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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS 光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。 相似文献
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为了提高焦化厂酚氰废水处理效率,围绕酚氰废水的生化处理操作,首先探讨酚氰废水来源,了解其主要是从物料带入水与化合生成水、蒸氨过程带入水中形成,其次分析酚氰废水的处理工艺,并且提出增设斜孔塔盘与可提升式曝气器这两点优化措施,提高酚氰废水的生化处理效率,并且为焦化厂生产环节与废水处理工艺的优化奠定基础。 相似文献
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本文主要从肥胖的原因分析入手,重点介绍了体育运动减脂的必要性和意义,从有氧氧化供能、体育运动减脂的生化途径以及体脂层面进行生化分析,研究体育运动减脂的作用,并从合理营养层面研究体育运动减脂活动,重点阐明了体育运动减脂中对于糖类、脂肪以及蛋白质的需求,认为在实际开展体育运动减脂活动中要合理补充好相应的营养物质,实现均衡营养、科学减脂的目标,希望能够为体育运动减脂活动的稳步开展提供一定借鉴和参考。 相似文献