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针对高灵敏度无源加速度计的集成制造需求,提出一种d31工作模式下四悬臂梁集成拾振微球的MEMS压电加速度计敏感结构。建立动力学振动和拾振理论模型,并使用COMSOL 5.0软件对传感器件结构进行建模仿真,通过优化确定满足拾振条件的微器件几何尺寸和结构。利用溶胶凝胶方法实现硅基高品质PZT压电薄膜的异质集成制造,使用MEMS工艺制造微器件并完成传感器的集成和组装。测试结果表明:该加速度计的输入加速度与输出电压的关系为V=1.881a-0.033,电压灵敏度在1 152 Hz时达到13.8 mV/g,表现出良好的灵敏度、线性度和抗干扰能力;新方法具有正确性和工艺方法的可行性,为高性能加速度传感器件提供了一种新的技术途径。 相似文献
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京津城际延伸线终点站交通枢纽工程——天津滨海新区于家堡车站屋盖是大跨度双螺旋单层网壳结构,南北向跨度为144m,东西向跨度为81m,矢高为25m,其建筑外观为贝壳形状,焊接箱形杆件呈空间双螺旋交织布置,双向各有36根,共72根螺旋线构成非规则的空间曲面造型,是目前国内跨度最大的单层网壳结构.本文结合于家堡单层网壳结构,介绍其设计技术参数,重点分析风荷载、雪荷载、温度作用等荷载的分布和取值,并对单层网壳结构的静力性能和稳定性进行了分析.分析结果表明,于家堡大跨度双螺旋网壳结构的强度及位移均满足设计要求,结构体系合理,具有良好的力学性能.本文为于家堡单层网壳结构深化设计提供基础,为大跨度、非规则单层网壳结构设计提供参考. 相似文献
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据Maxwell方程及电磁波在界面上的边界条件,采用Math CAD软件对1064 nm基频光在二阶非线性介质中的传播进行Maker条纹模拟,得到二阶非线性介质中产生532nm倍频光的强度模拟公式。同时对倍频晶体材料、电场/温度场极化后玻璃的实验Maker条纹测试结果与理论结果进行比较。结果表明:倍频晶体的Maker测量结果与模拟相吻合;对电场/温度场极化玻璃样品的模拟结果,在一定范围内与测量结果相一致。理论模拟可对样品制备、Maker条纹测试及二阶非线性极化机理探讨具有一定的指导意义。 相似文献
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过氧乙酸具有较高的氧化电位,被认为是环保型氧化剂。以过氧乙酸为主剂,用于棉及其混纺织物短流程前处理,系统地研究了pH值、浓度、时间和温度等对前处理效果的影响,通过正交试验来优化工艺条件,获得了较满意的前处理效果。 相似文献
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针对温度监测外部电源限制寻找一种柔性自供电、响应时间快、具有长期循环稳定性的温度传感器件具有重要的实际应用价值.介绍了一种基于摩擦机制的接触分离式自供电温度传感器制备方法.利用聚偏氟乙烯(PVDF)的热释电性增强摩擦层接触表面的电荷密度, PVDF表面Ag电极被用作底部电极层和摩擦层.聚四氟乙烯(PTFE)作为顶部摩擦层其与顶部电极导电铜箔相连接.将中空结构的间隔层(Kapton)置于PTFE膜和Ag电极之间形成空腔结构;研究结果表明,在295~335 K温度范围内,传感器输出电压随温度增加呈线性增加,并且其温度响应时间大约为0.1 s,灵敏度为0.25 V/K, 5 500次周期性接触分离循环仍具有优异的稳定性.该摩擦发电机在安全监测,自供电温度传感方面具有潜在应用价值. 相似文献