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51.
52.
光刻机模拟工作台的精密隔振系统方案设计研究   总被引:5,自引:1,他引:5  
提出了高精密设备光刻机模拟工作平台隔振系统的设计方法和系统结构;根据国内外现行的减振方法,建立了整个模拟工作台的结构模型;根据减振要求,选择了适当的减振器.由于光刻机所处激励环境的复杂性和系统内部存在的非线性,采用了主动控制方法BP神经网络 PID控制的主动控制方法来控制整个减振系统.  相似文献   
53.
采用调节斜坡发生器充电电阻两端电压的方法,本文介绍用这种方法设计的自动扫描电流源的工作原理,功能、具体电路、调试与使用。  相似文献   
54.
本文叙述了一种简单实用的塑料着色用有机颜料着色力的测定方法。  相似文献   
55.
概述了步进扫描光刻机运动系统的结构和开放式数控系统的特点;以PMAC运动控制器为核心,搭建了光刻机隔振试验台。详细分析了其控制系统的硬件结构和部件的选型,介绍了伺服系统PID参数的整定方法,最后讨论了如何利用系统软件实现同步控制要求。  相似文献   
56.
针对城市小区集中三联供系统的监控要求,采用可编程序控制器CP1H(PLC)作为下位机的控制(IPC PLC系统)方案.三联供的冷冻泵、冷却泵、冷却塔风机采用智能PI变频控制,确保设备低耗运行,提高了电气控制系统运行的可靠性,并取得良好的经济效益效益.  相似文献   
57.
为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工件台宏动定位平台的设计和控制问题,根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求,设计了一种H型精密工件台宏动定位系统和同步控制方案。试验结果表明,其各项性能指标均满足设计要求,对指导实际工业应用具有一定的参考价值。  相似文献   
58.
一种通用学习型红外遥控器设计与实现   总被引:6,自引:0,他引:6  
介绍了一种通用学习型红外遥控装置的设计与实现方法,给出了原理图及程序框图,此装置在多媒体中央控制器中使用,获得了令人满意的效果。  相似文献   
59.
介绍了几种常用进口小型PC的功能,对其硬件及指令系统的特点进行了介绍,最后简述了针对这几种PC特的选用原则。  相似文献   
60.
恶意用户通过向数据融合中心发送伪造的频谱感知数据,解决自身频谱资源短缺问题,但会极大地降低频谱感知系统的检测概率。为了解决此问题,提出了基于模糊K means++的数据融合算法。该算法首先引入模糊处理机制处理样本的数据特征值,以此来增加样本间的差异性;然后将模糊处理后的数据发送到融合中心,融合中心采用离群点挖掘的方法排除恶意用户,并对保留下来的用户进行融合,使样本向量具有鲁棒性;最后运用K means++算法对样本向量进行聚类。该算法利用轮盘法选择聚类中心,可有效抵御恶意用户的攻击,提高系统感知性能;无需知晓信号与噪声的分布等一些先验信息,也避免了繁杂的门限推导。从仿真结果可以看出,该算法对抵御恶意用户攻击具有突出的效果,有效提升了协同频谱感知系统的稳定性和鲁棒性。  相似文献   
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