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灰度掩模技术是制作三维微纳结构的有效方法之一,灰度掩模图设计是灰度掩模技术的重要组成部分.目前,在微机械器件制作领域中,通常只给出常用规则形状三维结构对应的灰度掩模图的设计方法,对于任意形状图形的灰度掩模图设计鲜有报道.本文综合灰度光刻技术中的编码原理和有限元法中的铺路法,提出了适合于任意形状图形的灰度掩模图设计算法,解决了误差处理和图形闭合两个关键问题,给出了算法及图形的评价方法,并利用AutoCAD二次开发工具ObjectARX研究了算法的程序实现,构建了灰度掩模图的设计系统.利用该系统设计了多幅常规规则形状和任意形状灰度掩模图,结果表明,该系统可以高效地设计任意形状图形的灰度掩模.研究工作为任意形状图形灰度掩模图的设计提供了一种新方法,可以提高灰度掩模图的设计效率,为三维微纳器件的制作提供技术积累. 相似文献
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针对手机上网免流量的漏洞已影响到企业形象,带来企业收入受损的情况,全面分析漏洞发生的原因,总结湖北移动解决此问题采用的方法,通过现网网元的真实测试与验证,确保漏洞的有效封堵。 相似文献
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本文从LED光源应用于道路照明实际要求出发,对LED路灯的光学系统和灯具的配光要点进行分析,设计出了一种混合型反射罩光学结构,从而说明专业设计将使生活变得更“低碳”。 相似文献
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按照《档案法》规定对馆藏档案进行解密、降密的要求,北京市城建档案馆于1998年4月对馆藏档案进行了建馆以来的首次档案密级鉴定工作。鉴定工作是在市规划局、市规划院、市建筑设 相似文献
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本文提出了程序结构流图的概念,分析了一般程序结构流图的表示及应用方法。程序结构流图概念将在程序结构设计与分析、程序结构转换以及程序正确性验证等领域获得应用。 相似文献
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