d31模式四悬臂梁压电MEMS加速度计

针对高灵敏度无源加速度计的集成制造需求,提出一种d₃₁工作模式下四悬臂梁集成拾振微球的MEMS压电加速度计敏感结构。建立动力学振动和拾振理论模型,并使用COMSOL 5.0软件对传感器件结构进行建模仿真,通过优化确定满足拾振条件的微器件几何尺寸和结构。利用溶胶凝胶方法实现硅基高品质PZT压电薄膜的异质集成制造,使用MEMS工艺制造微器件并完成传感器的集成和组装。测试结果表明：该加速度计的输入加速度与输出电压的关系为V=1.881a-0.033,电压灵敏度在1 152 Hz时达到13.8 mV/g,表现出良好的灵敏度、线性度和抗干扰能力;新方法具有正确性和工艺方法的可行性,为高性能加速度传感器件提供了一种新的技术途径。     

60t增压型钢筋挤压机液压系统的设计

钢筋挤压连接技术是一种粗钢筋连接的新技术新方法.增压型钢筋挤压连接系统代替原来的超高压系统,其突出优点是减少了挤压设备的重量、减小了劳动强度和加快了施工速度.     

PLZT反铁电厚膜温度场致相变行为研究

在空间通信领域,激光通信的应用愈加广泛,而其应用较多的机械式驱动构件存在偏转系统不稳定、响应时间长、精度偏低等缺点。针对此现状,研究了PLZT反铁电厚膜在外场激励作用下的相变行为特性,以期得到在满足基本要求的前提下获得更快响应速度的驱动构件。本文是对PLZT反铁电厚膜在温度场致相变行为的研究。     

原子层沉积制备氮化钛薄膜及其表征北大核心

宽禁带半导体TiN作为扩散阻挡层以及场效应管的门电极在集成电路中发挥重要作用。通过原子层沉积（atomic layer deposition,ALD）技术沉积不同循环次数TiN薄膜,采用四探针测试仪、台阶仪、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）对薄膜进行了表征,确定了薄膜电阻率、生长速率、表面粗糙度与工艺条件的依赖关系。实验结果表明,ALD可实现膜厚精确控制、大面积均匀性优异、电阻率较小的薄膜制造,沉积薄膜的最小粗糙度为0．101nm,电阻率为5μΩ·cm,薄膜稳定生长速率为0．025nm／cycle。     

轴承座的有限元分析

轴承是机械装备中一种重要零部件,在工作中可以承受多种综合载荷,其强度、刚度、动态特性及加工制造和装配精度,决定着设备回转件的运行精度和服务寿命,对机械设备至关重要.本文以工程机械用某型变速箱为研究对象,利用计算机辅助分析软件ansys,分析了该型变速箱传动轴轴承座的强度特性,得到了变速箱轴承座应力分布状况,为改善设计提供有意义参考.     

20T锻造操作机钳杆虚拟样机的仿真研究

锻造操作机主要用来夹持锻件并对其进行送进、旋转、升降等操作,配合锻造主机完成锻造任务.本文对钳杆旋转结构进行研究,并建立了满足控制要求的钳杆旋转机械模型与电比例泵控液压控制系统的模型.最后对基于虚拟样机的锻造操作机钳杆机液系统进行联合仿真分析.     

硫酸化焙烧——水浸法从镍精矿中同步提取金属及矿相转化（英文）

提出低温NH₄HSO₄焙烧—水浸工艺从金川镍精矿中同步提取Ni、Cu和Co,并系统研究硫酸化焙烧和水浸出过程中一些因素对金属提取的影响。结果表明,在优化的焙烧和水浸条件下,95.7%Ni、98.9%Cu和96.8%Co被提取。利用TG-DTA、XRD、SEM和EDS等手段分析矿相的转化机理,在NH₄HSO₄及其分解的SO₃和NH3的硫酸化反应下,有价金属被转化为水溶性金属—铵配合物从而得到有效的提取。通过提高浸出温度使铁离子与铵离子结合形成NH₄[Fe₃(SO₄)₂(OH)₆]沉淀可除去浸出液中的杂质铁。在焙烧过程中收集的挥发物为(NH₄)₂SO₄和(NH₄)₂SO₃,可用作硫酸化焙烧的试剂。     

轧机垂直振动三倍频颤振的分析与研究

基于轧机的实际振动情况,建立了轧机工作辊的单自由度模型,对三倍频颤振进行了分析仿真.根据轧制界面的受力,通过引起负阻尼的公式得出了速度对三倍频颤振的抑制方法.     

单环滑车的数字化建模与设计

对单环滑车的结构进行了分析研究.建立单环滑车的数字化模型,应用参数化特征建模技术完成单环滑车零件的数字化设计.以数据库技术为支撑,采用了面向对象技术、模块化设计技术、技术文件管理技术、特征参数化建模技术等.以PTC公司的CAD/CAM软件Pro/Engineer为开发平台,应用其二次开发工具模块Pro/Toolkit,...