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王均涛 《精密制造与自动化》2020,(2):11-15
本文设计了一种晶圆测量系统,主要由大理石基座、测量平台、大理石横梁、上测头机构、下测头机构和一对共焦位移传感器等部件组成;对测量平台、上、下测头支架等结构进行了有限元分析和校核,满足设计要求;并进行了样机重复精度测试,测得THK的重复精度±0.3μm、Warp的重复精度±0.2μm、Bow的重复精度±0.2μm、TTV的重复精度±0.5μm,重复精度完全达到实际测量要求。 相似文献
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4月18日,针对不断成立电商企业一事,娃哈哈集团董事长宗庆后首次回应称,由于大量消费从线下转移到了线上,娃哈哈将打造四个平台进军电商。在娃哈哈电商领域战略布局呼之欲出的背后,与宗庆后曾经认为电商冲击价格体系等言论背道而驰。对此,宗庆后解释称,其实自己并不反对电商,而是反对电商带来的乱象。 相似文献
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2019年12月19日,自适应和智能计算的全球领导者赛灵思公司宣布,赛灵思车规级芯片平台Zynq UltraScale+TM MPSoC正在为百度量产型自主泊车(Automated Valet Parking,AVP)专用车载计算平台ACU-Advanced(Apollo Computing Unit)提供强大动力。同时,百度ACU-Advanced也是业界首款基于赛灵思ZynqUltraScale+MPSoC 5EV器件而量产的AVP专用车载计算平台,2种平台如图1、图2所示。 相似文献
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本刊编辑部 《纺织高校基础科学学报》2020,(1):44-44
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