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1.
2.
化学机械抛光(CMP)技术是集成电路制造中获得全局平坦化的一种重要手段,化学机械抛光液是影响抛光质量和抛光效率的关键因素之一,而抛光液中的磨粒和氧化剂决定了抛光液的各项化学机械抛光性能。将抛光液磨粒分为单一磨粒、混合磨粒以及复合磨粒,综述了近年来国内外化学机械抛光液磨粒发展现状,其中重点分析和总结了SiO2、Al2O3、CeO2三种单一磨粒,SiO2/Al2O3、SiO2/SiO2、SiO2/CeO2混合磨粒,CeO2@SiO2、PS@CeO2、PS@SiO2、sSiO2@mSiO2、PMMA@CeO2、PS@mSiO2等核-壳结构复合磨粒,Co、Cu、Fe、Ce、La、Zn、Mg、Ti、Nd等离子掺杂复合磨粒的研究和应用现状,并针对目前存在的问题进行了详细的分析。针对目前化学机械抛光液不同材料氧化剂(高锰酸钾和过氧化氢)的选择和使用进行了分析总结。此外,介绍了一种新型绿色环保抛光液的研究和使用情况,同时对化学机械抛光液存在的共性问题进行了总结,最后展望了化学机械抛光液未来的研究方向。 相似文献
3.
建设绿色生态环保型住宅,是当今住宅发展的方向。文章从节能、节水、建筑材料的选择等多个方面对绿色生态住宅小区进行了阐述,并结合合肥市九华·华林家园住宅小区节能设计,探讨绿色生态环保住宅理念在实际中的应用。 相似文献
4.
采用环保自交联单体和功能单体A替代N-羟甲基丙烯酰胺,以丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸甲酯、苯乙烯为主要原料,通过预乳化种子乳液聚合法研制用于白胶浆的环保型自交联聚丙烯酸酯共聚乳液。讨论了丙烯酸酯共聚乳液的单体选用、功能单体A和助剂B对白胶浆分散性以及胶膜吸水率的影响。 相似文献
5.
β-FeSi_2(n)/c-Si(p)HIT型太阳能电池的模拟与优化 总被引:1,自引:1,他引:0
运用afors-het软件对β-FeSi2(n)/a-Si(i)/c-Si(p)结构的太阳能电池进行模拟,依次讨论了本征层、发射层、界面态对电池性能的影响。结果表明:添加本征层电池性能提高,但随着本征层厚度的增加载流子收集率下降、串联电阻增大,造成电池光电转化效率下降;发射层厚度的增加使得载流子的收集率下降造成光电转化效率下降,同时发射层掺杂浓度增大虽然使得内建电场强度增大,但载流子的复合也会加大,最终使得电池性能保持稳定;界面态使得电池性能下降,为使电池获得较好性能,界面态密度应尽可能小于1011 cm–2·e V–1。通过优化,最终使得该结构的太阳能电池光电转化效率达到17.00%。 相似文献
6.
基于用户加工工艺,通过实验室对比试验,并结合产品实际使用情况,研究了冷轧无取向电工钢环保绝缘涂层的耐蚀性、耐高温性及涂层附着性的评价试验方法及指标。结果表明:1涂层耐蚀性的评价试验方法宜采用"NSST/6h,锈蚀面积小于5%;NSST/12h,锈蚀面积小于20%";2涂层耐高温性适宜的评价试验方法为"将试样叠置于氮气保护气氛下经750℃加热保温2h,涂层无起泡、脱落、掉粉";3对于涂层附着性,较为适宜的评价试验方法为"试样依次经0T弯曲变形、采用3M胶带粘贴弯曲变形部位并撕离和浸入5%CuSO4溶液浸泡5s,涂层均无开裂、剥落或变色"。 相似文献
7.
8.
9.
简要概述了资源节约型、环境友好型校园的内涵,结合科学发展观的要求,对资源节约型、环境友好型校园建设的总体布局进行了探讨,以达到提高资源使用效益、改善生态环境、增强办学能力的目的。 相似文献
10.
对目前国内外洗涤剂市场现状进行了概述。探讨了洗涤剂市场的发展趋势。不同地区因收入不同而对洗涤剂产品性能有着不同的要求。洗衣液以其环保优越性成为我国织物洗涤剂行业发展的主要趋势。在对环保要求更为严格以及资源日趋紧张的今天,环保、浓缩化、绿色化以及可持续发展无疑将是洗涤剂发展的主题。 相似文献