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81.
82.
宽禁带半导体TiN作为扩散阻挡层以及场效应管的门电极在集成电路中发挥重要作用。通过原子层沉积(atomic layer deposition,ALD)技术沉积不同循环次数TiN薄膜,采用四探针测试仪、台阶仪、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对薄膜进行了表征,确定了薄膜电阻率、生长速率、表面粗糙度与工艺条件的依赖关系。实验结果表明,ALD可实现膜厚精确控制、大面积均匀性优异、电阻率较小的薄膜制造,沉积薄膜的最小粗糙度为0.101nm,电阻率为5μΩ·cm,薄膜稳定生长速率为0.025nm/cycle。 相似文献
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柔性压力传感器因其在可穿戴设备和人机交互界面中的潜在应用而备受关注.特别是在实际应用中,人们对具有高灵敏度、宽测量范围和低成本的压力传感器有很大需求.基于此,我们研制出了一种测量范围宽的超灵敏压力传感器.该传感器是以碳纳米管(CNT)均匀溶液直接喷在纸表面作为敏感材料,用光刻技术制成的叉指电极为结构.由于CNT大的比表面积、纸的多孔结构以及CNT与叉指电极有效接触的协同作用,压力传感器实现了从0到140 kPa的宽测量范围,并在15,000个测试周期内表现出良好的稳定性.对于纸基碳纳米管薄膜/叉指状结构(PCI)压力传感器,敏感材料与叉指电极之间的连接区域在较小的压力范围内占主导地位,而敏感材料的内部变化在大的压力区域起主导作用.此外PCI压力传感器不仅具有2.72 kPa-1(直到35 kPa)的高灵敏度,还可以检测小重量,如一颗绿豆(约8 Pa).当压力传感器贴附到人体表面时,可以监测生理信号,如手腕运动、脉搏跳动和语音识别.此外,压力传感器的阵列能够识别空间压力分布,有望实际应用于人机交互界面. 相似文献
84.
针对当前新兴产业计量校准服务资源分散、服务信息不透明、智能化程度偏低等问题,提出一种基于大数据的计量校准服务平台。基于计量校准资源共享和进出机制,整合集成服务主体、服务对象、服务支撑等计量校准资源,建立全国计量校准服务资源池。在给出平台系统架构的基础上,利用智能评估与故障预测技术、大数据挖掘可视化等技术,构建面向新兴产业发展的计量校准服务平台,为产业提供一站式、标准化、可靠、及时的计量校准服务,提升产业服务智能化水平。建立“服务平台+标准体系+技术措施+创新中心”于一体的技术支撑体系,提升计量校准服务效率和竞争力,促进产业计量校准覆盖研制、生产、试验和使用等全过程,实现产品质量提升和全过程安全管控。 相似文献
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修建 《中国信息技术教育》2020,(9):32-34
信息技术学科以落实"大单元整体学习"为指导,以提升学生核心素养为核心,深入开展课程研究、教学探索,促进学生学习真实发生。笔者以《人工智能与信息社会》为例,系统阐释大单元整体学习设计的思路及依据,试图为大单元整体学习实践的有效落实提供参考。《人工智能与信息社会》大单元来自271集团初中信息技术校本化教材,以中小学人工智能教育目标“在小学和初中要让学生了解什么是人工智能,体验人工智能在生活中的应用”为导向,进行课程的设置、开设。 相似文献
86.
基于动力学模型约束的空间目标精确跟踪算法研究 总被引:1,自引:0,他引:1
空间目标监视必须要解决的关键核心问题之一是对目标运动轨迹进行快速、准确地预报,然而空间目标运动轨迹准确预报需要高精度的预报初值点作为前提,对空间目标数据进行滤波处理可以降低随机误差的影响提高数据精度,但还很难达到空间目标高精度轨迹预报的要求.为此,论文从空间目标运动特性出发,利用空间目标动力学方程对状态方程进行实时约束,建立了基于动力学模型约束的空间目标精确跟踪算法,该算法由目标动力学模型实时估计目标加速度,通过将空间目标加速度约束的非线性函数线性化,利用空间目标加速度对状态的实时修正和协方差反馈循环来提高目标跟踪精度,进而获得更高精度的轨迹预报初值点数据. 相似文献
87.
88.
CuInGaSe2薄膜太阳能电池因具有稳定、高效、低成本和环保等特点而受到国内外科学家的重视.采用Mo/钠钙玻璃衬底为研究电极,饱和甘汞电极(SCE)为参比电极,大面积的铂网电极为辅助电极的三电极体系,在钼/钠钙玻璃衬底上利用电沉积技术制备出太阳能电池用的CuInGaSe2薄膜.分析了不同热处理温度对电沉积制备的CuInGaSe2薄膜的影响,结果表明:当热处理温度为450℃时,所制备的CuInGaSe2薄膜的化学组成接近理想的化学计量比,薄膜具有黄铜矿结构,颗粒均匀和致密性较好. 相似文献
89.
90.
High transparent and conductive thin films of zinc doped tin oxide (ZTO) were deposited on quartz substrates by the radio-frequency (RF) magnetron sputtering using a 12 wt% ZnO doped with 88 wt% SnO2 ceramic target.The effect of substrate temperature on the structural,electrical and optical performances of ZTO films has been studied.X-ray diffraction (XRD) results show that ZTO films possess tetragonal rutile structure with the preferred orientation of (101).The surface morphology and roughness of the films was investigated by the atomic force microscope (AFM).The electrical characteristic (including carrier concentration,Hall mobility and resistivity) and optical transmittance were studied by the Hall tester and UV- VIS,respectively.The highest carrier concentration of -1.144×1020 cm-3 and the Hall mobility of 7.018 cm2(V ·sec)-1 for the film with an average transmittance of about 80.0% in the visible region and the lowest resistivity of 1.116×10-2 Ω·cm were obtained when the ZTO films deposited at 250 oC. 相似文献