相对变化量与梁的厚度无关 ;为避免输出非线性频率信号 ,频率的相对变化率和激励振动的振幅都不宜太大