化学机械抛光液的研究进展

化学机械抛光（CMP）技术是集成电路制造中获得全局平坦化的一种重要手段,化学机械抛光液是影响抛光质量和抛光效率的关键因素之一,而抛光液中的磨粒和氧化剂决定了抛光液的各项化学机械抛光性能。将抛光液磨粒分为单一磨粒、混合磨粒以及复合磨粒,综述了近年来国内外化学机械抛光液磨粒发展现状,其中重点分析和总结了SiO2、Al2O3、CeO2三种单一磨粒,SiO2/Al2O3、SiO2/SiO2、SiO2/CeO2混合磨粒,CeO2@SiO2、PS@CeO2、PS@SiO2、sSiO2@mSiO2、PMMA@CeO2、PS@mSiO2等核-壳结构复合磨粒,Co、Cu、Fe、Ce、La、Zn、Mg、Ti、Nd等离子掺杂复合磨粒的研究和应用现状,并针对目前存在的问题进行了详细的分析。针对目前化学机械抛光液不同材料氧化剂（高锰酸钾和过氧化氢）的选择和使用进行了分析总结。此外,介绍了一种新型绿色环保抛光液的研究和使用情况,同时对化学机械抛光液存在的共性问题进行了总结,最后展望了化学机械抛光液未来的研究方向。     

催化烟气脱硫脱硝现状与发展

催化烟气中的SO2、NOx大量排放严重破坏了大气环境。介绍了国内外目前催化烟气脱硫、脱硝技术现状,分析了多种脱硫、脱硝技术优缺点及适用范围,为新型技术的开发提供了依据。     

填料对丁羟型聚氨酯弹性体力学性能的影响

介绍了丁羟(端羟基聚丁二烯液体橡胶,HTPB)与2,4-甲苯二异氰酸酯(TDI)的固化反应机理,考查了当丁羟为100份,填料为85份时,不同填料对丁羟型聚氨酯弹性体力学性能的影响。     

PTMEG型聚氨酯弹性体的力学性能研究

以相对分子质量1000的聚四氢呋喃醚二醇(PTMEG)为软段,甲苯二异氰酸酯(TDI)和固化剂为硬段制备聚氨酯弹性体(PUE).探讨了制备原理,并研究了固化剂、稀释剂和固化条件对弹性体力学性能的影响.     

皮秒激光参数对仿生跨尺度乳突织构表面润湿性的影响

无修饰的金属疏水表面受到广泛关注,尤其是具有超高疏水性表面的制备方法逐渐被重视。通过皮秒激光烧蚀、电化学抛光和电化学沉积的顺序加工方法在铜表面制备一系列具有不同微观特征的乳突织构。系统研究激光功率、重复频率、扫描速度和扫描次数对乳突织构表面形貌及疏水性的影响,并分析表面润湿性的转化机理。研究结果表明,激光功率9 W、重复频率2 MHz、扫描速度200 mm/s、扫描次数20次时,跨尺度乳突织构表面静置30 d后可获得超高疏水性(接触角161°,滚动角1°)。储存30 d后,亲水性的Ni、CuO转化为疏水性的NiO、Ni(OH)_2、Cu_2O,以及含C有机物的吸附促成了乳突织构表面润湿性的转化。     

液体橡胶-环氧树脂复合材料在液体石蜡润滑下的摩擦性能

用端异氰酸酯基液体橡胶与环氧树脂制得液体橡胶-环氧树脂聚合物(ETPB).在ETPB中分别加入质量分数为5%和10%的纳米Al2O3,并选择适宜的固化剂固化,制得ETPB-Al2O3复合材料.测试了ETPB,ETPB-Al2O3复合材料在液体石蜡润滑下的滑动摩擦性能,考察了磨损率及摩擦系数与载荷和滑动速度之间的关系,并用扫描电子显微镜(SEM)对几种材料磨损表面进行了观察.结果表明,端异氰酸酯基液体橡胶改性环氧树脂可显著提高抗磨损性能;填充纳米Al2O3无机粒子可显著提高ETPB的抗磨损性能,其最佳填充量为5%.     

基于J2ME的无线网络应用开发

基于消费类电子设备的嵌入式开发技术J2ME的体系结构、核心概念,探讨了基于J2ME平台的企业无线应用开发,并给出了一个应用实例。     

基于正交试验的碲锌镉晶片CMP参数优化及抛光机制分析

碲锌镉(CZT)晶片是目前制造室温下高能射线探测器最理想的半导体材料,获得高质量的CZT晶片对探测性能的提高具有十分重要的意义。基于化学机械抛光(CMP)工艺,采用绿色环保的抛光液配方,设计并进行磨粒粒径、磨粒质量分数、抛光液pH值和抛光压力的4因素3水平正交CMP试验,实现200μm×200μm范围内平均粗糙度最低为0.289 nm的CMP加工。对试验结果进行均值和极差分析,探究各因素在CMP加工中的作用规律,得出pH值和磨粒质量分数对CZT晶体的CMP加工精度和去除速率影响较大,且较强的酸性条件和较大的磨粒质量分数分别有利于提高CZT晶体的化学溶解作用和机械磨削作用的结论,提出针对CZT晶片的CMP优化加工方案。通过X射线光电子能谱(XPS)表征,探究对抛光性能影响作用最大的酸度在CMP加工中所起到的化学腐蚀作用,揭示CZT晶体在CMP过程中“氧化剂氧化-酸根离子刻蚀-络合物螯合-磨粒磨削”的材料去除机制。     

丁羟型聚氨酯弹性体力学性能研究

研究了以不同分子质量的丁羟（HTPB）、二异氰酸酯和固化剂为主要原料制备的PU弹性体的力学性能。结果表明,PU弹性体的力学性能随丁羟相对分子质量的增大而提高;R（n-NCO／n-OH）值达到8时,PU的力学性能最佳;用4种固化剂固化PU弹性体,结果表明复配的固化剂固化的PU弹性体力学性能最好;固化温度越高、时间越长,PU弹性体的力学性能越好。     

染料敏化太阳能电池无FTO煤基炭对电极的研究

分别以气煤、焦煤、瘦煤为原料制备了低成本、高性能煤基炭对电极(counter electrodes, CEs), 并使用煤基炭CE同时代替导电玻璃基底和催化层, 分别考察了浸渍和表面修饰对煤基炭CE结构和光电性能的影响。采用X射线衍射、扫描电镜和电化学阻抗谱等表征手段, 对煤基炭CE的结构和性能进行了表征。结果表明: 浸渍后煤基炭CE形成了底层致密表层多孔的一体化结构; 经过表面修饰的煤基炭CE表现出良好的光电性能, 其开路电压(V_oc)、短路电流密度(J_sc)和填充因子(FF)分别为0.79 V、13.48 mA/cm²和0.67, 光电转化效率(η)达到了7.16%, 与传统Pt电极的效率相当, 比石墨电极效率提高30%。煤基炭CE是传统Pt/FTO电极的良好替代材料。